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[发明专利]重复缺陷检查-CN201880044655.5有效
发明人： P·M·桑卡;A·巴拉达拉真;罗柱桓 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2018-07-08 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明涉及晶片上的重复缺陷，其可通过融合多个裸片图像来检测。在一例子中，统计地融合多个裸片图像以形成裸片融合图像。所述裸片图像中的每一者可为晶片上的不同裸片的图像。检测所述裸片融合图像中是否存在重复缺陷。可使用激光扫描系统或其它系统来产生所述裸片图像。
重复缺陷检查

[发明专利]检验及其它工艺中样品的对准-CN202180053901.5在审
发明人：姜旭光;黄彤;N·R·吉里什;P·张;F·奥默;A·巴拉达拉真;V·罗曼诺夫斯基;W·康 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2021-09-09 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供用于设置样品的对准的方法及系统。一种系统包含计算机子系统，所述计算机子系统经配置以用于在样品上的印刷实例的对应区域中的模板位置处获取从输出获取子系统的检测器的输出产生的二维(2D)图像。所述计算机子系统使用所述2D图像来确定所述模板位置之间在x方向及y方向上的偏移且基于所述偏移而确定所述样品相对于所述输出获取子系统的角度。如果所述角度大于预定值，那么所述计算机子系统旋转所述样品且重复进行上文所描述的所述步骤。如果所述角度小于所述预定值，那么所述计算机子系统存储所述2D图像中的一者以用于在对样品执行的工艺中进行所述样品的对准。所述2D图像可包含多模式图像，可在确定所述偏移之前融合所述多模式图像。
检验其它工艺样品对准

[发明专利]用于检测衬底上的缺陷的方法及系统-CN201780012679.8有效
发明人： P·M·桑卡;A·巴拉达拉真 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2017-02-23 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明揭示一种检验方法，其包含：接收衬底的多个检验图像。所述方法包含：从来自第一通道的第一图像产生第一噪声图像，及从来自额外通道的额外图像产生额外噪声图像。所述方法进一步包含：从所述第一噪声图像产生第一信噪比SNR图像，及从所述额外噪声图像产生额外SNR图像；以及识别所述第一SNR图像及所述额外SNR图像中的一或多个第一像素候选者。所述方法进一步包含：基于所述一或多个经识别第一像素候选者及所述一或多个经识别额外像素候选者，在共同像素候选位点处，将来自所述第一SNR图像的图像数据与来自所述额外SNR图像的图像数据组合以形成用于检测所述衬底上的缺陷的组合图像。
图像噪声图像像素衬底图像数据额外通道额外图像图像产生组合图像信噪比检测位点检验