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- [实用新型]一种聚氨酯染色装置-CN202320971950.3有效
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田莉;陆春辉
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库毕斯橡胶制品（天津）有限责任公司
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2023-04-26
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2023-09-29
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B05B3/02
- 本实用新型公开一种聚氨酯染色装置，包括支板，支板上固定安装有浇料头，支板上固定连接有一组染料箱，染料箱表面安装有泵体，泵体的输入端固定连接有进料管，泵体的输出端固定连接有出料软管，进料管插在染料箱中，出料软管一端固定连接有喷头，支板底面安装有调节机构，调节机构包括齿轮和齿环，齿轮和齿环均与支板转动连接，齿轮与齿环啮合，支板顶面固定连接有第一电机，第一电机输出轴的一端与齿轮固定连接，齿环底面固定连接有旋转环。本实用新型的聚氨酯染色装置，解决了现有的聚氨酯染色装置上的喷头所能调节的角度的范围有限的问题，以及喷头的喷射面积较小的问题。
- 一种聚氨酯染色装置
- [实用新型]一种组合式托盘-CN202321168774.6有效
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陆春辉;田莉
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库毕斯橡胶制品（天津）有限责任公司
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2023-05-16
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2023-09-01
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B65D19/38
- 本实用新型属于托盘领域，具体涉及一种组合式托盘，包括第一托盘，所述第一托盘上固定连接有第一连接块，所述第一连接块上固定连接有滑动套，所述滑动套内滑动连接有滑动柱，所述滑动套上设置有调节机构，所述滑动柱上固定连接有第二连接块，所述第二连接块上固定连接有第二托盘，所述滑动套上设置有第二托盘。本实用新型通过设计滑槽、滑杆、连接板、固定块、拉环和连接套等部件，拉动滑杆移动到指定位置，然后将滑动柱插入滑动套内的指定位置，滑动柱插入滑动套内的指定位置的过程中带动第二托盘等部件移动，然后推动滑杆移动到滑槽内，进而使得第二托盘等部件得到限位，进而使得托盘得到组合，使得托盘可放置不同物品。
- 一种组合式托盘
- [实用新型]一种橡胶垫片抛光装置-CN202320970951.6有效
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田莉;陆春辉
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库毕斯橡胶制品（天津）有限责任公司
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2023-04-26
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2023-08-08
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B24B29/02
- 本实用新型公开了一种橡胶垫片抛光装置，包括操作台，操作台底面固定有支架，操作台上安装有抛光机构，操作台上安装有固定机构，固定机构包括固定板，固定板顶面固定连接有一组固定杆，固定杆顶端与操作台相固定，固定板顶面转动连接有第一螺纹丝杆，固定板底面固定连接有第一电机，第一电机输出轴的一端与第一螺纹丝杆固定连接，第一螺纹丝杆周侧面螺纹连接有升降块，升降块周侧面铰接有一组调节杆，调节杆顶端铰接有移动块，移动块与操作台滑动配合，移动块顶面固定连接有固定柱。本实用新型的橡胶垫片抛光装置，解决了现有的橡胶垫片抛光装置操作便捷性较差的问题。
- 一种橡胶垫片抛光装置
- [实用新型]一种支撑托盘-CN202320334135.6有效
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陆春辉;田莉
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库毕斯橡胶制品（天津）有限责任公司
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2023-02-28
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2023-07-21
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B25B11/02
- 本实用新型公开了一种支撑托盘，涉及汽车发动机技术领域，包括底盘，所述底盘上设置有多个形状不一的支撑块，所述底盘上设置有支撑杆；所述底盘的侧壁设置有卡框，所述卡框上竖向滑动设置有滑框，滑框上固定连接有第一弧形板；滑框上滑动插设有卡箍。本实用新型提供的一种支撑托盘，通过利用弹性件，使得卡箍上的第二弧形板能够在弹性件的作用下进行滑动，从而使得支撑杆能够被夹持限位在第一弧形板和第二弧形板之间，从而起到了能够对支撑杆进行辅助支撑的作用，进而避免了由于汽车发动机质量以及体积较大，在支撑杆长时间对汽车发动机进行支撑时，造成支撑杆倾斜，从而对汽车发动机的支撑效果以及安装过程造成影响的情况发生。
- 一种支撑托盘
- [实用新型]一种干法刻蚀机的吸附顶升装置-CN202221499684.0有效
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陆春辉;刘毅;黄鹏飞
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江苏晋誉达半导体股份有限公司
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2022-06-15
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2022-10-28
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H01L21/68
- 本实用新型公开了一种干法刻蚀机的吸附顶升装置，下仓体上设有硅片支撑装置和硅片定位装置，硅片支撑装置包括支撑杆，硅片定位装置包括定位杆，支撑杆由第一动力装置驱动在支撑工位和第一待机工位之间往复移动，定位杆由第二动力装置驱动在定位工位和第二待机工位之间往复移动，放置平台上设有支撑孔和定位孔，放置平台上位于硅片放置区域内设置有用于对硅片进行冷却的冷却凹槽，工作台上设置有用于接通冷却气体进入冷却凹槽的进气接口；工作台上还设有用于吸附放置平台上的硅片的吸附装置；该装置能在将硅片放置于硅片放置区域时通过定位杆准确放置，且对硅片有效固定，避免冷却气体的泄露，使硅片能准确进行刻蚀，保证生产效率和生产质量。
- 一种刻蚀吸附装置
- [实用新型]一种硅片自定位的干法刻蚀装置-CN202221510143.3有效
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何昌武;陆春辉;刘毅
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江苏晋誉达半导体股份有限公司
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2022-06-15
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2022-10-28
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H01L21/68
- 本实用新型公开了一种硅片自定位的干法刻蚀装置，下仓体上设有硅片支撑装置和硅片定位装置，硅片支撑装置包括支撑杆，硅片定位装置包括定位杆，支撑杆由第一动力装置驱动，定位杆由第二动力装置驱动，放置平台上设有支撑孔和定位孔，放置平台上位于硅片放置区域内设置有冷却凹槽，工作台上设置有用于进气接口，上仓体上安装有上安装板，上安装板上固定有上电极反应板，上电极反应板上设有刻蚀孔，上安装板通过直线电机驱动，上安装板上设置压紧结构；该装置能在将硅片放置于硅片放置区域时通过定位杆准确放置，且在刻蚀时对硅片有效固定，避免冷却气体的泄露，使硅片能准确进行刻蚀，保证生产效率和生产质量。
- 一种硅片定位刻蚀装置
- [发明专利]一种硅片的干法刻蚀方法-CN202210677716.X在审
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刘毅;黄鹏飞;陆春辉
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江苏晋誉达半导体股份有限公司
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2022-06-15
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2022-10-18
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H01L21/3065
- 本发明公开了一种硅片的干法刻蚀方法，该干法刻蚀方法包括以下步骤：S1、设备的前期准备；S2、开启进料口，第一动力装置驱动支撑杆上升到支撑工位，第二动力装置带动定位杆上升到定位工位；S3、硅片从进料口送入并放置于支撑杆后，关闭进料口，对真空反应仓内抽真空，支撑杆回到第一待机工位，硅片在下落的过程中由定位杆定位；硅片落入硅片放置区域覆，之后定位杆被带动到第二待机工位；S4、直线电机驱动上安装板下降到刻蚀工位；S5、进气接口接通冷却气体，上电极反应板上的刻蚀孔喷出刻蚀气体，进行刻蚀反应；该干法刻蚀方法能准确将硅片放置于硅片放置区域，保证生产效率和生产质量。
- 一种硅片刻蚀方法
- [发明专利]一种硅片自定位的干法刻蚀装置-CN202210677726.3在审
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何昌武;陆春辉;刘毅
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江苏晋誉达半导体股份有限公司
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2022-06-15
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2022-10-11
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H01L21/68
- 本发明公开了一种硅片自定位的干法刻蚀装置，下仓体上设有硅片支撑装置和硅片定位装置，硅片支撑装置包括支撑杆，硅片定位装置包括定位杆，支撑杆由第一动力装置驱动，定位杆由第二动力装置驱动，放置平台上设有支撑孔和定位孔，放置平台上位于硅片放置区域内设置有冷却凹槽，工作台上设置有用于进气接口，上仓体上安装有上安装板，上安装板上固定有上电极反应板，上电极反应板上设有刻蚀孔，上安装板通过直线电机驱动，上安装板上设置压紧结构；该装置能在将硅片放置于硅片放置区域时通过定位杆准确放置，且在刻蚀时对硅片有效固定，避免冷却气体的泄露，使硅片能准确进行刻蚀，保证生产效率和生产质量。
- 一种硅片定位刻蚀装置
- [发明专利]一种干法刻蚀机的吸附顶升装置-CN202210677719.3在审
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陆春辉;刘毅;黄鹏飞
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江苏晋誉达半导体股份有限公司
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2022-06-15
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2022-09-20
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H01L21/68
- 本发明公开了一种干法刻蚀机的吸附顶升装置，下仓体上设有硅片支撑装置和硅片定位装置，硅片支撑装置包括支撑杆，硅片定位装置包括定位杆，支撑杆由第一动力装置驱动在支撑工位和第一待机工位之间往复移动，定位杆由第二动力装置驱动在定位工位和第二待机工位之间往复移动，放置平台上设有支撑孔和定位孔，放置平台上位于硅片放置区域内设置有用于对硅片进行冷却的冷却凹槽，工作台上设置有用于接通冷却气体进入冷却凹槽的进气接口；工作台上还设有用于吸附放置平台上的硅片的吸附装置；该装置能在将硅片放置于硅片放置区域时通过定位杆准确放置，且对硅片有效固定，避免冷却气体的泄露，使硅片能准确进行刻蚀，保证生产效率和生产质量。
- 一种刻蚀吸附装置
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