专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体产品及其制作方法-CN200610126632.8有效
  • C·A·克莱恩特;J·韦勒;N·纳格尔;P·海巴赫 - 奇梦达股份公司
  • 2006-08-30 - 2007-03-07 - H01L27/112
  • 一种半导体产品,包含:具有衬底表面的衬底;彼此间以一定距离排列且沿第一方向延伸的多个字线;提供在字线之间的多个导电的接触结构,以及多个填充结构,每个填充结构将排列在两个相应字线之间的两个相应接触结构彼此分隔开,此两个相应接触结构以彼此相离一定距离沿第一方向排列,其中,每个接触结构具有提供在离衬底表面一定距离处的顶侧,并延伸到衬底表面,且其中,衬底表面处的接触结构沿第一方向的宽度大于接触结构的顶侧沿第一方向的宽度。由于接触结构在衬底表面处的宽度增大,即使在接触结构相对于有源区横向不对准的情况下,也得到了对有源区的改进了的电接触。
  • 半导体产品及其制作方法
  • [发明专利]用于例如集成电路的薄层的制造方法-CN200310101738.9无效
  • U·韦尔豪森;R·布鲁赫豪斯;N·纳格尔;S·格恩哈特 - 英飞凌技术股份有限公司
  • 2003-10-22 - 2004-05-19 - H01L21/82
  • 通过3个步骤方法形成用于比如铁电容器等结构的层,这些步骤包括:(i)在一部分或整个结构21上涂布润湿层23;(ii)在润湿层23上涂布第二种材料形成的第二层25;以及(iii)通过化学反应将第二种材料进行转化。在一个实施例中,此第二种材料是Al,而步骤(iii)包括将Al层25氧化,形成Al2O3层27。优选用即使在基片的高宽高比区也具有良好阶梯覆盖性的方法涂布此润湿层21,即使该方法的沉积速度可能比较低。优选由第二种材料在其上面具有高迁移率的材料形成润湿层21,这样使得铝层和随后的Al2O3层具有比较均匀的厚度。在步骤(iii)之前可以有一个提高第二种材料的侧向迁移率的步骤,比如通过热处理。
  • 用于例如集成电路薄层制造方法

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