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[发明专利]用于在基于图像的叠加计量中确定目标特征焦点的系统及方法-CN202180064419.1在审
发明人： E·拉维特;A·玛纳森;Y·西蒙;D·桑科;A·萨夫兰尼 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2021-09-21 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：一种计量系统包含通信地耦合到控制器的一或多个离焦成像计量子系统，所述控制器具有经配置以接收在一或多个焦点位置处捕获的多个训练图像的一或多个处理器。所述一或多个处理器可基于所述多个训练图像产生机器学习分类器。所述一或多个处理器可接收针对一或多个目标叠加测量的对应于一或多个目标特征的一或多个目标特征选择。所述一或多个处理器可使用所述机器学习分类器来基于所述一或多个目标特征选择确定一或多个目标焦点位置。所述一或多个处理器可：接收在所述一或多个目标焦点位置处捕获的一或多个目标图像，所述目标图像包含目标样品的所述一或多个目标特征；及基于所述一或多个目标图像确定叠加。
用于基于图像叠加计量确定目标特征焦点系统方法

[发明专利]用于原位载物台校正的有源光罩载体-CN202180053904.9在审
发明人： A·萨夫兰尼;A·帕希玛;R·鲁多伊;S·马克 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2021-09-01 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G03F1/66 文献下载
摘要：提供一种光罩检验系统及一种在光罩检验系统中处置光罩的方法。所述光罩检验系统包含有源光罩载体及检验工具。所述光罩安置在所述有源光罩载体上，并且所述检验工具经配置以当所述有源光罩载体安置在光罩载物台上时确定所述光罩的定向。所述有源光罩载体可在装载站与所述光罩载物台之间移动，并且经配置以当所述有源载体安置在所述光罩载物台上时，基于所述光罩的所述定向旋转所述光罩以重新定向所述光罩。
用于原位载物台校正有源载体

[发明专利]用于经埋藏计量目标的成像系统-CN202180032843.8在审
发明人： A·V·希尔;G·拉雷多;A·玛纳森;A·萨夫兰尼 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2021-05-24 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种计量系统可包含对埋藏于样本中的计量目标进行成像的成像子系统，其中所述样本是由在接口处具有计量目标的经接合的第一及第二衬底形成。所述计量系统可进一步包含具有照明场光阑及照明光瞳的照明子系统，其中所述照明场光阑包含孔径以使得所述场光阑孔径在对应于所述计量目标的测量平面上的经投影大小匹配检测器在所述测量平面处的视场，且其中所述照明光瞳包含中心视障以提供具有大于截止角的角度的所述计量目标的倾斜照明，所述截止角经选择以防止来自照明源的照明反射离开所述样本的底面且穿过所述检测器在所述测量平面处的所述视场。
用于埋藏计量目标成像系统

[发明专利]生产及过程控制工具的衬底搬运的自动教导-CN202080061550.8在审
发明人： A·萨夫兰尼;S·马克;A·艾曾;M·阿尔比特 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2020-09-08 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：将教导衬底装载到制作或检验工具的装备前端模块(EFEM)的装载口中。所述EFEM包含衬底搬运机器人。所述教导衬底包含多个传感器及一或多个无线收发器。所述工具包含多个工作站。在所述教导衬底位于所述EFEM中的情况下，所述衬底搬运机器人沿着初始路线移动且从所述教导衬底无线地接收传感器数据。至少部分地基于所述传感器数据，确定不同于所述初始路线的经修改路线。所述衬底搬运机器人沿着所述经修改路线移动，从而搬运所述教导衬底。至少部分地基于所述传感器数据，确定所述多个工作站的位置。
生产过程控制工具衬底搬运自动教导

[发明专利]驱动电路-CN201580045473.6有效
发明人： A·萨夫兰尼;G·卡罗格拉其斯 -专利权人：菲尼萨公司
申请日： 2015-06-26 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： H03F3/45 文献下载
摘要：一种电路，其包括第一和第二输入节点、第一和第二输出节点、第一和第二中间节点以及第一和第二电阻。该电路还包括与第一输入节点、第一电阻和第一中间节点耦合的第一放大晶体管，以及与第二输入节点、第二电阻和第二中间节点耦合的第二放大晶体管。该电路还包括与第一输出节点和第一中间节点耦合的第一有源器件，与第二输出节点和第二中间节点耦合的第二有源器件，与第一输出节点耦合并被配置成基于第二中间节点上的第二中间信号导通的第一输出晶体管，以及与第二输出节点耦合并被配置成基于第一中间节点上的第一中间信号导通的第二输出晶体管。
驱动电路