专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]结构化方法-CN98116749.7无效
  • M·恩格尔哈德特;V·维恩里希 - 西门子公司
  • 1998-07-31 - 1999-02-10 - H01L21/302
  • 本发明提出一种使至少一层待结构化薄层结构化的方法,该方法包括下列步骤在待结构化的薄层上覆盖上掩膜,在使用掩膜的情况下,使该待结构化薄层结构化,去除掩膜,此时该待结构化薄层的材料的再沉积物被遗留,和该待结构化薄层的材料的再沉积物被机械抛光或化学机械抛光去除。
  • 结构方法

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