专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]半导体器件-CN202222274913.5有效
  • P·菲拉里;L·科索;F·F·维拉;S·尼科利;L·拉玛格纳 - 意法半导体股份有限公司
  • 2022-08-29 - 2023-02-17 - B81B7/02
  • 本公开涉及半导体器件。半导体器件包括:第一微机电系统器件;第二微机电系统器件;衬底;第一电极,第一电极被耦合到在衬底上延伸的第一微机电系统器件;第一电极上的第一层;在第一层上的、对蚀刻化学溶液不可渗透的保护层;在保护层上的、多孔材料的膜层,膜层对蚀刻化学溶液可渗透;被膜层重叠的腔;第一结构层,第一结构层密封膜层的孔并且与膜层形成第一微机电系统器件的悬置结构,悬置结构是通过腔电容性耦合到第一电极的第二电极;以及第二结构层在第一结构层上,并且第二结构层包括:第二微机电系统器件的可移动结构;以及第一微机电系统器件的第一电极和第二电极的偏置结构。由此,提供了改进的半导体器件。
  • 半导体器件
  • [实用新型]组合微机电器件-CN202221280850.8有效
  • F·韦尔切西;L·塞吉齐;L·奥吉欧尼;L·科索 - 意法半导体股份有限公司
  • 2022-05-25 - 2022-11-15 - B81C1/00
  • 本公开的各实施例总体上涉及组合微机电器件。一种用于制造组合微机电器件的方法包括:在半导体材料的管芯中形成至少第一微机电结构和第二微机电结构;执行第一结合阶段以经由结合区域或粘合剂将盖结合到管芯以至少分别在第一微机电结构和第二微机电结构处限定第一腔和第二腔,腔处于受控压力下;形成通过盖的与第一腔流体连通的进入通道,以便关于第二腔内的相应压力值以不同方式来控制第一腔内的压力值;以及执行第二结合阶段,之后,结合区域变形以关于进入通道气密地封闭第一腔。本实用新型的实施例提供了一种制造成本低廉的组合微机电器件。
  • 组合微机器件
  • [实用新型]MEMS设备-CN202121072705.6有效
  • G·阿勒加托;L·科索;I·格尔米;C·瓦尔扎希纳 - 意法半导体股份有限公司
  • 2021-05-19 - 2022-02-08 - B81C1/00
  • 本公开的实施例涉及MEMS设备。该设备包括:衬底;第一结构层,具有第一厚度并且在衬底上延伸;第二结构层,具有第二厚度并且在第一结构层上延伸;多个第一沟槽,延伸通过第一结构层并且限定第一功能元件;多个第二沟槽,延伸通过第二结构层并且限定覆盖第一功能元件的第二功能元件;多个第三沟槽,延伸通过第一结构层和第二结构层,其中第一结构层和第二结构层形成支撑结构,具有第三厚度,支撑结构被锚定到衬底并且支撑第一功能元件和第二功能元件,第一间隙区在第一功能元件与第二功能元件之间延伸并且围绕支撑结构。利用本公开的实施例可以有利地允许多个微机械结构被布置在单个管芯中,允许整体大小被减小,降低制造成本,改善设备集成。
  • mems设备
  • [发明专利]用于制造微机电设备的工艺和MEMS设备-CN202110545660.8在审
  • G·阿勒加托;L·科索;I·格尔米;C·瓦尔扎希纳 - 意法半导体股份有限公司
  • 2021-05-19 - 2021-11-26 - B81C1/00
  • 本公开的实施例涉及用于制造微机电设备的工艺和MEMS设备。一种用于制造MEMS设备的工艺包括在衬底上形成第一厚度的第一结构层。第一沟槽通过所述第一结构层形成,并且通过第一开口隔开的掩模区域在所述第一结构层上被形成。第二厚度的第二结构层在所述第一开口处与所述第一结构层直接接触的所述第一结构层上被形成,并且第二结构层与所述第一结构层一起形成第三厚度的厚结构区域,第三厚度等于所述第一厚度和所述第二厚度的所述总和。多个第二沟槽通过所述第二结构层在所述掩模区域上方被形成,并且第三沟槽通过去除所述厚结构区域的选择性部分通过所述第一结构层和所述第二结构层形成。
  • 用于制造微机设备工艺mems
  • [实用新型]集成半导体器件-CN201720315465.5有效
  • A·托齐奥;L·科索 - 意法半导体股份有限公司
  • 2017-03-28 - 2017-12-19 - B81B7/02
  • 公开了集成半导体器件。一种用于制造集成半导体器件(55)的工艺,包括形成MEMS结构(26);形成ASIC电子电路(36);以及将该MEMS结构电耦合至该ASIC电子电路(36)。该MEMS结构和该ASIC电子电路从包括半导体材料的同一衬底(20)开始集成;其中,该MEMS结构(26)形成在该衬底的第一表面(20a)处,并且该ASIC电子电路形成在该衬底(20)的第二表面(20b’)处,在横向于该第一表面(20a)和该第二表面(20b’)的延伸部的水平平面的方向上,该第二表面与该第一表面(20a)竖直相反。
  • 集成半导体器件

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