“韩蕴”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果4个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]用于极紫外（EUV）抗蚀剂图案化显影的方法-CN202180090343.X在审
发明人：韩蕴;彼得·文特泽克;阿洛科·兰詹 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-11-11 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本文提供了用于图案化极紫外(EUV)(或较低波长)光致抗蚀剂，此类金属氧化物光致抗蚀剂的方法。在衬底上设置的一个或多个下层上形成包括金属氧化物光致抗蚀剂的图案化层，并且将该图案化层的未被上覆在该图案化层上的掩模覆盖的部分曝光于EUV或较低波长光。随后执行循环干法工艺以去除曝光于该图案化层的该EUV或较低波长光的这些部分(即，这些曝光部分)并显影该金属氧化物光致抗蚀剂图案。该循环干法工艺通常包括多个沉积和刻蚀步骤，其中该沉积步骤通过将该衬底曝光于第一等离子体来将保护层选择性地沉积到该图案化层的未曝光部分上，并且该刻蚀步骤通过将该衬底曝光于第二等离子体来选择性地刻蚀该图案化层的这些曝光部分。
用于紫外 euv 抗蚀剂图案显影方法

[发明专利]人雌激素受体α36亚型选择性调节剂-CN201210400860.5无效
发明人：刘振明;王东;金宏威;韩蕴;张亮仁 -专利权人：北京大学
申请日： 2012-10-22 - 公布日： 2014-05-07 - 主分类号： A61K31/472 文献下载
摘要：本发明公开了人雌激素受体α36亚型的选择性调节剂，以及这种调节剂在制备和防治雌激素受体异常所引起疾病的药物中的用途。本发明所选用的化合物不仅在理论上能选择性结合雌激素受体α36亚型，而且通过实验证实，这些化合物可通过雌激素受体α36亚型激活ERK通道并抑制癌细胞细胞周期，并引发凋亡，对癌细胞有抑制作用，其细胞生长抑制活性优于目前在研的多种选择性雌激素受体α36亚型调节剂。同时，这些化合物的骨架多样性，也使得目标化合物有广阔的改造空间以及合成路线选择余地等优点，应用前景十分广阔。
雌激素受体 36 选择性调节剂

[发明专利]一种城市路灯的排布方法和评价路灯排布方式的方法-CN200510126208.9无效
发明人：韩蕴 -专利权人：韩蕴
申请日： 2005-11-25 - 公布日： 2007-05-30 - 主分类号： F21S2/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种城市路灯的排布方法，其为将路灯排列在马路的左右两边，且两排路灯呈等腰三角形的方式进行排列。本发明提供的城市路灯的排布方法，比现有技术使用“对称”方式排列路灯的照度均匀性好，能耗低。在同样的电能消耗下，可以提高路面的最低照度和改善路面的照度均匀性。另外，在保证路面的最小光强符合需求的条件下，等腰三角形排列方式可比两边对称排列方式节能近5％。因而，如果在城镇马路上推广采用本发明提供的这种等腰三角形排列方式对路灯进行排列，则每年的路灯节能效益将会十分显著。本发明还提供一种评价路灯排布方式的方法，其为通过计算出路灯不同排布方式下路面上各点的光强大小，从而比较得出哪种排布方式更合理。
一种城市路灯排布方法评价方式

[发明专利]用低温氮气/氢气灰化制程减少聚合物残余的方法-CN200510030301.X有效
发明人：杨华;郑莲晃;韩秋华;韩蕴;高昀成 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2005-09-29 - 公布日： 2007-04-04 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明提供一种用低温氮气/氢气灰化制程减少聚合物残余的方法，传统的清洗方法，一般在沟道蚀刻完成之后直接进行湿式清洗制程，根据本发明的方法，在沟道蚀刻完成之后，先在室温下进行氮气/氢气灰化制程，然后进行湿式清洗制程。应用本发明的方法能够完全去除所述的聚合物残余，从而提高半导体器件的性能；并且应用此方法后对湿式清洗所用清洗剂的选择上更加自由，使清洗制程的适应性更加宽泛；另外，此种方法不会损伤低介电常数材料，不会使其介电常数升高。
低温氮气氢气灰化减少聚合物残余方法