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- [实用新型]一种可换拨料pin的棘轮-CN202320982919.X有效
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高文峰;赵洁;张恩亮;钱正军
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上海天檀电子科技有限公司
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2023-04-26
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2023-10-20
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F16H55/17
- 本实用新型实施例提供一种可换拨料pin的棘轮,属于机械自动化技术领域。所述棘轮包括:棘轮固定盘,所述棘轮固定盘与马达的旋转轴连接,以被所述马达带动转动,且所述棘轮固定盘远离所述马达的一面设有圆形空槽,所述棘轮固定盘的圆周侧边设有多个容纳槽,所述容纳槽的底部与所述圆形空槽连通;棘轮pin,设置在所述容纳槽内,且所述棘轮pin的顶部超过所述容纳槽的顶部,所述棘轮pin的底部与所述容纳槽的底部相互限位;第一棘轮挡圈,设置在所述容纳槽内,且所述第一棘轮挡圈的侧边能够抵住所述棘轮pin的底部。该棘轮的棘轮pin采用可更换的方式,在该棘轮pin磨损后仅需要更换磨损的棘轮pin即可,无需整体棘轮报废。
- 一种可换拨料pin棘轮
- [实用新型]一种用于晶圆加工的回料装置-CN202223143226.6有效
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高文峰
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上海祎丰环保科技有限公司
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2022-11-25
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2023-05-09
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B08B1/04
- 本申请属于晶圆加工技术领域,公开了一种用于晶圆加工的回料装置,包括底座,底座的顶端一侧固定安装有壳体,壳体的内部设置有转动机构,壳体的顶端设置有放置板,放置板的顶端设置有清洁刷,底座的顶端另一侧固定连接有外壳,外壳的顶部正面设置有擦拭板;外壳的内部设置有旋转擦拭组件,旋转擦拭组件包括螺纹杆、套环、连接环、调节环和旋钮,外壳的顶端对称开设有两个滑槽,滑槽的内部滑动连接有限位杆。在对晶圆表面清洗后,转动旋钮通过旋转擦拭组件内部连接结构之间的相互配合,使擦拭板转动至晶圆的上方,然后对晶圆的表面进行擦拭,无需取出晶圆,从而避免晶圆表面再次吸附灰尘,造成二次污染的情况发生。
- 一种用于加工装置
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