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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]基于扫描电子显微镜和声光的混合计量-CN202310373232.0在审
发明人： G·舒瓦茲;O·戈拉尼;I·沙尼;I·阿尔莫格 -专利权人：应用材料以色列公司
申请日： 2023-04-06 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： G01N23/2251 文献下载
摘要：本文公开了一种用于基于声光和扫描电子显微镜的非破坏性混合计量的方法。该方法包括：(i)获得样品上被检查结构的声光和扫描电子显微镜测量数据；(ii)处理测量数据，以分别提取与声光测量数据和扫描电子显微镜测量数据相对应的关键测量参数的值；以及(iii)通过将所提取的值输入到算法中来获得被检查结构的一个或多个结构参数的估计值，该算法被配置为联合处理所提取的值以输出一个或多个结构参数的估计值。
基于扫描电子显微镜声光混合计量

[发明专利]多视角晶片分析-CN202180067312.2在审
发明人： H·费尔德曼;E·内斯坦;H·伊兰;S·阿拉德;I·阿尔莫格;O·戈拉尼 -专利权人：应用材料以色列公司
申请日： 2021-09-02 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本文中公开了一种用于检测样本上的缺陷的方法。所述方法包括以下步骤：获得多重视角中的样本的区域的扫描数据；以及执行对获得的扫描数据的整合分析。整合分析包括：基于获得的扫描数据来计算跨视角协方差，和/或估计跨视角协方差；以及在考虑到跨视角协方差的情况下，确定区域中的缺陷的存在。
视角晶片分析

[发明专利]使用皮秒超声波的半导体结构的深度剖析-CN202180070031.2在审
发明人： O·戈拉尼;I·阿尔莫格 -专利权人：应用材料以色列公司
申请日： 2021-10-11 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01N29/04 文献下载
摘要：本文公开了一种用于包括目标区域的样品的深度剖析的方法，所述目标区域包括横向结构特征。方法包括获得样品的测得的信号并且对其进行分析以获得表征横向结构特征的至少一个参数的深度相关性。通过重复以下操作获得测得的信号：将泵脉冲投射到样品上，由此产生在目标区域内传播的声脉冲；使探测脉冲在目标区域内布里渊散射离开声脉冲；以及检测探测脉冲的散射分量以获得测得的信号。在每次重复中，相应探测脉冲在目标区域内的相应深度处散射离开声脉冲，由此探测多个深度处的目标区域。泵脉冲的波长大于横向结构特征的横向范围的至少约两倍。
使用超声波半导体结构深度剖析

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