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[发明专利]一种用于三维原子探针检测的半导体针尖样品的制备方法-CN201811189049.0有效
发明人：胡蓉;吴杏苹;薛晶;梁宁宁;沙刚;靳慎豹 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2018-10-12 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： G01Q30/20 文献下载
摘要：本发明属于材料制备领域，具体的提供了一种用于三维原子探针检测的半导体针尖样品的制备方法。此方法不同于传统的将整个鳍结构竖直放置在一个针尖的方法，而是采用分段法，横切半导体器件中的鳍结构，将半导体器件中的鳍结构垂直于生长方向放置，使用聚焦离子束切成一小段，即在每一个三维原子探针针尖样品中只包含有一小段鳍结构的部分，后再切多个针尖，对所有的针尖收集到三维原子探针数据后，即可组合成一个完整的鳍结构。本发明能够有效地避免半导体器件针尖样品在三维原子探针检测时出现数据失真现象，可为三维原子探针结果分析时提供更加准确的数据。
一种用于三维原子探针检测半导体针尖样品制备方法

[发明专利]一种用于装载近局域电极的双束系统样品台-CN201810977038.2有效
发明人：沙刚;吴琴莉;靳慎豹;胡蓉 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2018-08-26 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于装载近局域电极的聚焦离子束/扫描电镜双束系统样品台。该样品台包括：样品台主体，燕尾形样品槽，方形卡槽，内六角紧定螺钉以及固定杆，固定杆与样品台主体底部垂直。样品台主体内设置有燕尾形样品槽；燕尾形样品槽用于装载近局域电极；燕尾槽底部设置有方形卡槽，方形卡槽用于卡紧近局域电极底部的销钉；内六角紧定螺钉通过方形卡槽顶住近局域电极底部的销钉以进一步固定近局域电极；固定杆用于连接聚焦离子束/扫描电镜双束系统旋转底座。在该发明的使用过程中，样品台与近局域电极依靠机械固定，能有效防止近局域电极的移动，使其工作稳定可靠，有效提高设备效率。
一种用于装载局域电极系统样品

[实用新型]一种轴向旋转装置-CN201920247424.6有效
发明人： 靳慎豹;刘畅;陈雪涵;吴修婷;沙刚;胡蓉 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2019-02-27 - 公布日： 2020-01-24 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本实用新型涉及聚焦离子束双束仪器样品制备领域，具体涉及一种轴向旋转装置。装置包括：转移针尖：用于转移样品；转移针尖夹持台：用于夹持转移针尖，转移针尖在转移针尖夹持台中可轴向旋转设置；旋转主轴：前端设置呈倒“T”型槽，转移针尖固定在所述槽中；旋转手柄：与旋转主轴连接，带动旋转主轴转动，从而带动转移针尖转动。本实用新型装置通过将针尖固定于旋转主轴上并旋转旋转手柄来旋转针尖，由角度控制台精确控制旋转角度，且角度控制台与旋转主轴通过螺纹连接，保证了转转的稳定，整个装置满足了在聚焦离子束双束仪器制备样品过程中任意方向制样的现实需求，增大聚焦离子束双束仪器制样技术的灵活度，突破了现阶段的标准取样方法。
针尖旋转主轴聚焦离子束本实用新型角度控制台旋转手柄夹持制备制样轴向旋转装置带动旋转控制旋转螺纹连接前端设置现实需求样品过程仪器样品轴向旋转主轴转动夹持台灵活度取样转动保证

[发明专利]一种在粉末颗粒上制备三维原子探针样品的方法-CN201910751545.9在审
发明人： 靳慎豹;苏豪凯 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2019-08-15 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： G01Q30/20 文献下载
摘要：本发明属于材料制备领域，具体涉及一种在粉末颗粒上制备三维原子探针样品的方法。本申请将颗粒转移到钨针尖而非硅基座上，采用聚焦离子束FIB直接在颗粒上制备三维原子探针样品。本发明能够有效地降低三维原子探针样品制备的难度，且极大程度缩短样品制备时间，另外可选择制备颗粒任意处的三维原子探针样品，便于比较颗粒不同区域元素分布的区别，为三维原子探针结果分析时提供更加准确的数据。
原子探针三维制备样品制备材料制备领域聚焦离子束粉末颗粒结果分析颗粒转移元素分布钨针尖有效地非硅申请

[发明专利]一种聚焦离子束双束系统样品台-CN201910456982.8在审
发明人：胡蓉;陈汉;薛晶;沙刚;靳慎豹 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2019-05-29 - 公布日： 2019-09-06 - 主分类号： G01N23/20025 文献下载
摘要：本发明属于电子背散射衍射技术领域，特别是一种聚焦离子束双束系统样品台。包括：样品台主体：样品台主体上表面设置有凹形样品槽，凹形样品槽底部表面设置有弧形螺纹槽，凹形样品槽一侧的侧壁上设有螺纹通孔，螺纹通孔和弧形螺纹槽的轴线重合；紧固螺钉：穿过样品台主体一侧的螺纹通孔，将样品在紧固螺钉和凹形样品槽的另一侧之间固定，伸出螺纹通孔部分的紧固螺钉通过弧形螺纹槽固定在凹形样品槽的底部；固定杆：设置在样品台主体中部的下端，用于连接双束系统的旋转底座。本申请聚焦离子束/扫描电镜双束系统样品台，通过采用机械固定的方式对样品进行固定，有效的防止薄片样品的移动。
样品槽凹形样品台主体螺纹通孔双束系统聚焦离子束弧形螺纹紧固螺钉样品台电子背散射衍射薄片样品底部表面机械固定扫描电镜台本发明旋转底座轴线重合固定杆上表面侧壁下端穿过伸出移动申请

[实用新型]一种用于装载原子探针针状试样的样品盒-CN201821250607.5有效
发明人： 靳慎豹;苏豪凯;安志恒;胡蓉;沙刚 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2018-08-05 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于装载原子探针针状试样的样品盒，盒盖、盒体、卡扣、放样平台、减震吸盘、放样圆孔、螺丝、螺孔、螺柱和密封圈；其中盒盖与盒体通过密封圈和卡扣相扣合，放样平台与盒体顶部固定连接，盒体底部设有减震吸盘，放样平台的顶部上设有多个放样圆孔，所述的放样圆孔在放样平台上呈两圈同心圆等角度排列，且内层与外层圆孔错开角度；在放样平台侧面，对应每一放样圆孔，都设有一螺孔，螺孔均对应设有用于固定的螺柱；本实用新型设有的放样圆孔在放样平台上呈两圈同心圆等角度排列，且内层与外层圆孔，错开一定角度，便于取放样品，避免在取放样品过程中，镊子误触到其他样品，造成样品损伤。
放样圆孔盒体螺孔密封圈本实用新型等角度排列同心圆减震吸盘原子探针针状样品盒错开盒盖卡扣螺柱内层取放装载盒体顶部平台侧面样品过程样品损伤镊子固定的螺丝误触

[发明专利]一种轴向旋转装置-CN201910145691.7在审
发明人： 靳慎豹;刘畅;陈雪涵;吴修婷;沙刚;胡蓉 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2019-02-27 - 公布日： 2019-05-28 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明涉及聚焦离子束双束仪器样品制备领域，具体涉及一种轴向旋转装置。装置包括：转移针尖：用于转移样品；转移针尖夹持台：用于夹持转移针尖，转移针尖在转移针尖夹持台中可轴向旋转设置；旋转主轴：前端设置呈倒“T”型槽，转移针尖固定在所述槽中；旋转手柄：与旋转主轴连接，带动旋转主轴转动，从而带动转移针尖转动。本发明装置通过将针尖固定于旋转主轴上并旋转旋转手柄来旋转针尖，由角度控制台精确控制旋转角度，且角度控制台与旋转主轴通过螺纹连接，保证了转转的稳定，整个装置满足了在聚焦离子束双束仪器制备样品过程中任意方向制样的现实需求，增大聚焦离子束双束仪器制样技术的灵活度，突破了现阶段的标准取样方法。
针尖旋转主轴聚焦离子束轴向旋转装置角度控制台旋转手柄夹持制备制样带动旋转控制旋转螺纹连接前端设置现实需求样品过程仪器样品轴向旋转主轴转动夹持台灵活度取样转动保证

[发明专利]一种用于装载原子探针针状试样的样品盒-CN201810881491.3在审
发明人： 靳慎豹;苏豪凯;安志恒;胡蓉;沙刚 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2018-08-05 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于装载原子探针针状试样的样品盒，盒盖、盒体、卡扣、放样平台、减震吸盘、放样圆孔、螺丝、螺孔、螺柱和密封圈；其中盒盖与盒体通过密封圈和卡扣相扣合，放样平台与盒体顶部固定连接，盒体底部设有减震吸盘，放样平台的顶部上设有多个放样圆孔，所述的放样圆孔在放样平台上呈两圈同心圆等角度排列，且内层与外层圆孔错开角度；在放样平台侧面，对应每一放样圆孔，都设有一螺孔，螺孔均对应设有用于固定的螺柱；本发明设有的放样圆孔在放样平台上呈两圈同心圆等角度排列，且内层与外层圆孔，错开一定角度，便于取放样品，避免在取放样品过程中，镊子误触到其他样品，造成样品损伤。
放样圆孔盒体螺孔密封圈等角度排列同心圆减震吸盘原子探针针状样品盒错开盒盖卡扣螺柱内层取放装载盒体顶部平台侧面样品过程样品损伤镊子固定的螺丝误触

[发明专利]一种原位纳米TiC陶瓷颗粒增强铁基复合材料及其制备方法-CN201110209555.3有效
发明人：姜启川;靳慎豹;沈平;王慧远;周东帅 -专利权人：吉林大学
申请日： 2011-07-26 - 公布日： 2011-12-14 - 主分类号： C22C38/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种原位纳米TiC陶瓷颗粒增强铁基复合材料及其制备方法。采用燃烧合成化学反应法与热压技术，制备原位纳米TiC陶瓷颗粒增强铁或铁合金基复合材料，原位反应合成的TiC陶瓷颗粒的尺寸在100纳米以下，重量百分比含量在5-20。其制备方法：将反应物粉料混合制坯；先后在滚筒式球磨机和研钵中混合均匀；在室温下压制反应预制块；将装有预制块的石墨模具放入燃烧反应炉中引发燃烧反应，并对预制块施加轴向压力、保压、随炉冷却至室温，即合成纳米TiC陶瓷颗粒增强纯铁或铁合金基复合材料。其主要特点是：纳米TiC原位生成；陶瓷颗粒表面纯净，与基体的界面结合强度高；纳米TiC陶瓷颗粒在基体中分布均匀等。
一种原位纳米 tic 陶瓷颗粒增强复合材料及其制备方法

[发明专利]一种原位纳米TiC陶瓷颗粒增强铝基复合材料及其制备方法-CN201110209567.6有效
发明人：姜启川;靳慎豹;沈平;王慧远;周东帅 -专利权人：吉林大学
申请日： 2011-07-26 - 公布日： 2011-11-30 - 主分类号： C22C32/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种原位纳米TiC陶瓷颗粒增强铝基复合材料及其制备方法。采用燃烧合成化学反应法与热压技术，制备原位纳米TiC陶瓷颗粒增强铝或铝合金基复合材料，原位反应合成的TiC陶瓷颗粒的尺寸在100纳米以下，重量百分比含量在3-30。其制备方法为：1)将反应物粉料按照一定比例混合制坯；2)先后在滚筒式球磨机内和研钵中混合均匀；3)在室温下压制成反应预制块；4)将装有预制块的石墨模具放入一带有液压装置的真空/气氛保护的燃烧反应炉中引发燃烧反应。一旦燃烧反应发生，立即对预制块施加40±5MPa的轴向压力，保压30～40秒后随炉冷却至室温，即合成纳米TiC陶瓷颗粒增强纯铝或铝合金基复合材料。
一种原位纳米 tic 陶瓷颗粒增强复合材料及其制备方法

[发明专利]一种原位纳米TiC陶瓷颗粒增强铜基复合材料及其制备方法-CN201110209562.3有效
发明人：姜启川;靳慎豹;沈平;王慧远;周东帅 -专利权人：吉林大学
申请日： 2011-07-26 - 公布日： 2011-11-16 - 主分类号： C22C32/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种原位纳米TiC陶瓷颗粒增强铜基复合材料及其制备方法。采用燃烧合成化学反应法与热压技术，制备原位纳米TiC陶瓷颗粒增强铜或铜合金基复合材料，原位反应合成的TiC陶瓷颗粒的尺寸在100纳米以下，重量百分比含量在3-30。其制备方法为：将反应物粉料按比例混合制坯；先后将配料在滚筒式球磨机研钵中混合均匀；在室温下压制成反应预制块；将预制块加热引发燃烧反应后立即对预制块施加轴向压力，保压后随炉冷却至室温，即合成纳米TiC陶瓷颗粒增强纯铜或铜合金基复合材料。本发明主要特点是：纳米TiC原位生成；陶瓷颗粒表面纯净，与基体的界面结合强度高；纳米TiC陶瓷颗粒在基体中分布均匀；基体杂质含量少等。
一种原位纳米 tic 陶瓷颗粒增强复合材料及其制备方法

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