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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]自主基板处理系统-CN202280009021.2在审
发明人： P·潘达;连磊;韩鹏昱;T·J·伊根;P·阿吉;E·莫;A·J·汤姆;L·M·泰德斯奇 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2022-01-05 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：一种基板处理系统包括：一个或多个传输腔室；多个工艺腔室，连接至一个或多个传输腔室；以及计算设备，连接至多个工艺腔室中的每一者。所述计算设备用于：在第一工艺腔室内执行工艺期间或之后接收由第一工艺腔室的传感器产生的第一测量；基于使用第一经训练的机器学习模型处理所述第一测量来确定第一工艺腔室应要维护；在已经对第一工艺腔室执行了维护之后，在第一工艺腔室内执行调理工艺期间或之后接收由传感器产生的第二测量；以及基于使用第二经训练的机器学习模型处理所述第二测量来确定第一工艺腔室准备好重新投入使用。
自主处理系统

[发明专利]用于针对移动的工艺套件测量侵蚀并校准位置的方法和装置-CN201980048811.X在审
发明人： C·G·波特;E·莫;S·洛佩兹卡巴加尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-08-23 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本文中所公开的实施例包括一种校准处理腔室的方法。在实施例中，该方法包括以下步骤：将传感器晶片放置到处理腔室中的支撑表面上，其中在Z方向上能移位的工艺套件定位在支撑表面周围。在实施例中，该方法进一步包括以下步骤：用该传感器晶片的边缘表面上的传感器测量传感器晶片与工艺套件之间的第一间隙距离。在实施例中，该方法进一步包括以下步骤：使工艺套件在Z方向上移位。在实施例中，该方法进一步包括以下步骤：测量传感器晶片与工艺套件之间的额外间隙距离。
用于针对移动工艺套件测量侵蚀校准位置方法装置

[发明专利]用于测量工艺配件中心的方法和设备-CN201980048903.8在审
发明人： C·G·波特;E·莫 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-07-31 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本文公开的实施例包含一种传感器晶片。在实施例中，传感器晶片包括基板，其中所述基板包括第一表面、与第一表面相对的第二表面、以及第一表面和第二表面之间的边缘表面。在实施例中，传感器晶片进一步包括沿着边缘表面形成的多个传感器区域，其中每个传感器区域包括自参照电容式传感器。
用于测量工艺配件中心方法设备

[发明专利]具有超精细结构的光学系统-CN202010597754.5在审
发明人： Y·艾米泰;Y·欧菲儿;E·莫 -专利权人：鲁姆斯有限公司
申请日： 2015-11-10 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： G02B27/01 文献下载
摘要：提供了一种光学系统，包括：光传输基片(20)，具有至少两个外部主要表面和边；光学元件，用于耦合光波进入利用内反射的基片(20)；位于基片(20)中的至少一个部分反射面，用于将光波从基片(20)中耦出；至少一个透明空气间隙薄膜(110)，包括基座(112)和在基座上构建的定义浮雕构造的超精细结构(111)；其中，空气间隙薄膜附连到基片(20)的主要表面之一，浮雕构造面向基片(20)，定义了界面平面(58)，以便耦合在基片(20)内部的光波基本上完全从界面平面(58)反射。
具有精细结构光学系统

[发明专利]通过超精细结构保护的紧凑型头戴式显示系统-CN201580061163.3有效
发明人： Y·艾米泰;Y·欧菲儿;E·莫 -专利权人：鲁姆斯有限公司
申请日： 2015-11-10 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： G02B27/01 文献下载
摘要：提供了一种光学系统，包括：光传输基片(20)，具有至少两个外部主要表面和边；光学元件，用于耦合光波进入利用内反射的基片(20)；位于基片(20)中的至少一个部分反射面，用于将光波从基片(20)中耦出；至少一个透明空气间隙薄膜(110)，包括基座(112)和在基座上构建的定义浮雕构造的超精细结构(111)；其中，空气间隙薄膜附连到基片(20)的主要表面之一，浮雕构造面向基片(20)，定义了界面平面(58)，以便耦合在基片(20)内部的光波基本上完全从界面平面(58)反射。
通过精细结构保护紧凑型头戴式显示系统

[发明专利]用于控制载波包络相位的方法和装置-CN200780023212.X有效
发明人：常增虎;李成全;E·莫 -专利权人：堪萨斯州立大学研究基金会
申请日： 2007-06-21 - 公布日： 2009-07-01 - 主分类号： H01S3/13 文献下载
摘要：一种线性调频脉冲放大激光系统。该系统通常包括：激光源(12)、包括隔开一间距的第一和第二脉冲修改元件的脉冲修改装置(18)、定位元件(24_s)、测量装置(22)、以及反馈控制器(26)。激光源(12)可操作以产生激光脉冲，脉冲修改装置可操作以修改激光脉冲的至少一部分。定位元件(24_s)可操作以重新定位脉冲修改装置的至少一部分来改变间距。测量装置(22)可操作以测量产生的激光脉冲的载波包络相位，反馈控制器(26)可操作以基于已被测量的载波包络相位控制定位元件来改变脉冲修改元件的间距，并控制由激光源产生的激光脉冲的载波包络相位。
用于控制载波包络相位方法装置

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