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[发明专利]具备行驶及引导功能的滚轮单元及利用其的托盘移送系统-CN202010084861.8在审
发明人：吴珖根;河在福 -专利权人： BNS株式会社;HNS株式会社
申请日： 2020-02-10 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及具备行驶及引导功能的滚轮单元，具备行驶及引导功能的滚轮单元连结于用于移送基板的托盘，具备相对于水平面倾斜地附着的引导滚轮，在沿着具有倾斜端面的行驶轨道行驶期间，防止引导滚轮从行驶轨道脱离，可以稳定地行驶，具备行驶及引导功能的滚轮单元包括：旋转单元，所述旋转单元能旋转地安装于托盘的底座；脚轮块，所述脚轮块借助连结构件而连结于旋转单元，具有向左右侧下方倾斜的端面部；引导滚轮，所述引导滚轮在脚轮块的左右侧倾斜端面部结合多个。因此，本发明的具备行驶及引导功能的滚轮单元由于同时具备行驶及引导功能的结构，因而在具有滚轮单元稳定地行驶的同时，可以防止滚轮单元从行驶轨道脱离的效果。
具备行驶引导功能滚轮单元利用托盘移送系统

[发明专利]具备行驶及引导功能的轨道转向模块及其托盘移送系统-CN202010084918.4在审
发明人：金泰泳 -专利权人： BNS株式会社;HNS株式会社
申请日： 2020-02-10 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：提供一种具备行驶及引导功能的轨道转向模块及其托盘移送系统，包括连接轨道部，连接轨道部具备旋转底座和连接轨道及限位器进行安装，能在行驶轨道之间旋转，连接轨道部的旋转底座加装连接轨道部的连接轨道和限位器，借助于轨道转向模块的旋转运转而使连接轨道部的位置旋转，连接轨道部的连接轨道包括以上部面为平坦端面的连接垫和以向连接垫的左右侧倾斜的端面部形成的引导轨道，轨道转向模块配置于连接轨道部的下部。因此，根据本发明，在移送用于工序间的基板移送的托盘的托盘移送系统中，安装于行驶轨道的交叉部，在支撑附着于托盘的滚轮单元的引导滚轮的同时执行方向转换，具有能够防止在托盘移送方向转换时发生的冲击及振动的效果。
具备行驶引导功能轨道转向模块及其托盘移送系统

[发明专利]具备行驶及引导功能的行驶轨道及利用其的托盘移送系统-CN202010084978.6在审
发明人：吴珖根;河在福 -专利权人： BNS株式会社;HNS株式会社
申请日： 2020-02-10 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及具备行驶及引导功能的行驶轨道，用于工序间基板移送的具备行驶及引导功能的行驶轨道，在用于移送基板的托盘移送系统中交叉地形成有多个，所述具备行驶及引导功能的行驶轨道包括：作为上部端面的平坦的轨道垫、向所述轨道垫的左右侧下方倾斜的轨道倾斜部、从所述轨道倾斜部延长而由槽部构成的异物承接部。因此，本发明的具备行驶及引导功能的行驶轨道由此同时具备行驶与引导功能的结构，滚轮单元沿着轨道倾斜部稳定地行驶，从而具有可以防止滚轮单元从行驶轨道脱离的效果。
具备行驶引导功能轨道利用托盘移送系统