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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]旋转式分选机的自动化-CN202210975097.2在审
发明人： 马库斯·J·施托佩尔;阿萨夫·施勒岑杰 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-10-24 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：在一个示例中，一种分选单元包括分选系统和多个料箱，基板分选到所述料箱中。分选单元包括料箱搬运装置，料箱搬运装置具有用于接收多个料箱中的一个料箱的第一终端受动器和用于将空的料箱安置于所接收的料箱的先前位置中的第二终端受动器。在一个示例中，还提供了一种操作分选单元的方法。
旋转分选自动化

[发明专利]检验系统-CN202180022545.0在审
发明人：阿萨夫·施勒岑杰;马库斯·J·施托佩尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-03-02 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本文的实施方式总体涉及用于太阳能电池应用的基板或晶片的检验系统。所述检验系统被配置为分析基板或晶片的缺口、开裂和其他缺陷。所述系统包括输送机设备，并且所述输送机设备包括一个或多个输送机元件。所述输送机元件被配置为运输宽度在约175mm至约250mm之间的矩形晶片。所述输送机元件包括第一输送机带和第二输送机带，以运输所述基板。所述带的间距减少基板边缘的振动。
检验系统

[发明专利]输送机检查系统、基板旋转器和具有该输送机检查系统和基板旋转器的测试系统-CN202080066651.4在审
发明人：施勒岑杰·阿萨夫;马库斯·J·施托佩尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-09-01 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本文公开的实施方式总体涉及一种输送机检查系统和一种分拣基板的方法。所述输送机检查系统包括可移动输送机和快速输送机。所述可移动输送机被配置为将不期望的基板传送到所述快速输送机。所述方法包括：确定不期望所述基板进入模块化检查单元；响应于确定不期望所述基板进入所述模块化检查单元而将所述基板传送到快速输送机；以及在所述快速输送机上运输所述基板。所述输送机检查系统和所述方法在第一次进入测试系统时将基板从所述测试系统移除，这减少了分析将被丢弃的不期望的基板所浪费的时间。
输送检查系统旋转具有测试

[发明专利]输送机检查系统、基板旋转器和具有前述项的测试系统-CN202080061453.9在审
发明人：阿萨夫·施勒岑杰;马库斯·J·施托佩尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-09-01 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本文中公开的实施方式包括一种基板旋转器、一种基板边缘计量系统和一种在基板上执行计量的方法。所述基板旋转器包括主体、与所述主体耦接并且被配置成使所述主体旋转的主体致动器和与所述主体耦接的第一夹持器和第二夹持器。所述基板旋转器被配置成使一个或多个基板旋转。所述基板边缘计量系统包括两个计量系统和所述基板旋转器。所述基板边缘计量系统测量在基板的所有侧面上的侧面缺口或其他缺陷。所述方法包括在所述第一基板的第一组侧面上执行计量，使所述第一基板旋转第一角度，和在所述第一基板的第二组侧面上执行计量。所述方法允许测量在所述基板的所有侧面上的侧面缺口或其他缺陷。
输送检查系统旋转具有前述测试

[发明专利]基板旋转装载器-CN201610286548.6有效
发明人： 马库斯·J·施托佩尔;阿萨夫·施勒辛格尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-05-03 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本文中公开了一种用于装载基板于检查站中的方法和装置。在一个实施方式中，本文中公开了一种用于基板检查站的装载模块。所述装载模块包括两个臂、多个基板夹持器、两个可旋转支撑构件、输送装置和至少一个致动器。每个臂具有第一端部和第二端部，其中所述第二端部与所述第一端部相对。每个基板夹持器设置在每个臂的相应端部。每个可旋转支撑构件被耦接到所述臂中的相应一个臂。所述输送装置设置在所述可旋转支撑构件之间。所述至少一个致动器被配置成使所述臂围绕所述可旋转支撑构件旋转，以将所述夹持器选择性地定位在所述输送装置上方使由所述夹持器保持的基板得以被释放到所述输送装置上的位置。
旋转装载

[发明专利]高速旋转分拣器-CN201680001403.5有效
发明人： 马库斯·J·施托佩尔;阿萨夫·施勒岑杰 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-04-05 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本公开内容的实施方式一般涉及可扩展的基板检查系统。所述检查系统包括适于检查、检测或者测量基板的一种或多种特征(包括厚度、电阻率、锯痕、几何形状、污点、碎片、微裂纹以及晶体片段)的多个计量单元。检查系统可用于在处理基板之前辨识基板上的缺陷并估计单元效率。可将基板传送通过检查系统和/或在轨道或输送装置上的计量单元之间传送，然后基于检查数据通过与高速旋转分拣装置耦接的至少一个夹持器分拣到相应仓中。旋转分拣装置维持每小时至少5400个基板的分拣能力。每个仓可任选地具有气体支撑垫，此气体支撑垫用于在基板从旋转分拣装置落入相应仓中时支撑基板。
高速旋转分拣

[发明专利]真空输送机基板装载模块-CN201980028647.6在审
发明人：阿萨夫·施勒岑杰;马库斯·J·施托佩尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-02-25 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本文中公开了一种用于在检查站中装载基板的方法和设备。在一个实施方式中，提供了一种用于基板检查系统的装载模块，所述装载模块包括：第一输送机模块；以及第二输送机模块，所述第二输送机模块具有与所述第一输送机模块的可移动表面基本上平行地定位的可移动表面，其中所述第一输送机模块包括第一区段和第二区段，所述第一区段具有真空单元，所述真空单元是可操作的以将基板固定到所述可移动表面在所述第一区段中的一部分，并且所述第二区段被配置为从所述可移动表面释放所述基板。
真空输送机基板装载模块

[发明专利]高速旋转分类器中的基板倾斜控制-CN201980027210.0在审
发明人：阿萨夫·施勒岑杰;马库斯·J·施托佩尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-03-19 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：公开了一种用于分类多个基板的设备和方法。该设备包括分类单元、可旋转支撑件、多个夹持器及空气喷嘴，分类单元能够支撑多个箱，可旋转支撑件设置在分类单元内，可旋转支撑件绕旋转轴是可旋转的，多个夹持器在相对于旋转轴的共同半径上耦接到可旋转支撑件，夹持器经被定位为当该可旋转支撑件旋转时沿着这些箱上方的路径行进，该空气喷嘴经配置以当被分类的基板由这些夹持器中的一个夹持器释放到多个箱中的一个箱中时相对于该箱中的堆叠的基板重新定向该被分类的基板。
高速旋转分类中的倾斜控制

[发明专利]晶片检测方法及软件-CN201580009491.9有效
发明人：阿萨夫·施勒岑杰;马库斯·J·施托佩尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-02-06 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明实施方式一般涉及用于检测晶片的方法。在砖料被切片成多个裸晶片后，拍摄各个晶片的二维(2D)光致发光(PL)图像，接着将晶片的PL图像以相继次序(即，晶片从砖料切片下来的顺序)合并以建构砖料的三维(3D)模型，砖料的三维模型突显(highlight)了砖料中的相似区。
晶片检测方法软件

[发明专利]旋转式分选机的自动化-CN201711001029.1在审
发明人： 马库斯·J·施托佩尔;阿萨夫·施勒岑杰 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-10-24 - 公布日： 2019-01-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：在一个示例中，一种分选单元包括分选系统和多个料箱，基板分选到所述料箱中。分选单元包括料箱搬运装置，料箱搬运装置具有用于接收多个料箱中的一个料箱的第一终端受动器和用于将空的料箱安置于所接收的料箱的先前位置中的第二终端受动器。在一个示例中，还提供了一种操作分选单元的方法。
料箱分选单元终端受动器搬运装置旋转式分选机分选系统先前位置分选基板自动化安置

[实用新型]分选单元和检验系统-CN201721409560.8有效
发明人： 马库斯·J·施托佩尔;阿萨夫·施勒岑杰 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-10-24 - 公布日： 2018-07-24 - 主分类号： B07C5/34 文献下载
摘要：本公开内容的实施方式提供分选单元和检验系统。在一个示例中，一种分选单元包括分选系统和多个料箱，基板分选到所述料箱中。分选单元包括料箱搬运装置，料箱搬运装置具有用于接收多个料箱中的一个料箱的第一终端受动器和用于将空的料箱安置于所接收的料箱的先前位置中的第二终端受动器。在一个示例中，还提供了一种操作分选单元的方法。
料箱分选单元终端受动器搬运装置检验系统分选系统先前位置分选基板安置

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