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[发明专利]基板处理装置-CN201711284838.8有效
发明人： 隐塚惠二;村上幸喜;星野浩澄 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-12-07 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置。即使利用批量式的基板处理装置对翘曲了的基板进行处理时也能够进行多个基板的统一输送。基板处理装置具有：载置台，其载置基板收纳容器，该基板收纳容器收纳有从该基板处理装置的外部接收的多个基板；单张式的位置调整部，其对基板的旋转方向位置进行逐张调整；第1基板输送机构，其进行如下操作：将收纳到基板收纳容器的多个基板中的1张基板取出而向位置调整部输送的操作；在位置调整部将旋转方向位置调整后的该1张基板向所述基板收纳容器输送的操作；第2基板输送机构，其将被第1基板输送机构输送并收纳到基板收纳容器的、旋转方向位置被调整后的多个基板从基板收纳容器统一取出。
处理装置

[发明专利]基板排列方法和装置、基板接收方法和装置、基板液处理方法和装置以及基板处理系统-CN201611165675.7有效
发明人： 隐塚惠二;星野浩澄 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2016-12-16 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种基板排列方法和装置、基板接收方法和装置、基板液处理方法和装置以及基板处理系统。即使基板产生翘曲(变形)，也防止基板与基板支承体接触、基板彼此接触。在本发明中，能够使基板支承体(39)从与沿着基板(8)的外周端局部地上翘的位置(A、C)和下翘的位置(B、D)不同的位置朝向所述基板(8)的中央部移动。本发明能够适用于对1张或多张基板(8)进行排列的基板排列方法(基板排列装置)、利用基板支承体(39)接收基板(8)的基板接收方法(基板接收装置)、对多张基板(8)一并进行处理的基板液处理方法(基板液处理装置)、具有这些基板排列装置、基板接收装置、基板液处理装置的基板处理系统(1)。
排列方法装置接收基板液处理以及系统

[实用新型]批量形成机构和基板处理装置-CN202022355090.X有效
发明人： 隐塚惠二;甲斐义广;岩野纯一 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-10-21 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型提供一种批量形成机构和基板处理装置，其形成与工艺条件、硬件条件相应的批量。本公开的一形态的批量形成机构具备接收部、间距转换部以及保持部。接收部以能够在垂直方向上移动的方式配置，从输送机构接收以预定的间距排列的多张基板。间距转换部用于转换以等间隔排列配置的多张基板的间距。保持部以能够在水平方向上移动的方式配置，用于暂时保持多张基板。
批量形成机构处理装置

[发明专利]批量形成机构和基板处理装置-CN202011134468.1在审
发明人： 隐塚惠二;甲斐义广;岩野纯一 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-10-21 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种批量形成机构和基板处理装置，其形成与工艺条件、硬件条件相应的批量。本公开的一形态的批量形成机构具备接收部、间距转换部以及保持部。接收部以能够在垂直方向上移动的方式配置，从输送机构接收以预定的间距排列的多张基板。间距转换部用于转换以等间隔排列配置的多张基板的间距。保持部以能够在水平方向上移动的方式配置，用于暂时保持多张基板。
批量形成机构处理装置

[发明专利]基板处理系统和基板处理方法-CN202011054695.3在审
发明人：金川耕三;鹤崎广太郎;隐塚惠二;甲斐义广 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-09-30 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及基板处理系统和基板处理方法。提供能够使成批地处理的多片基板的间距变窄且能够抑制基板与输送机器人之间的干涉的技术。基板处理系统具有：批量处理部，其成批地处理以第1间距包含多片基板的批次；单片处理部，其逐片处理批次的基板；以及接口部，其在批量处理部和单片处理部之间交接基板，批量处理部包括：处理槽，其贮存块状或雾状的处理液；第1保持器具，其将基板以第1间距保持；以及第2保持器具，其在处理液中从第1保持器具接收以第1间距的N(N为2以上的自然数)倍、即第2间距排列的基板，接口部包括输送部，该输送部将在处理液中被分开保持在第1保持器具和第2保持器具的基板从批量处理部向单片处理部输送。
处理系统方法

[发明专利]基板处理系统和基板处理方法-CN202011060753.3在审
发明人：金川耕三;鹤崎广太郎;隐塚惠二;甲斐义广 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-09-30 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及基板处理系统和基板处理方法。提供能够使基板处理系统小型化的技术。基板处理系统具有：送入送出部，其用于送入送出收纳多片所述基板的盒；批量处理部，其成批地处理包含多片基板的批次；单片处理部，其逐片处理所述批次的所述基板；以及接口部，其在所述批量处理部和所述单片处理部之间交接所述基板，所述送入送出部、所述单片处理部、所述接口部、所述批量处理部以该顺序排列，所述接口部包括：批次形成部，其形成所述批次；以及输送部，其将所述基板从所述单片处理部向所述批次形成部输送且将所述基板从所述批量处理部向所述单片处理部输送。
处理系统方法