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[发明专利]用于夹持弯曲晶片的方法及系统-CN201780064161.9有效
发明人： A·巴朗;黄鲁平;S·昌达恩;嘉驹·盖伦·陈;T·梅里亚姆 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2017-10-18 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本文中提出用于将弯曲薄衬底真空安装到平整吸盘上的方法及系统。一种真空吸盘包含三个或更多个可折叠波纹管，所述三个或更多个可折叠波纹管在所述吸盘上方移动且移动到与弯曲衬底接触。所述波纹管密封且真空夹置到所述衬底的背侧表面上。在一些实施例中，在夹置时所述波纹管折叠达至少500微米。可延伸密封元件安装于吸盘主体的表面上的凹陷环形通道中。在所述衬底朝向所述夹持表面移动时，所述可延伸密封元件在所述吸盘主体上方延伸至少5毫米且延伸到与所述衬底接触。在抽空所述吸盘与所述衬底之间的空间时，所述可延伸密封元件折叠到所述凹陷环形通道中，且所述衬底夹置到所述吸盘主体的所述平整夹持表面上。
用于夹持弯曲晶片方法系统

[发明专利]半导体晶片处置方法与装置-CN201980037054.6有效
发明人： A·巴朗;江浩然 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2019-06-11 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种用于夹持半导体晶片的组合件，其包含板及经安装于所述板上的静电吸盘。多个槽在所述静电吸盘的相应部分之间延伸以接纳晶片处置器的末端执行器的臂。所述末端执行器的所述臂支撑被放置到所述静电吸盘上及从所述静电吸盘移除的半导体晶片。
半导体晶片处置方法装置

[发明专利]半导体晶片处置方法与装置-CN202210817054.1在审
发明人： A·巴朗;江浩然 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2019-06-11 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请实施例涉及半导体晶片处置方法与装置。本发明提供一种用于夹持半导体晶片的组合件，其包含板及经安装于所述板上的静电吸盘。多个槽在所述静电吸盘的相应部分之间延伸以接纳晶片处置器的末端执行器的臂。所述末端执行器的所述臂支撑被放置到所述静电吸盘上及从所述静电吸盘移除的半导体晶片。
半导体晶片处置方法装置

[发明专利]可自动配置的模拟系统和方法-CN202080065647.6在审
发明人： P·V·乌帕德拉斯塔;A·巴朗;J·周;Q·通塔特 -专利权人：直观外科手术操作公司
申请日： 2020-08-14 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G16H40/60 文献下载
摘要：本申请公开示例性可自动配置的模拟系统，其包括被配置为模拟包括在多种类型的外科手术器械操纵系统中的第一类型的外科手术器械操纵系统的控制模块和通信地连接到控制模块的计算设备。计算设备包括处理器，处理器被配置为执行指令以将控制模块通信地连接到计算机辅助外科手术系统的用户控制台，在将控制模块通信地连接到用户控制台之后，确定用户控制台被配置为便于控制第二类型的外科手术器械操纵系统，存储指示用户控制台被配置为便于控制第二类型的外科手术器械操纵系统的数据，并且重新编程控制模块使得控制模块被配置为模拟第二类型的外科手术器械操纵系统。
自动配置模拟系统方法

[发明专利]六自由度工件载台-CN202080041644.9在审
发明人： A·巴朗 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2020-06-19 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：第二载台安置于第一载台上。所述第二载台提供六自由度。固持工件的卡盘安置于所述第二载台上。实现三个方向上的移动的致动器安置于所述第二载台上。在检验所述卡盘上的所述工件期间，所述第一载台及所述第二载台独立于彼此移动。
自由度工件

[发明专利]多级、多区域衬底定位系统-CN202080040851.2在审
发明人： Y·于齐耶尔;U·铂尔曼;F·拉斯克;N·古特曼;A·希尔德斯海姆;A·巴朗 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2020-06-17 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：一种第一x‑y平移载物台、一种第二x‑y平移载物台及一种卡盘安置于腔室中。所述卡盘位于所述第二x‑y平移载物台上方且耦合到所述第二x‑y平移载物台，所述第二x‑y平移载物台位于所述第一x‑y平移载物台上方且耦合到所述第一x‑y平移载物台。所述卡盘经配置以支撑衬底且通过所述第一x‑y载物台及所述第二x‑y载物台在x方向及y方向上平移，所述x方向及所述y方向基本上平行于所述卡盘的其上将安装所述衬底的表面。第一屏障及第二屏障也安置于所述腔室中。所述第一屏障耦合到所述第一x‑y平移载物台以使所述腔室的第一区域与所述腔室的第二区域分离。所述第二屏障耦合到所述第二x‑y平移载物台以使所述腔室的所述第一区域与所述腔室的第三区域分离。
多级区域衬底定位系统

[发明专利]浮动晶片夹盘-CN201880029392.0有效
发明人： A·巴朗;V·维尚 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2018-05-11 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：边缘夹持器安置在夹盘的外边缘周围。所述边缘夹持器中的每一者包含：指形件，其经配置以围绕一点枢转；接触垫，其经配置以接触所述晶片；以及弯曲部，其安置于所述接触垫与所述指形件之间。所述弯曲部经配置以朝向和远离所述夹盘而弯曲。所述夹盘可使用设计成使晶片保持浮动在所述夹盘上方的真空和压力喷嘴矩阵。所述边缘夹持器可在边缘固持所述晶片，同时最小化所述晶片的变形，或不影响所述晶片的z抖动。
浮动晶片

[发明专利]用于半导体检验和光刻系统的载台设备-CN201910912747.7在审
发明人： A·巴朗 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2014-12-05 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请实施例涉及用于半导体检验和光刻系统的载台设备。在可相对于载台框架移动的载台的卡盘上接纳半导体样本。使所述载台、卡盘和样本在用于检验或曝光所述样本的检验或曝光头部下方移动，且多个二维编码器头部与所述卡盘耦合。多个二维编码器标尺与所述头部穿过其中插入的基底耦合，且载台编码器定位在所述载台框架上。基于由所述二维编码器头部中的至少一个检测到的位置控制所述载台、卡盘和样本的移动，直到到达在未被所述二维编码器标尺覆盖的间隙内的预定。当到达在所述间隙内的这种预定义位置时，将所述载台、卡盘和样本的移动控制切换到基于由所述载台编码器检测到的位置。
二维编码器卡盘载台样本耦合编码器标尺移动控制切换半导体检验半导体样本预定义位置光刻系统框架移动曝光头部位置控制台框架检测移动基底检验穿过接纳曝光覆盖申请

[发明专利]用于半导体检验和光刻系统的载台设备-CN201480066589.3在审
发明人： A·巴朗 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2014-12-05 - 公布日： 2016-07-20 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：在可相对于载台框架移动的载台的卡盘上接纳半导体样本。使所述载台、卡盘和样本在用于检验或曝光所述样本的检验或曝光头部下方移动，且多个二维编码器头部与所述卡盘耦合。多个二维编码器标尺与所述头部穿过其中插入的基底耦合，且载台编码器定位在所述载台框架上。基于由所述二维编码器头部中的至少一个检测到的位置控制所述载台、卡盘和样本的移动，直到到达在未被所述二维编码器标尺覆盖的间隙内的预定义位置。当到达在所述间隙内的这种预定义位置时，将所述载台、卡盘和样本的移动控制切换到基于由所述载台编码器检测到的位置。
用于半导体检验光刻系统设备

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