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[实用新型]一种一定直径区间的批量晶圆筛选装置-CN202122625426.4有效
发明人： 顾臻炜;张俊宝;宋洪伟;陈猛 -专利权人：上海超硅半导体股份有限公司;重庆超硅半导体有限公司
申请日： 2021-10-29 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： B07C5/07 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种一定直径区间的批量晶圆筛选装置，包括：底座；第一支撑杆、第二支撑杆、第三支撑杆、第四支撑杆，支撑杆两两一组设置于底座两侧；底座上有第一滑动平台和第二滑动平台，置于底座两端；第一滑块、第二滑块、第三滑块、第四滑块分别滑动连接在第一支撑杆、第二支撑杆、第三支撑杆、第四支撑杆；第一锁紧螺丝、第二锁紧螺丝、第三锁紧螺丝、第四锁紧螺丝，一端分别穿过第一滑块、第二滑块、第三滑块、第四滑块后，再分别与对应的支撑杆抵接，各个滑块依次固定有第一测量杆、第二测量杆、第三测量杆、第四测量杆。本方案实现了对晶圆直径的快速筛选，减少人为因素对测量结果的影响，提高了测量精度、效率及可靠性。
一种一定直径区间批量筛选装置

[实用新型]一种晶圆弯曲度检测装置-CN201922282358.9有效
发明人： 顾臻炜;徐伟;沈思情;张俊宝;陈猛 -专利权人：上海超硅半导体有限公司;重庆超硅半导体有限公司
申请日： 2019-12-18 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： G01B5/20 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆弯曲度检测装置，所述的检测装置包括测量平台以及设置于测量平台上方的测距装置，所述的测量平台上设置有至少一组测量组件，所述的测量组件用于确定不同尺寸待测晶圆的测试基准面；所述的测量组件包括至少三个测量头，待测晶圆水平放置于测量头上；同一组内测量组件所包含的测量头位于同一圆周，不同组间的测量组件所包含的测量头按同心圆结构布置。本实用新型提供的晶圆弯曲度检测装置实现了晶圆弯曲度的快速测算，通过设置多组同心圆结构分布的测量头实现了针对不同尺寸的晶圆的弯曲度的快速测量，设备操作简单，测算结果准确。
一种弯曲检测装置

[发明专利]一种返抛硅片金属膜层的剥离方法-CN201811344395.1在审
发明人： 顾臻炜;沈思情;孙强;徐伟;张俊宝;陈猛 -专利权人：上海超硅半导体有限公司;重庆超硅半导体有限公司
申请日： 2018-11-13 - 公布日： 2019-03-12 - 主分类号： H01L21/3213 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅返抛片金属膜层的剥离方法，该方法包括：将含有金属膜层的硅返抛片在第一清洗液中浸泡；将所述硅返抛片置于第二清洗液浸泡；将所述硅返抛片浸入清洗剂溶液中超声清洗；将所述硅返抛片进行去离子水溢流超声清洗；将所述硅返抛片甩干；其中，所述第一清洗液包括HF与HCl；所述第二清洗液包括HCl与H₂O₂。本发明实施例提供的技术方案，通过上述清洗工艺，大大缩短了反应时间，提升了生产效率，同时改善了金属膜层剥离后硅返抛片的良率。
金属膜层清洗液超声清洗剥离清洗剂溶液清洗液浸泡浸入清洗工艺去离子水生产效率硅片良率甩干溢流浸泡