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[发明专利]一种快速上升时间且高电压高阻抗的脉冲分压器-CN202310604445.X在审
发明人： 饶张飞;秦凯亮;薛栋;金红霞 -专利权人：西安微电子技术研究所
申请日： 2023-05-25 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G01R15/06 文献下载
摘要：本发明提供一种快速上升时间且高电压高阻抗的脉冲分压器，包括依次连接的高压输入端、同轴传输线缆和低压补偿端；所述高压输入端包括至少一个无感电阻Rt″，以及并联于无感电阻Rt″两端的电容Cp，无感电阻Rt″一端接无感电阻Rt′并接接输入端，另一端连接磁珠Zb一端，磁珠Zb另一端分别连接同轴传输线缆和接地的对地电容Cg；所述低压补偿端包括直流调理电路、高频调理电路和低频调理电路，所述直流调理电路用于调节直流衰减比，高频调理电路用于调理纳秒至微秒之间脉冲输入信号的衰减比及输出平坦度，低频调理电路于调理微秒至毫秒之间脉冲输入信号的衰减比及输出平坦度；本申请具有快速上升时间、高电压、高阻抗和校准补偿简单的优点。
一种快速上升时间电压阻抗脉冲分压器

[发明专利]一种高速数字示波器带宽校准测试装置及测试方法-CN202010879465.4有效
发明人：牛文娟;秦凯亮;饶张飞 -专利权人：西安微电子技术研究所
申请日： 2020-08-27 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： G01R35/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种高速数字示波器带宽校准测试装置及测试方法，属于示波器带宽校准领域。本发明的测试装置，包括电阻R1、电阻R2、电阻R3和三个测试端口；电阻R1的一端连接信号输入端port1，另一端连接电阻R2的一端和电阻R3的一端，电阻R2的另一端连接信号输出端port2，电阻R3的另一端连接信号输出端port3；信号输入端port1用于连接模拟信号源的输出端口，信号输出端port2用于连接功率敏感器的输入端口，信号输出端port3用于连接高速数字示波器。本发明的测试方法，只需调节模拟信号源的信号频率，不需调节模拟信号源的输出功率电平，减小了功率补偿误差，提高了频带宽校准测试的准确度。
一种高速数字示波器带宽校准测试装置方法

[发明专利]一种脉宽调制型恒流源电路-CN202010442604.7有效
发明人：秦凯亮;饶张飞;张邑炜;刘瀚文 -专利权人：西安微电子技术研究所
申请日： 2020-05-22 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： G05F1/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种脉宽调制型恒流源电路，包括基准电压发生电路和V/I转换电路，基准电压发生电路包括幅度变换电路、滤波电路、电压放大缓冲电路和并联线性控制电路，PWM控制信号经幅度变换电路后使输出波形在参考电压VREF和0V(地)之间进行切换，幅度变换电路输出的信号经滤波电路后输出为直流电压，直流电压经放大隔离后输出，并为基准电压发生电路输出提供电流驱动。V/I转换电路包括求和运算电路、互补驱动电路、功率放大电路、检测电阻和反馈回路，V/I转换电路采用在放大电路中引入电流负反馈，检测电阻将电流转换为电压通过反馈回路反馈至求和运算电路，实现电压‑电流转换。通过控制PWM输入信号，能够实现高分辨力、高精度电流输出。
一种脉宽调制型恒流源电路

[发明专利]一种晶圆级计量标准器及其制备方法-CN202110069987.2在审
发明人： 饶张飞;秦凯亮;金红霞 -专利权人：西安微电子技术研究所
申请日： 2021-01-19 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： G01R35/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆级计量标准器及其制备方法，属于微纳米二维栅格计量标准器领域。一种晶圆级计量标准器，包括晶圆，晶圆上设有多晶硅薄膜；多晶硅薄膜上设有图形区域，图形区域外围设有一级引导标记；图形区域包括二维栅格标准图形区域和位于其外围的二级引导标记；二维栅格标准图形区域内设有一个或多个标准图形。本发明的晶圆级计量标准器，在使用时具有一级和二级引导标记，能够快速寻找到相应的标准结构，使用方便快捷，能够进行集成电路产线测量设备的在线校准。
一种晶圆级计量标准及其制备方法

[发明专利]一种晶圆级纳米尺度计量标准器及其制造方法-CN202010568534.X在审
发明人： 饶张飞;吴道伟;张宁;金红霞;秦凯亮 -专利权人：西安微电子技术研究所
申请日： 2020-06-19 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： G01B21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆级纳米尺度计量标准器及其制造方法，属于纳米几何量计量标准器制造领域。一种晶圆级纳米尺度计量标准器及其制造方法，在现有电子束光刻制备标准样片的基础上，通过光刻工艺在6寸、8寸或12寸的晶圆上制作与标准样片所对应的槽图形，之后等离子体干法刻蚀对槽图形区域进行刻蚀，刻蚀工艺气体为SF6和C4F8，起到刻蚀、钝化循环交替，其中，SF6用于刻蚀，C4F8用于钝化，配合刻蚀温度和压强，在兼顾刻蚀效率的同时得到垂直且侧壁光滑的高质量槽；然后通过点胶、对准后将标准片嵌合贴装至晶圆上。本发明的制备方法，所得晶圆级纳米尺度计量标准器可满足集成电路产线工艺测量设备的在线校准需求。
一种晶圆级纳米尺度计量标准及其制造方法