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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]气体流量控制器的校准方法、校准系统及进气装置-CN201910828034.2有效
  • 韩笑娜;姜宏伟;陈庆 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2019-09-03 - 2022-05-27 - H01L21/67
  • 本发明提供一种气体流量控制器的校准方法、校准系统及进气装置，该流量控制器的校准方法包括以下步骤：S1，接收用户输入的所述气体流量控制器的气体流量设定值，向所述气体流量控制器输出所述气体流量设定值；S2，通过气体流量传感器检测所述气体流量控制器所在管路的实际气体流量值；S3，判断所述气体流量设定值与所述实际气体流量值的差值的绝对值是否小于或等于预设阈值；若是，根据预先建立的补偿关系获取与所述气体流量设定值对应的气体流量补偿值，并向所述气体流量控制器输出所述气体流量补偿值；若否，进行报警。通过本发明，提高了流量控制器调试及维护的便捷度。
  • 气体流量控制器校准方法系统装置
  • [发明专利]一种半导体设备的托盘结构和半导体设备-CN202110722245.5在审
  • 韩笑娜;李玉站 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2021-06-28 - 2021-10-01 - H01L21/687
  • 本发明公开了一种半导体设备的托盘结构和半导体设备，其中托盘结构包括：托盘本体；多个定位销，定位销与托盘本体的上表面可拆卸地固定连接，多个定位销用于在托盘本体的上表面限定出至少一个晶圆放置区域，晶圆放置区域用于承载并定位晶圆。本发明通过定位销定位晶圆实现托盘结构对多片晶圆实现承载和定位，且该定位销与托盘本体可拆卸地固定连接，若使用过程中定位销被刻蚀高度变小无法实现定位功能，只需更换托盘本体上的定位销，也可根据实际情况更换单个定位销，不需要频繁整体更换包括托盘本体的托盘结构，定位销降低了托盘结构整体的消耗速率，减小托盘结构这一整体部件的更换频率，降低成本，提升托盘结构的利用率。
  • 一种半导体设备托盘结构
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