“S·I·潘戴夫”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果10个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]基于机器学习的测量配方优化的动态控制-CN202180064711.3在审
发明人： S·I·潘戴夫;A·杰亚瑞曼 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2021-09-23 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01N21/956 文献下载
摘要：本文中描述用于在动态控制多个性能目标的收敛轨迹时训练及实施计量配方的方法及系统。采用性能度量以正则化在测量模型训练、基于模型的回归或两者期间采用的优化过程。在模型训练期间动态控制与模型优化的损失函数中的所述性能目标中的每一者相关联的加权值。以此方式，控制每一性能目标的收敛及所述损失函数的多个性能目标之间的权衡以按稳定、平衡方式得到经训练测量模型。采用经训练测量模型以基于具有一或多个所关注参数的未知值的结构的测量来估计所关注参数的值。另一方面，动态控制与测量模型上的基于模型的回归中的所述性能目标中的每一者相关联的加权值。
基于机器学习测量配方优化动态控制

[发明专利]使用图像的以模型为基础的计量-CN202211135530.8在审
发明人： S·I·潘戴夫 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2016-08-25 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本文提出使用图像的以模型为基础的计量。在一个方面中，基于所测量图像及每一图像内的特定结构的对应参考测量来训练以图像为基础的信号响应计量SRM模型。接着，使用所述经训练的以图像为基础的SRM模型来依据从其它晶片收集的所测量图像数据直接计算一或多个所关注参数的值。在另一方面中，基于所测量图像及由通过非成像测量技术做出的每一图像内的特定结构的测量产生的对应测量信号来训练测量信号合成模型。将从其它晶片收集的图像变换成与所述非成像测量技术相关联的合成测量信号，且采用以模型为基础的测量以基于所述合成信号来估计所关注参数的值。
使用图像模型基础计量

[发明专利]使用图像的以模型为基础的计量-CN201680047557.8有效
发明人： S·I·潘戴夫 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2016-08-25 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本文提出用于将存在于半导体晶片的所测量图像中的信息与所述所测量图像内的特定结构的额外测量进行组合的方法及系统。在一个方面中，基于所测量图像及每一图像内的特定结构的对应参考测量来训练以图像为基础的信号响应计量SRM模型。接着，使用所述经训练的以图像为基础的SRM模型来依据从其它晶片收集的所测量图像数据直接计算一或多个所关注参数的值。在另一方面中，基于所测量图像及由通过非成像测量技术做出的每一图像内的特定结构的测量产生的对应测量信号来训练测量信号合成模型。将从其它晶片收集的图像变换成与所述非成像测量技术相关联的合成测量信号，且采用以模型为基础的测量以基于所述合成信号来估计所关注参数的值。
使用图像模型基础计量

[发明专利]基于代理结构的测量的信号响应计量-CN201580036717.4有效
发明人： A·V·舒杰葛洛夫;T·G·奇乌拉;S·I·潘戴夫;L·波斯拉夫斯基 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2015-07-06 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本文呈现基于附近计量目标的光学测量而估计实际装置结构的所关注参数的值的方法及系统。采用高处理量线内计量技术来测量位于实际装置结构附近的计量目标。将从所述计量目标收集的测量数据提供到经训练信号响应计量SRM模型。所述经训练SRM模型基于所述计量目标的所述测量而估计所述实际装置结构的一或多个所关注参数的所述值。所述SRM模型经训练以在由参考计量系统测量的实际装置参数与至少一个附近计量目标的对应光学测量之间建立函数关系。在另一方面中，采用所述经训练SRM来确定使测量装置参数值在规格内的工艺参数的校正。
基于代理结构测量信号响应计量

[发明专利]基于模型的单个参数测量的系统和方法-CN201680014060.6有效
发明人： S·I·潘戴夫 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2016-03-23 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： G06F30/27 文献下载
摘要：本文中提出用于建置并使用参数隔离模型以使与所关注参数相关联的测量信号信息和与偶发模型参数相关联的测量信号信息隔离的方法及系统。通过以下步骤训练所述参数隔离模型：将与度量目标的例子的第一集合相关联的测量信号映射到与所述度量目标的例子的第二集合相关联的测量信号，所述第一集合具有多个偶发模型参数的已知值及所关注参数的已知值，所述第二集合具有所述多个偶发模型参数的标称值及所述所关注参数的所述已知值。所述经训练参数隔离模型接收原始测量信号且隔离与特定所关注参数相关联的测量信号信息以进行基于模型的参数估计。减少测量模型的浮动参数的数目，从而导致明显减少计算工作量。
基于模型单个参数测量系统方法

[发明专利]光谱光束轮廓叠对度量-CN201680052189.6有效
发明人： J·付;N·沙皮恩;K·A·彼得林茨;S·I·潘戴夫 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2016-09-22 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光谱光束轮廓度量系统同时在大波长范围及大入射角AOI范围内检测测量信号。在一个方面中，将多波长照明光束重新整形成窄线形光束，所述窄线形光束被投射到叠对度量目标上，使得所述线形光束的方向与所述叠对度量目标的光栅结构的延展方向对准。所收集光沿一个方向根据AOI且沿另一方向根据波长而跨越检测器分散。每一检测器像素处的所测量信号与特定AOI及波长相关联。所述所收集光包含一级衍射光、零级衍射光或其组合。在一些实施例中，在所述检测器的单独区上检测一级衍射光及零级衍射光。
光谱光束轮廓度量

[发明专利]多重图案化参数的测量-CN201710997426.2有效
发明人： A·V·舒杰葛洛夫;S·克里许南;K·皮特林茨;T·G·奇乌拉;N·沙皮恩;S·I·潘戴夫 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2014-12-23 - 公布日： 2020-08-07 - 主分类号： G01B11/27 文献下载
摘要：本发明实施例涉及多重图案化参数的测量。本发明呈现用于评估多重图案化工艺的性能的方法和系统。测量经图案化结构且确定特征化由所述多重图案化工艺引起的几何误差的一或多个参数值。在一些实例中，测量单个图案化目标和多重图案化目标，所收集数据拟合到经组合测量模型，且基于所述拟合确定指示由所述多重图案化工艺引起的几何误差的结构参数的值。在一些其它实例中，收集并分析具有不同于零的衍射级的光以确定指示由多重图案化工艺引起的几何误差的结构参数的值。在一些实施例中，收集不同于零的单个衍射级。在一些实例中，设计度量目标以增强以不同于零的级衍射的光。
多重图案参数测量

[发明专利]用于基于图像的叠对测量的信号响应计量-CN201580009428.5有效
发明人： S·I·潘戴夫 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2015-02-20 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提出用于仅基于所测量的基于图像的训练数据来产生基于图像的测量模型的方法及系统。接着，所述经训练的基于图像的测量模型用于直接根据从其它晶片收集的测量图像数据来计算一或多个所关注参数的值。所述基于图像的测量模型直接接收图像数据作为输入，且提供所关注参数的值作为输出。在一些实施例中，所述基于图像的测量模型实现叠对误差的直接测量。在一些实施例中，从装置上结构的图像确定叠对误差。在一些其它实施例中，从专用目标结构的图像确定叠对误差。在一些实施例中，来自多个目标的图像数据、通过多个计量收集的图像数据或两者用于模型建立、训练及测量。在一些实施例中，优化算法自动化基于图像的测量模型建立及训练过程。
用于基于图像测量信号响应计量

[发明专利]用于基于散射术的重叠测量的信号响应度量-CN201580024276.6有效
发明人： A·V·舒杰葛洛夫;S·I·潘戴夫;J·M·马德森;A·库兹涅佐夫;W·D·米厄尔 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2015-05-08 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明呈现用于仅基于所测量训练数据而创建测量模型的方法及系统。然后，使用所述经训练测量模型来直接根据所测量散射术数据计算重叠值。所述测量模型直接接收散射术信号作为输入并提供重叠值作为输出。在一些实施例中，根据设计规则结构的测量来确定重叠误差。在一些其它实施例中，根据专门化目标结构的测量来确定重叠误差。在又一方面中，所述测量模型经训练且用以除测量重叠以外还基于相同或不同度量目标而测量额外所关注参数。在一些实施例中，使用来自多个目标的测量数据、通过多个度量收集的测量数据或所述两种测量数据来进行模型构建、训练及测量。在一些实施例中，优化算法使测量模型构建及训练过程自动化。
用于基于散射重叠测量信号响应度量

[发明专利]多重图案化参数的测量-CN201480070716.7有效
发明人： A·V·舒杰葛洛夫;S·克里许南;K·皮特林茨;T·G·奇乌拉;N·沙皮恩;S·I·潘戴夫 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2014-12-23 - 公布日： 2017-11-17 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明呈现用于评估多重图案化工艺的性能的方法和系统。测量经图案化结构且确定特征化由所述多重图案化工艺引起的几何误差的一或多个参数值。在一些实例中，测量单个图案化目标和多重图案化目标，所收集数据拟合到经组合测量模型，且基于所述拟合确定指示由所述多重图案化工艺引起的几何误差的结构参数的值。在一些其它实例中，收集并分析具有不同于零的衍射级的光以确定指示由多重图案化工艺引起的几何误差的结构参数的值。在一些实施例中，收集不同于零的单个衍射级。在一些实例中，设计度量目标以增强以不同于零的级衍射的光。
多重图案参数测量

1
共 10 条