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- [发明专利]阀板-CN202211429471.5在审
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马蒂亚斯·施顿;伯恩哈德·利切尔;马力欧·莫泽;艾伦·弗兰尼克;格雷戈尔·贝克
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VAT控股公司
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2022-11-15
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2023-05-19
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F16K1/36
- 一种阀板具有板区段和至少一个纵向延伸的连接区段，在所述板区段的正侧上安装了由弹性体材料制成的密封件，所述连接区段与所述板区段通过狭缝隔开，所述连接区段用于将所述阀板固定在至少一个阀杆上。从所述板区段的背侧的平面图中看，所述连接区段的在所述宽度方向上的伸展部由所述连接区段的彼此相对的第一和第二侧边缘限定边界。在所述连接区段的第一侧边缘的纵向伸展部的中心区域中形成连接结构，用于将所述连接区段与所述阀杆在所述连接区段中的端部区段连接。所述连接区段在其与所述第二侧边缘邻接的宽度方向上的伸展区域中相对于其与所述第一侧边缘邻接的宽度方向上的伸展区域加强地构造。
- 阀板
- [发明专利]销升降装置-CN202180057048.4在审
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迈克尔·杜尔
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VAT控股公司
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2021-07-16
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2023-05-12
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H01L21/687
- 销升降装置(1)，用于在工艺腔室、特别是真空工艺腔室中将衬底(2)降低到衬底载体(15)上并从所述衬底载体(15)提起所述衬底(2)，其中所述销升降装置(1)具有至少一个升降销保持器(4)和至少一个升降驱动器(5)，用于沿线性升降运动轨迹(7)来回运动所述升降销保持器(4)和布置在所述升降销保持器上的升降销(6)，其中借助于补偿轴承(8)将所述升降销保持器(4)放置在所述升降驱动器(5)上，其中所述补偿轴承(8)使得能够在与所述线性升降运动轨迹(7)正交的至少一个方向(9)上进行所述升降驱动器(5)和所述升降销保持器(4)之间的相对运动。(图6)。
- 升降装置
- [发明专利]具有至少两个腔和至少一个转移阀的装置-CN201980053983.6有效
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多米尼克·盖茨;奥利弗·马尔
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VAT控股公司
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2019-07-09
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2023-05-12
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F16K3/18
- 一种具有至少两个腔(1、2)和至少一个转移阀(3)的装置，其中，所述转移阀(3)的阀壳体内室(9)与所述腔(1、2)的每个所述腔内室(4、5)分别被分隔壁(12、13)分隔开，且在每个所述分隔壁(12、13)上构造了用于让物体和/或流体经过的转移开口(14、15)，并且在每个所述分隔壁(12、13)上，除了相应的所述转移开口(14、15)外，还分别设置了附加开口(16、17)，其中，相应的所述附加开口(16、17)可分别被所述装置的切换阀(18、19)封闭，且在相应的所述切换阀(18、19)的打开状态下，使得所述阀壳体内室(9)分别直接导流地与所述腔内室(4、5)连接，该腔内室与相应的所述分隔壁(12、13)邻接。
- 具有至少两个一个转移装置
- [发明专利]销提升装置-CN201980059750.7有效
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M·杜尔;R·罗纳;A·施恩莫塞尔;M·阿波洛尼
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VAT控股公司
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2019-09-16
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2023-04-25
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H01L21/687
- 根据本发明的销提升装置(10)被设计用于在处理腔室(4)中移动待处理基材并包括沿调整轴线(A)延伸的壳体(31)、布置在壳体(31)的第一端区且具有壳体开口(34)的端侧壳体封闭件(33)，布置在壳体(31)的第二端区的驱动部件(11)、具有能在壳体中沿调节轴线(A)方向运动的部件(21)的调节装置(15)、用于调节装置(15)的且在壳体(31)内侧形成于在端侧壳体封闭件(33)处的第一止挡(17a)和远离其的第二止挡(17b)之间的导向部段(17)、在壳体(31)内在端侧壳体封闭件(33)和调节装置(15)之间形成的紧密连接装置(55)以及从该导向部段(17)处的第一止挡(17a)延伸至第二止挡(17b)的连接通道(18)。即使在活动部分(21)的运动期间，连续的第二内部区域也导致第二内部区域的最小体积变化。
- 提升装置
- [发明专利]具有温度传感器的销举升装置-CN201980073933.4有效
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A·施恩莫塞尔;M·杜尔;A·霍弗
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VAT控股公司
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2019-12-10
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2022-12-30
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H01L21/687
- 销举升装置特别是销举升器被设计用于在能由真空处理室提供的工艺气氛区域(P)中移动和定位待处理的基片尤其是晶圆。该销举升装置包括接合部件(31)，其所具有的接合件(32)适于容纳被设计成接触并支承该基片的支承销，还包括具有驱动单元(12)的驱动部件(11)，该驱动单元适于与接合件(32)配合，从而该接合件(32)能沿调节轴线(A)从较低的正常位置被线性调节到伸出的支承位置和相反调节。该销举升装置(10,50)具有至少一个温度传感器(41,42)，其中该温度传感器(41,42)被设计和布置成能通过该温度传感器(41,42)来产生表示与该销举升装置(10)的至少一部分相关的热信息的测量信号。
- 具有温度传感器销举升装置
- [发明专利]真空阀-CN202210624319.6在审
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卢卡斯·沙尔特格尔;克莱门斯·库恩
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VAT控股公司
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2022-06-02
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2022-12-06
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F16K3/02
- 一种真空阀，包括：阀壳体；封闭单元，该封闭单元具有由阀杆承载的第一和第二阀板以及在阀壳体外与阀杆刚性连接的支座；传动单元；带有基体和至少一个致动器的驱动单元；至少一个纵向直线引导件，传动单元可由该纵向直线引导件相对于阀驱动器的基体平行于纵向移调方向移动地引导；至少一个倾斜直线引导件，支座可由该倾斜直线引导件相对于传动单元平行于倾斜移调方向移动地被引导；至少一个弹簧，其作用于传动单元和支座之间；止挡装置，其在封闭单元的中心位置阻止封闭单元在纵向移调方向上的移调；和阻止单元，在其止动状态下阻止位于中心位置的封闭单元逆着纵向移调方向的移调，并且在其释放状态下允许这种移调。
- 真空
- [发明专利]高频接地装置和具有高频接地装置的真空阀-CN202210517864.5在审
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A·比谢尔;A·魏特瑙尔
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VAT控股公司
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2022-05-13
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2022-11-22
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F16K3/02
- 本发明涉及一种高频接地装置和具有高频接地装置的真空阀。高频接地装置(40)与用于关闭和打开真空室系统的阀开口的真空阀连用，具有由用于排走在真空阀上出现的电荷的传导性材料制造的接地带(42)，其中该接地带具有第一端(41)和第二端(43)并且为了接地真空阀而被设计成在第一端连接至真空阀的阀闭合件并在第二端连接至该真空室系统的部件，其中高频接地装置具有校正阻抗，其中该接地带被接合至该校正阻抗而得到包括接地带和校正阻抗的谐振电路，该校正阻抗具有用于偏移谐振电路的谐振频率的第一元件和/或用于降低谐振电路的质量的第二元件。本发明还涉及真空阀和具有这样的高频接地装置的真空室系统。
- 高频接地装置具有真空
- [发明专利]真空阀-CN201680049671.4有效
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弗洛里安·恩尔奈;马丁·内策尔
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VAT控股公司
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2016-07-25
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2022-09-09
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F16K51/02
- 一种真空阀，包括：阀壳体(1)，该阀壳体带有内腔(2)和第一与第二阀开口(3、4)；设置在阀壳体(1)的内腔(2)中的关闭单元(10)，该关闭单元具有第一板(11)、第二板(12)、设置在第一板(11)与第二板(12)之间的滚轮支架(13)、多个滚轮对和至少一个弹簧(30、31)，这些滚轮对分别由第一扩张滚轮(14)和第二扩张滚轮(15)构成。在所述滚轮支架(13)平行于移动方向(16)从打开位置移动至中间位置时，第一和第二板(11、12)被滚轮支架(13)带动，在滚轮支架(13)从中间位置移动至关闭位置时，第一和第二板(11、12)沿移动方向(16)的进一步移动被锁止。在滚轮支架(13)从中间位置移动至关闭位置时，第一和第二扩张滚轮(14、15)沿着内凹(23)的上升的边沿(23a)移动，在这种情况下，第一和第二板(11、12)平行于扩张方向(22)彼此分开。相应滚轮对的第一和第二扩张滚轮(14、15)的转动轴(28、29)参照移动方向(16)彼此错开，并参照扩张方向(22)具有间距(b)，该间距小于第一扩张滚轮(14)的半径与第二扩张滚轮(15)的半径的总和。
- 真空
- [发明专利]活塞-气缸单元-CN201980012494.6有效
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马丁·肯里奇
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VAT控股公司
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2019-01-10
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2022-09-06
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F15B15/14
- 一种活塞‑气缸单元，包括气缸壳体(1)和活塞(3)，该气缸壳体具有气缸内腔(2)，该活塞布置在所述气缸内腔(2)中，从该活塞伸出活塞杆(4)，该活塞杆穿过开口从所述气缸壳体(1)伸出，并且在此借助于布置在所述气缸壳体(1)上的活塞杆密封件(12)相对于所述气缸壳体(1)密封。在所述活塞杆(4)上设置了随同所述活塞杆(4)一起运动的由塑料构成的滑动套筒(11)，所述活塞杆密封件(12)贴靠在该滑动套筒上。
- 活塞气缸单元
- [发明专利]真空阀或真空门-CN202080082730.4在审
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马克·胡贝纳;亚瑟·布歇尔;马库斯·波佩勒
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VAT控股公司
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2020-12-03
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2022-07-15
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F16K51/02
- 一种真空阀或真空门，其具有用于封闭在壁(3、32)中的开口(4、29)的封闭板(7)，所述开口(4、29)具有相对的第一和第二纵向边缘(4a、4b；29a、29b)以及相比之下较短的相对的第一和第二横向边缘(4c、4d)。设置了密封单元(12)，用于在所述封闭板(7)的关闭位置将所述封闭板(7)相对于所述壁(3、32)密封，该密封单元具有承载框架(13)，该承载框架具有相对的第一和第二纵向腿(14、15)和相比之下较短的相对的第一和第二横向腿(17、18)，在该承载框架上，在一侧安置有环绕的密封板‑密封件(18)，且在另一侧安置有环绕的壁‑密封件(19)。所述承载框架(13)在固定点处固定在所述壁(3、32)上，其中，所述承载框架(13)的第一和第二纵向腿(14、15)的至少中间区段相对于所述壁(3、32)是自由的，或者，所述承载框架(13)在固定点处固定在所述封闭板(7)上，其中，所述承载框架(13)的第一和第二纵向腿(14、15)的至少中间区段相对于所述封闭板(7)是自由的。
- 真空空门
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