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[实用新型]超声换能器器件-CN202223066986.1有效
发明人： D·朱斯蒂;M·费雷拉;L·滕托里 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本公开的实施例一种超声换能器器件，包括具有第一主表面和第二主表面的半导体本体并且包括：第一腔室，其在距所述第一主表面一定距离处延伸到所述半导体本体中；由所述半导体本体在所述第一主表面和所述第一腔室之间形成的膜；膜上的压电元件；在所述第一腔室和所述第二主表面之间延伸到所述半导体本体中的第二腔室；中心流体通道，所述中心流体通道从所述第二主表面到所述第一腔室延伸到所述半导体本体中并且横穿所述第二腔室；以及一个或多个横向流体通道，所述一个或多个横向流体通道从所述第二主表面延伸到所述半导体本体中到达所述第二腔室。利用本公开的实施例有利地改善了待检测物体和超声换能器器件之间的最小可检测相对距离。
超声换能器器件

[发明专利]部件数目减少的流体喷射设备以及用于制造流体喷射设备的方法-CN202010289274.2有效
发明人： D·朱斯蒂;C·L·佩瑞里尼;L·滕托里 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2020-04-14 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B41J2/16 文献下载
摘要：本公开的实施例涉及部件数目减少的流体喷射设备以及用于制造流体喷射设备的方法。各种实施例提供了一种用于流体的喷射设备。喷射设备包括：第一半导体晶片，该第一半导体晶片在其第一侧上容纳压电致动器和在压电致动器旁边的用于流体的出口通道；第二半导体晶片，该第二半导体晶片在其第一侧上具有凹口，并且与第一侧相对的其第二侧上具有用于将所述流体流体地耦合至凹口的至少一个入口通道；以及干膜，其被耦合到与第一晶片的第一侧相对的第二侧。第一晶片和第二晶片被耦合在一起，以使得压电致动器和出口通道被设置成直接面对并被完全容纳在凹口中，该凹口形成用于流体的储液器。干膜具有喷射喷嘴。
部件数目减少流体喷射设备以及用于制造方法

[实用新型]半导体器件和电子器件-CN202221597390.1有效
发明人： M·阿兹佩蒂亚·尤尔奎亚;L·滕托里 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H01L23/31 文献下载
摘要：本公开涉及半导体器件和电子器件。一种半导体器件，包括：管芯，包括：第一表面；第二表面，与所述第一表面相对；以及第一侧壁，横向于所述第一表面和所述第二表面，所述第一侧壁包括第三表面和第四表面，所述第四表面具有比所述第三表面更不规则的纹理。利用本公开的实施例有利地减小了半导体管芯的总厚度。
半导体器件电子器件

[发明专利]具有改进的膜振荡阻尼的MEMS超声换能器器件及其制造工艺-CN202211449389.9在审
发明人： D·朱斯蒂;M·费雷拉;L·滕托里 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本公开的实施例涉及去除所述半导体本体的从所述第二表面向所述第二腔室的一个或多个相应的选择性部分。一种MEMS超声换能器MUT器件，包括具有第一主表面和第二主表面的半导体本体并且包括：第一腔室，其在距所述第一主表面一定距离处延伸到所述半导体本体中；由所述半导体本体在所述第一主表面和所述第一腔室之间形成的膜；膜上的压电元件；在所述第一腔室和所述第二主表面之间延伸到所述半导体本体中的第二腔室；中心流体通道，所述中心流体通道从所述第二主表面到所述第一腔室延伸到所述半导体本体中并且横穿所述第二腔室；以及一个或多个横向流体通道，所述一个或多个横向流体通道从所述第二主表面延伸到所述半导体本体中到达所述第二腔室。
具有改进振荡阻尼 mems 超声换能器器件及其制造工艺

[实用新型]微流体设备和电子设备-CN202221597617.2有效
发明人： D·朱斯蒂;G·古利;F·费拉里奥;D·梅尔纳;L·滕托里 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2023-02-14 - 主分类号： B05B1/10 文献下载
摘要：本公开的各实施例总体上涉及微流体设备和电子设备。一种微流体设备具有腔室；与腔室流体连接的流体进入通道；与腔室流体连接的多个喷嘴孔；以及可操作地耦合到流体容纳腔室并且被配置为在微流体设备的操作条件下使流体的液滴喷射通过喷嘴孔的致动器。腔室具有细长形状，具有长度和最大宽度，其中腔室的长度与最大宽度之间的纵横比为至少3:1。喷嘴孔被配置为在使用中生成具有总液滴体积的多个液滴，其中总液滴体积与腔室体积的比率为至少15％。本实用新型的实施例提供了喷射非常小的液滴的改进的微流体设备。
流体设备电子设备

[发明专利]具有不规则纹理表面的超薄半导体管芯-CN202210724456.7在审
发明人： M·阿兹佩蒂亚·尤尔奎亚;L·滕托里 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： H01L23/31 文献下载
摘要：本公开涉及具有不规则纹理表面的超薄半导体管芯所述均匀表面可以是圆齿表面，并且所述圆齿表面的圆齿相对于彼此是基本上相同的大小和形状。与所述均匀表面相比，所述不规则表面具有更不规则的纹理。所述不规则表面可以包括多个随机间隔的高点以及在所述高点中的相邻高点之间的多个随机间隔的低点。多层结构包括与所述腔体对准并且覆盖所述腔体的有源区。在所述多层结构被形成之后，延伸到所述多层结构中到达所述腔体的至少一个凹槽被形成。形成所述凹槽形成悬置在所述腔体上方的管芯结构以及从所述管芯结构延伸到围绕所述管芯结构的悬置结构的延伸。所述管芯结构通过破坏所述延伸来从所述管芯悬置结构释放。
具有不规则纹理表面超薄半导体管芯

[发明专利]用于喷射非常小的液滴的改进的微流体设备-CN202210726259.9在审
发明人： D·朱斯蒂;G·古利;F·费拉里奥;D·梅尔纳;L·滕托里 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： B05B1/10 文献下载
摘要：本公开的各实施例总体上涉及用于喷射非常小的液滴的改进的微流体设备。一种微流体设备具有腔室；与腔室流体连接的流体进入通道；与腔室流体连接的多个喷嘴孔；以及可操作地耦合到流体容纳腔室并且被配置为在微流体设备的操作条件下使流体的液滴喷射通过喷嘴孔的致动器。腔室具有细长形状，具有长度和最大宽度，其中腔室的长度与最大宽度之间的纵横比为至少3:1。喷嘴孔被配置为在使用中生成具有总液滴体积的多个液滴，其中总液滴体积与腔室体积的比率为至少15％。
用于喷射非常改进流体设备

[发明专利]喷嘴板、流体喷射装置及它们的制造方法-CN201910116519.9有效
发明人： M·卡塔内奥;L·科罗姆伯;C·L·佩瑞里尼;D·法拉利;A·斯休蒂;L·滕托里 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2016-06-28 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： B41J2/01 文献下载
摘要：一种用于制造用于喷射流体(6)的装置(1)的方法，包括产生喷嘴板(8)的步骤，产生喷嘴板(8)的步骤包括以下步骤：在第一半导体本体(31,35)中形成具有第一直径(d1)的第一喷嘴空腔(35’；35”)；至少部分地在第一喷嘴空腔(35’；35”)中形成亲水层(42)；在亲水层上形成结构层(45)；蚀刻结构层以形成在流体喷射方向(Z)上与第一喷嘴空腔对准并且具有大于第一直径(d1)的第二直径(d4)的第二喷嘴空腔(48)；继续进行对结构层的蚀刻，以用于去除结构层的在第一喷嘴空腔中的部分，以到达亲水层(42)并且被布置成与第一和第二喷嘴空腔流体连通；以及将喷嘴板(8)与用于容纳流体(6)的腔室(10)耦合。
喷嘴流体喷射装置它们制造方法

[发明专利]具有改进灵敏度的集成电声MEMS换能器及其制造工艺-CN201710501986.4有效
发明人： M·佩尔勒蒂;S·洛萨;L·滕托里;M·C·图里 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2017-06-27 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： H04R19/00 文献下载
摘要：本公开涉及具有改进灵敏度的集成电声MEMS换能器及其制造工艺。例如，一种电声MEMS换能器，该电声MEMS换能器具有：半导体材料的衬底(23)；在该衬底中的贯通空腔(24)；背板(25)，该背板由该衬底通过板锚定结构(26)承载，该背板具有面向该贯通空腔的表面(25A)；固定电极(33)，该固定电极在该背板的该表面之上延伸；采用导电材料的薄膜(22)，该薄膜具有面向该固定电极的中心部分(22A)以及通过薄膜锚定结构(26)固定到该背板(25)的该表面(25A)上的外围部分(22B)；以及在该薄膜(22)与该背板(25)之间的腔室(28)，该腔室由该薄膜锚定结构外围地界定。
具有改进灵敏度集成电声 mems 换能器及其制造工艺

[实用新型]流体喷射设备和用于流体喷射的系统-CN202020542341.2有效
发明人： D·朱斯蒂;C·L·佩瑞里尼;L·滕托里 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2020-04-14 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： B41J2/14 文献下载
摘要：本公开的实施例涉及流体喷射设备和用于流体喷射的系统。各种实施例提供了一种用于流体的喷射设备。喷射设备包括：第一半导体晶片，该第一半导体晶片在其第一侧上容纳压电致动器和在压电致动器旁边的用于流体的出口通道；第二半导体晶片，该第二半导体晶片在其第一侧上具有凹口，并且与第一侧相对的其第二侧上具有用于将所述流体流体地耦合至凹口的至少一个入口通道；以及干膜，其被耦合到与第一晶片的第一侧相对的第二侧。第一晶片和第二晶片被耦合在一起，以使得压电致动器和出口通道被设置成直接面对并被完全容纳在凹口中，该凹口形成用于流体的储液器。干膜具有喷射喷嘴。
流体喷射设备用于系统

[实用新型]MEMS操纵装置-CN201920186315.8有效
发明人： D·朱斯蒂;L·滕托里 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2019-02-02 - 公布日： 2020-03-17 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本公开的实施例涉及MEMS操纵装置。MEMS操纵装置具有承载相应的相互面对的夹持元件的第一操纵臂和第二操纵臂。至少第一操纵臂由驱动臂和通过铰接结构被铰链连接在一起的铰接臂形成。第一驱动臂包括第一梁元件和在第一梁元件上的第一压电区域。第一铰接结构包括在厚度方向上不可变形的第一连接元件以及被插入在第一驱动臂、第一铰接臂和第一连接元件之间的第一铰链结构。
mems 操纵装置

[发明专利]在平面中可移动的、具有压电驱动的微机电微操纵装置-CN201910107464.5在审
发明人： D·朱斯蒂;L·滕托里 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2019-02-02 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本公开的实施例涉及一种在平面中可移动的、具有压电驱动的微机电微操纵装置。MEMS操纵装置具有承载相应的相互面对的夹持元件的第一操纵臂和第二操纵臂。至少第一操纵臂由驱动臂和通过铰接结构被铰链连接在一起的铰接臂形成。第一驱动臂包括第一梁元件和在第一梁元件上的第一压电区域。第一铰接结构包括在厚度方向上不可变形的第一连接元件以及被插入在第一驱动臂、第一铰接臂和第一连接元件之间的第一铰链结构。
操纵装置操纵臂驱动臂铰接结构连接元件压电驱动铰接臂可移动微机电夹持元件铰链结构铰链连接压电区域变形的承载

[发明专利]用于流体喷射装置的改进的制造方法以及流体喷射装置-CN201610490773.1有效
发明人： M·卡塔内奥;L·科罗姆伯;C·L·佩瑞里尼;D·法拉利;A·斯休蒂;L·滕托里 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2016-06-28 - 公布日： 2019-03-12 - 主分类号： B41J2/01 文献下载
摘要：一种用于制造用于喷射流体(6)的装置(1)的方法，包括产生喷嘴板(8)的步骤，产生喷嘴板(8)的步骤包括以下步骤：在第一半导体本体(31,35)中形成具有第一直径(d1)的第一喷嘴空腔(35’；35”)；至少部分地在第一喷嘴空腔(35’；35”)中形成亲水层(42)；在亲水层上形成结构层(45)；蚀刻结构层以形成在流体喷射方向(Z)上与第一喷嘴空腔对准并且具有大于第一直径(d1)的第二直径(d4)的第二喷嘴空腔(48)；继续进行对结构层的蚀刻，以用于去除结构层的在第一喷嘴空腔中的部分，以到达亲水层(42)并且被布置成与第一和第二喷嘴空腔流体连通；以及将喷嘴板(8)与用于容纳流体(6)的腔室(10)耦合。
用于流体喷射装置改进制造方法以及

[实用新型]电声MEMS换能器、麦克风和电子设备-CN201720762832.6有效
发明人： M·佩尔勒蒂;S·洛萨;L·滕托里;M·C·图里 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2017-06-27 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： H04R19/00 文献下载
摘要：本公开涉及电声MEMS换能器、麦克风和电子设备，该电声MEMS换能器具有：半导体材料的衬底(23)；在该衬底中的贯通空腔(24)；背板(25)，该背板由该衬底通过板锚定结构(26)承载，该背板具有面向该贯通空腔的表面(25A)；固定电极(33)，该固定电极在该背板的该表面之上延伸；采用导电材料的薄膜(22)，该薄膜具有面向该固定电极的中心部分(22A)以及通过薄膜锚定结构(26)固定到该背板(25)的该表面(25A)上的外围部分(22B)；以及在该薄膜(22)与该背板(25)之间的腔室(28)，该腔室由该薄膜锚定结构外围地界定。
背板薄膜固定电极衬底电子设备贯通空腔锚定结构麦克风腔室半导体材料外围导电材料板锚界定承载延伸

[发明专利]用于热喷射液体的微流体设备-CN201710189425.5在审
发明人： D·朱斯蒂;L·滕托里 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2017-03-27 - 公布日： 2018-02-13 - 主分类号： B41J2/14 文献下载
摘要：一种用于热喷射液体的微流体设备(50)，该微流体设备包括多个腔室(51)；多个喷嘴(58)，该多个喷嘴被安排在这些腔室(51)之上；多个沟道加热器(60)，该多个沟道加热器在每个腔室(51)附近；液体入口(59)，该液体入口连接到这些腔室；以及循环沟道(52)，该循环沟道集成在该本体中并且连接到该液体入口(59)。沿该循环沟道(52)的加热器在该设备不工作期间维持液体运动，防止颗粒在液体中沉积或聚合。
用于喷射液体流体设备

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