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[发明专利]微机械传感器-CN201980041550.9有效
发明人： R·舍本;R·艾德;J·瓦尔德曼 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2019-06-06 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： G01P1/00 文献下载
摘要：本发明涉及微机械传感器(100)，具有：‑衬底(10)；‑布置在所述衬底(10)上的罩元件(20)；和‑至少一个垂直于所述罩元件(20)能偏移的振动质量(40)，其中，在腔(30)内部出现相对于周围环境限定下降的内压；其特征在于，‑设有补偿件，该补偿件构造成用于在所述微机械传感器(100)的运行中提供在所述腔(30)中的温度梯度场的均衡。
微机传感器

[发明专利]传感器系统和用于保护传感器系统的方法-CN202211649728.8在审
发明人： A·察普科连科;H·鲁夫;M·霍夫曼;R·舍本 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01P15/097 文献下载
摘要：提出了一种传感器系统，其具有转速传感器和控制单元，其中，所述转速传感器包括振动质量并且配置成，借助驱动力来驱动所述振动质量的运动，其中，所述控制单元配置成，探测所述传感器系统的自由落体并且在探测到所述自由落体的情况下停用所述驱动力。还提出了一种用于保护传感器系统的方法，其中，在探测步骤中，通过控制单元探测所述传感器系统的自由落体，并且在保护步骤中，通过所述控制单元停用驱动力。
传感器系统用于保护方法

[发明专利]用于转速传感器的微机械构件及其制造方法、转速传感器-CN202180031780.4在审
发明人： R·舍本;R·毛尔;M·屈内尔;S·梅尔基施;T·巴尔斯林科;N·F·库尔曼;W·盖格尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2021-04-14 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： G01C19/5769 文献下载
摘要：一种用于转速传感器的具有关于垂直于衬底表面(10)定向且与这些转子质量在中心相交的第一对称平面(14)镜像对称并且可被置于围绕垂直于该衬底表面定向的旋转轴线(18a，18b)的扭转振动运动(16a，16b)中的两个转子质量(12a，12b)，和关于第一对称平面镜像对称并且可借助转子质量平行于第一对称平面地偏转的四个振动质量(22a，22b，24a和24b)的微机械构件，第一转子质量(12a)和附接在第一转子质量上的第一对振动质量(22a，22b)关于垂直于该衬底表面及第一对称平面定向的第二对称平面(26)与第二转子质量(12b)和附接在第二转子质量上的第二对振动质量(24a，24b)镜像对称。
用于转速传感器微机构件及其制造方法

[发明专利]用于微机电传感器的温度补偿的方法以及微机电传感器-CN202210485851.4在审
发明人： A·叶米利;J·赖因穆特;D·拉多维奇;R·舍本;S·贝克尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2022-05-06 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：提出用于MEMS传感器的温度补偿的方法：在调整步骤中，通过热元件产生温度梯度并在第一和第二温度测量点处确定第一和第二温度，测量可运动的结构的由温度梯度产生的偏移并根据第一和第二温度及偏移求取补偿值；在测量步骤中，通过可运动的结构的偏移测量物理刺激并在第一和第二温度测量点处确定第三和第四温度；在补偿步骤中，根据测量的偏移、第三和第四温度及补偿值求取物理刺激的测量值。还提出具有以下步骤的方法：在调节步骤中确定在第一和第二温度测量点之间的温差，对由热元件产生的温度升高的调节如此进行，使得最小化在第一和第二温度测量点之间的温差；在测量步骤中，通过可运动的结构的偏移测量物理刺激。还提出一种微机电传感器。
用于微机传感器温度补偿方法以及

[发明专利]用于运行微机械惯性传感器的方法和微机械惯性传感器-CN202210027082.3在审
发明人： R·舍本;E·贝克塔什;O-A·普吕茨 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2022-01-11 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于运行微机械惯性传感器的方法以及一种微机械惯性传感器，该微机械惯性传感器尤其构造为加速度传感器。微机械加速度传感器能够具有弹动地受支承的质量体以及柔性的止挡结构和固定结构。固定结构包括固定的电极，并且止挡结构紧固在固定结构上。止挡结构包括作用元件和电极。在质量体从初始位置偏移出时，质量体贴靠到作用元件上。通过将电压施加到固定的电极上，静电力在固定的电极与止挡结构的电极之间起作用，以便使具有作用元件的止挡结构向固定的电极的方向且远离质量体地运动。
用于运行微机惯性传感器方法

[发明专利]微机械结构和微机械传感器-CN202111113108.8在审
发明人： C·纳格尔;J·克拉森;L·特布耶;R·舍本;R·艾德 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2021-09-23 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：本发明涉及微机械结构及微机械传感器，该微机械结构具有衬底和可相对于衬底运动的震动质量及探测装置和主弹簧。震动质量借助主弹簧与衬底连接。第一方向和垂直于此的第二方向定义衬底主延伸平面。探测装置设置为探测震动质量偏移并具有固定在震动质量上的第一电极和固定在衬底上的第二电极。第一和第二电极在第一和第二方向上具有二维延伸。微机械结构还具有交错的止挡结构，其具有第一、第二弹簧止挡和固定止挡。止挡结构如此构型，使得在震动质量的至少一部分在垂直于第一和第二方向的第三方向上运动超出运行范围时第一弹簧止挡首先机械接触，在进一步运动时第二弹簧止挡随后机械接触，在进一步运动时固定止挡随后机械接触。
微机结构传感器

[发明专利]微机电系统、用于制造微机电系统的方法-CN202110917686.0在审
发明人： R·舍本 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2021-08-11 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明请求保护一种微机电系统，包括具有主延伸平面的衬底，其中，微机电系统包括质量结构，其中，质量结构沿垂直于主延伸平面的垂直方向相对于衬底能运动地构造，其中，质量结构具有电极结构，其中，衬底具有对应电极结构，其中，电极结构和对应电极结构电容式地耦合，其特征在于，质量结构–在微机电系统的静止状态中‑具有变形，其中，电极结构和/或对应电极结构根据质量结构的变形构造。
微机系统用于制造方法

[发明专利]用于转速传感器的微机械构件及其制造方法、转速传感器-CN202110468068.2在审
发明人： M·屈内尔;N·F·库尔曼;R·毛尔;R·舍本;S·梅尔基施;T·巴尔斯林科;W·盖格尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2021-04-28 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： G01C19/5712 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于转速传感器的微机械构件，所述微机械构件具有带有衬底表面(10)的衬底、一件式的第一转子质量(12a)和微机械构件的至少一个第一部件(22a，22b，38a，38b)，所述第一转子质量能够被置于围绕垂直于衬底表面(10)定向的第一旋转轴线(18a)的第一扭转振动运动(16a)中，其中，第一转子质量(12a)通过至少一个第一弹簧元件(26a)附接到所述至少一个第一部件(22a，22b，38a，38b)上，其中，至少一个第一弹簧元件(26a)分别延伸通过第一转子质量(12a)上的各一个侧向凹口(28a)并且附接到第一转子质量(12a)的缩回的边缘区域上。本发明还涉及一种转速传感器和一种用于转速传感器的微机械构件的制造方法。
用于转速传感器微机构件及其制造方法

[发明专利]具有止挡弹簧结构的微机械设备-CN202110400162.4在审
发明人： C·纳格尔;J·克拉森;R·舍本;R·艾德 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2021-04-14 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种微机械设备，具有衬底、可运动质量和止挡弹簧结构，该止挡弹簧结构具有止挡，其中，衬底具有平行于主延伸平面的衬底表面并且可运动质量相对于衬底可运动地布置在衬底表面上方，其中，止挡弹簧结构与可运动质量连接并且止挡构型成，在可运动质量沿z方向垂直于所述主延伸平面偏移时碰撞在所述衬底表面上。本发明的核心在于，止挡弹簧结构在止挡的位置处在z方向上具有第一弹簧常数Kz，在平行于主延伸平面的x方向上具有第二弹簧常数Kx，并且在平行于所述主延伸平面并且垂直于x方向的y方向上具有第三弹簧常数Ky，其中，所述第一弹簧常数Kz大于所述第二弹簧常数Kx和/或大于所述第三弹簧常数Ky。
具有弹簧结构微机设备

[发明专利]具有膜片元件的MEMS构件-CN201610584852.9有效
发明人： F·普尔科;M·斯顿伯;R·艾伦普福特;R·舍本;B·施泰因;C·谢林 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2016-07-22 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： H04R19/00 文献下载
摘要：提出一些措施，通过这些措施能够符合目的地减小MEMS构件的膜片结构内的机械应力，此外这些措施还使得膜片元件能具有与芯片面积相比较大的膜片面积。该膜片元件构造在MEMS构件的层结构中。该膜片元件覆盖该层结构中的开口并且通过弹簧结构连接到该层结构上。该弹簧结构包括至少一个第一弹簧部件，其基本上平行于该膜片元件取向并且构造在该膜片元件下方的层平面中。该弹簧结构还包括至少一个第二弹簧部件，其基本上垂直于该膜片元件取向。该弹簧结构这样设计，使得该膜片元件的面积大于该膜片元件覆盖的开口的面积。
具有膜片元件 mems 构件

[发明专利]微机械声转换器装置以及相应的制造方法-CN201510530178.1有效
发明人： C·谢林;B·施泰因;R·舍本;M·斯顿伯;T·卢茨 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2015-07-10 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种微机械声转换器装置和一种相应的制造方法。所述微机械声转换器装置包括具有前侧和背侧的衬底，其中衬底具有在背侧和前侧之间延伸的贯通开口，以及具有构造在前侧上的具有线圈轴线的线圈装置，所述线圈轴线基本上平行于前侧延伸，其中线圈装置至少部分跨越贯通开口。此外设置磁体装置，其如此设置，使得通过所述磁体装置可以产生穿过线圈装置的轴向磁通量。所述线圈装置具有绕组装置，所述绕组装置至少具有由低维的导电材料层构成的第一绕组区段，其中线圈装置如此构造，使得其能够感应地检测和/或产生声。
微机转换器装置以及相应制造方法

[发明专利]具有声压敏感膜片元件和压敏信号感测装置的MEMS构件-CN201610584853.3有效
发明人： T·布克;F·普尔科;M·斯顿伯;R·艾伦普福特;R·舍本;B·施泰因;C·谢林 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2016-07-22 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： H04R7/12 文献下载
摘要：MEMS构件(51)，在其层结构中构造有至少一个声压敏感的膜片元件(531)，其覆盖所述层结构中的开口或空腔，所述膜片元件(531)的偏移借助膜片元件(531)的连接区域中的至少一个压敏电路元件(58)来感测，提出应能够在所述膜片元件偏移时符合目的地影响膜片面上的应力分布的设计措施。尤其提出将所述机械应力符合目的地传导到膜片元件的预先给定区域中的措施，以便增强测量信号。为此，所述膜片元件(531)应包括至少一个预定弯曲区域(55)，其通过所述膜片元件(531)的结构化(571)限定并且在声作用下与邻接的膜片区段(56)相比更强烈地变形。
具有声压敏感膜片元件信号装置 mems 构件

[发明专利]MEMS话筒结构元件-CN201510657196.6有效
发明人： R·舍本 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2015-10-12 - 公布日： 2019-12-17 - 主分类号： H04R17/04 文献下载
摘要：提出一种方案，该方案能够实现具有非常好的SNR、高的话筒灵敏度和大的频率带宽的MEMS话筒结构元件。MEMS结构元件的话筒结构以层结构实现并且包括至少一个声压敏感的膜(210)、可透声的对应元件(220)和用于感测膜偏转的电容器装置，其中，所述膜(210)和所述对应元件(220)在层结构中上下相叠地并且相互间隔开地布置，并且分别配备有所述电容器装置的至少一个电极。根据本发明，所述膜(210)的所述层结构包括至少一个封闭的薄层(1)和至少一个结构化的厚层(2)，其中，在该厚层(2)中构造有覆盖整个膜表面的网栅结构(100)，该网栅结构确定所述膜(210)的刚性。
mems 话筒结构元件

[发明专利]MEMS麦克风构件和具有该MEMS麦克风构件的设备-CN201410717696.X有效
发明人： C·谢林;R·舍本;R·艾伦普福特 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2014-12-01 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： H04R1/08 文献下载
摘要：本发明提出一种容性MEMS麦克风构件，其能够可选地运行用于检测声学信号(麦克风模式)或用于检测在限定的频率范围中的超声波信号(超声波模式)。在MEMS麦克风构件的层结构中至少两个承载元件相叠地并相互间隔开地构造，至少两个承载元件用于电容器装置的两个电极侧，该电容器装置用于信号检测。这两个承载元件中的至少一个是声压敏感的，两个电极侧中的至少一个包括能相互独立地电接触的至少两个电极区段，至少两个电极区段连同另一电极侧的至少一个电极形成相互独立的子电容，如果声压敏感的承载元件以限定的频率的超声波被激励进行更高模式的振动，则电极区段的形状和平面延展通过声压敏感的承载元件的振动波腹的位置和延展确定。
微机系统麦克风构件有所设备

[发明专利]转速传感器和用于运行转速传感器的方法-CN201480028191.0有效
发明人： R·舍本;R·毛尔;B·库尔曼;M·哈塔斯;T·巴尔斯林科;B·施密特;R·阿梅林 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2014-05-05 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： G01C19/5712 文献下载
摘要：本发明提出一种转速传感器，其用于探测转速传感器围绕旋转轴线的旋转运动，其中旋转轴线在转速传感器的驱动平面内延伸，其中转速传感器具有第一旋转元件、第二旋转元件和能够平行于驱动平面运动的驱动结构，其中第一旋转元件可以围绕第一旋转中心被驱动成平行于驱动平面的第一旋转振动，其中第二旋转元件可以围绕第二旋转中心被驱动成平行于驱动平面的第二旋转振动，其特征在于，驱动结构与第一旋转元件并且与第二旋转元件耦合，其中驱动结构配置用于产生第一旋转振动与第二旋转振动的相反相位的驱动模式。
转速传感器用于运行方法

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