[发明专利]采用接地导电栅网的直流等离子体离子注入装置有效
| 申请号： | 00106152.6 | 申请日： | 2000-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN1320947A | 公开（公告）日： | 2001-11-07 |
| 发明（设计）人： | 朱剑豪;郭达勤;曾旭初;陈聪 | 申请（专利权）人： | 香港城市大学 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/265 |
| 代理公司： | 隆天国际专利商标代理有限公司 | 代理人： | 李强,郑特强 |
| 地址： | 香港九*** | 国省代码： | 香港;81 |
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| 摘要： | 一种直流等离子体离子注入装置,包括真空室,等离子体产生器,安装在所述真空室内的靶台和高压电源,其特征是所述真空室呈圆盘状,具有工作气体的进行口和抽气口;一个导电栅网,配置在所述靶台的上方将真空室分成两个部分,并且所述导电栅网同所述真空室壁连接并接地;所述靶台的下部具有穿过真空室壁的引出电极;以及一个直流高压电源,所述直流高压电源的高压直流负端同所述靶台的所述引出电极连接,而正端接地。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 接地 导电 直流 等离子体 离子 注入 装置 | ||
【主权项】：
1．一种直流等离子体离子注入装置，包括：真空室，等离子体产生器，安装在所述真空室内的靶台和高压电源，其特征是：所述真空室呈圆盘状，具有工作气体的进行口和抽气口；一个导电栅网，配置在所述靶台的上方将真空室分成两个部分；所述靶台的下部具有穿过真空室壁的引出电极；以及一个高压电源，所述高压电源的高压负端同所述靶台的所述引出电极连接，而正端接地。
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