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[发明专利]高频电源-CN202111329951.X在审
发明人： 高原敏浩;岸良贵通;田中克典 -专利权人：阿德特克等离子技术公司
申请日： 2021-11-10 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种能够由用户任意地设定所输出的高频电力的电力值的随时间推移而变化的图案的高频电源。本发明所涉及的高频电源(10A)具备：输出部(20)，经由阻抗匹配器(30)向负载(40)输出高频电力；数据存储部(13A)，存储由用户生成的指令数据；以及控制部(12A)，基于在数据存储部(13A)中存储的指令数据来控制输出部(20)以及阻抗匹配器(30)。构成指令数据的多个记录分别包含与应该输出的高频电力的电力值相关的电力指令数据、和与阻抗匹配器(30)的动作的有无相关的匹配动作指令数据，控制部基于电力指令数据而生成的电力信号发送至输出部，并且将基于匹配动作指令数据而生成的同步信号发送至阻抗匹配器。
高频电源

[发明专利]设置于高频电源系统中的阻抗匹配装置-CN201811653642.6有效
发明人： 高原敏浩;河田悦郎;岸良贵通;冈崎丈浩;藤原延崇;胜冶笃史;中村谦太 -专利权人：阿德特克等离子技术公司
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种阻抗匹配装置，即使在负载的阻抗连续地发生变化的情况下，也能够在早期改善高频电源与负载之间的阻抗不匹配。本发明的阻抗匹配装置被设置于高频电源系统中，该高频电源系统构成为经由机械地变更常数的匹配器将高频电源的输出供给至负载，阻抗匹配装置具备：匹配状态值取得部，取得表示高频电源与负载之间的匹配状态的匹配状态值；和控制部，基于匹配状态值控制高频电源的振荡频率。若匹配状态值表示匹配状态的恶化，则控制部在以第一斜率使振荡频率朝向匹配状态得以改善的方向发生变化后，以比第一斜率缓慢的第二斜率使振荡频率复原。
置于高频电源系统中的阻抗匹配装置