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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于多源激发拉曼光谱法的设备和方法-CN202310360111.2在审
  • G·A·安东内利 - 昂图创新有限公司
  • 2023-04-06 - 2023-10-17 - G01N21/65
  • 公开了一种执行多波长偏振共焦拉曼光谱法的光学计量设备。该光学计量设备使用第一光源来产生具有第一波长的第一光束，并且使用第二光源来产生具有第二波长的第二光束。二向色分束器部分地反射第一光束并透射第二光束以将沿着入射在样本上的同一光轴的光束组合。该二向色分束器将响应于该第一光束和该第二光束而从样本发射的拉曼响应一起引导向至少一个光谱仪，并引导该第一光束远离该至少一个光谱仪。斩波器可用于隔离由该至少一个光谱仪接收并进行光谱测量的、对该第一光束和该第二光束的拉曼响应。
  • 用于激发光谱设备方法
  • [发明专利]用于沟槽的光学测量的目标-CN202180037337.8在审
  • N·J·凯勒;G·A·安东内利 - 昂图创新有限公司
  • 2021-04-16 - 2023-01-31 - H01L21/66
  • 一种计量目标被设计用于测量待测装置中的沟槽的底部处的特征，诸如三维(3D)NAND中的字线中的钨凹陷部竖直轮廓。该计量目标遵循该待测装置的设计规则，并且包括层叠堆叠，该层叠堆叠具有多个层叠堆叠对以及延伸穿过这些层叠堆叠对的沟槽，每个层叠堆叠对包括导体层(诸如钨)和绝缘体层(诸如二氧化硅)。该计量目标包括通孔，该通孔延伸穿过该层叠堆叠对，并且被定位成与该沟槽相距一定横向距离以经由等离子体共振促进光到达该沟槽的底部，以用于测量该沟槽的特性，诸如字线狭缝的底部处的钨凹陷部。
  • 用于沟槽光学测量目标
  • [发明专利]透明膜堆叠的光声测量-CN202210368221.9在审
  • G·A·安东内利;M·S·梅亨代尔;R·梅尔;N·J·凯勒 - 昂图创新有限公司
  • 2022-03-30 - 2022-10-04 - G01N21/17
  • 本公开涉及透明膜堆叠的光声测量。一种非破坏性光声计量装置检测膜堆叠中不均匀性的存在和位置，该膜堆叠包括大量透明层，例如50个透明层或更多。该膜堆叠的底部处的换能器层响应于激发束而产生声波。探测束从该膜堆叠的层界面和该声波被反射以产生干涉信号，该干涉信号在该声波在该膜堆叠中向上传播时从相消和相长干涉编码时域中的数据。可跨越该时域分析该数据以确定该膜堆叠中的一个或多个不均匀性的该存在和位置。声学计量目标可被制造成具有换能器层，该换能器层被配置为基于该膜堆叠的特性产生具有所期望的声学轮廓的声波。
  • 透明堆叠测量
  •  1 
  • 共 3 条
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