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[发明专利]一种承板台、调平方法及显示器基板检测装置-CN202111272613.7在审
发明人：王保亮;朱岳彬;阮冬;李新振;张杰 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-10-29 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种承板台、调平方法及显示器基板检测装置，其属于检测技术领域，承板台包括支承框架、玻璃基板和调平组件，玻璃基板包括上下间隔设置的上玻璃基板和下玻璃基板，下玻璃基板与支承框架固定连接，调平组件包括调平螺母、球面垫片和锁紧螺钉，调平螺母与下玻璃基板螺纹连接，调平螺母的顶端开设有方形的调节孔；球面垫片夹设于调平螺母与上玻璃基板之间；锁紧螺钉穿设于球面垫片和调平螺母，锁紧螺钉至少能够锁紧上玻璃基板和下玻璃基板。显示器基板检测装置包括上述承板台。调平时，拆卸锁紧螺钉，将扳手的一端插入调节孔中，转动扳手，即可带动调平螺母转动，进而调节上玻璃基板的高低，调节方便，效率高。
一种承板台平方显示器检测装置

[发明专利]光刻装置及其中的基底传输方法-CN202011413536.8在审
发明人：吴福龙;阮冬 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2020-12-03 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻装置及其中的基底传输方法，所述光刻装置包括工件台以及基底传送装置，所述基底传送装置用于传送基底，所述基底传送装置包括基底传送板叉，所述基底传送板叉包括板叉臂、吸附组件以及驱动组件。所述板叉臂上设置有至少两个吸附组件，通过这种在所述板叉臂上设置多个吸附组件的结构，可在不增加板叉臂长度的基础上实现传送多块基底的功能，有效提高了光刻装置的产率。
光刻装置及其中的基底传输方法

[实用新型]一种张拉整体结构的撑杆下节点-CN202021283470.0有效
发明人：罗大杰;高占远;薛素铎;阮冬 -专利权人：天津城建大学
申请日： 2020-07-03 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： E04B1/36 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种张拉整体结构的撑杆下节点，包括基座、撑杆、关节轴承以及耳板件，所述基座设置于撑杆的下端部；所述耳板件通过关节轴承安装于所述基座上，从而能够通过所述关节轴承实现耳板件的转动。采用上述技术方案，本实用新型的张拉整体结构的撑杆下节点，由于耳板件通过关节轴承安装在基座上，使耳板件能够基于关节轴承的万向旋转功能而转动，因此能够解决在施工过程中耳板件所连接的杆件不能自由转动所带来的问题，从而满足了在施工过程中杆件之间角度的变化要求，提高施工质量，增加了结构安全性。
一种整体结构撑杆节点

[实用新型]一种索穹顶结构的撑杆下节点-CN202021284668.0有效
发明人：高占远;罗大杰;薛素铎;阮冬 -专利权人：天津城建大学
申请日： 2020-07-03 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： E04B7/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种索穹顶结构的撑杆下节点，包括撑杆、套环以及旋转连接件，所述套环通过第一轴承安装于所述撑杆上并能够相对于所述撑杆自由转动，所述套环上设置有向径向外侧延伸的连杆，在所述连杆上设置有垂直于所述连杆以及套环轴线的安装杆；所述旋转连接件通过第二轴承安装于所述安装杆上，所述旋转连接件上设置有连接耳。采用上述技术方案，本实用新型的索穹顶结构的撑杆下节点，解决了在施工过程中连接的杆件不能转动所带来的问题，提供了一种新的节点形式，通过套环与第一轴承实现以撑杆为轴转动，通过旋转连接件与第二轴承实现以安装杆为轴转动，从而满足了施工过程中杆件之间角度的变化要求，提高施工质量，增加了结构安全性。
一种穹顶结构撑杆节点

[发明专利]基底的传输装置、传输方法以及光刻设备-CN201710931851.1有效
发明人：吴福龙;阮冬 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2017-10-09 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种基底的传输装置、传输方法以及光刻设备，包括运动平台以及若干个转板台，所述若干个转板台沿x方向设置，所述转板台用于沿y方向传输基底，所述x方向与y方向相互垂直，所述运动平台包括固定台以及若干个与所述固定台运动连接的运动台，所述转板台分别与所述运动台连接并通过所述运动台可沿x方向运动，所述若干个转板台包括若干个上板台和若干个下板台。本发明提供的一种基底的传输装置、传输方法以及光刻设备能够提高效率。
基底传输装置方法以及光刻设备

[发明专利]一种索穹顶结构的撑杆下节点-CN202010635720.0在审
发明人：高占远;罗大杰;薛素铎;阮冬 -专利权人：天津城建大学
申请日： 2020-07-03 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： E04B7/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种索穹顶结构的撑杆下节点，包括撑杆、套环以及旋转连接件，所述套环通过第一轴承安装于所述撑杆上并能够相对于所述撑杆自由转动，所述套环上设置有向径向外侧延伸的连杆，在所述连杆上设置有垂直于所述连杆以及套环轴线的安装杆；所述旋转连接件通过第二轴承安装于所述安装杆上，所述旋转连接件上设置有连接耳。采用上述技术方案，本发明的索穹顶结构的撑杆下节点，解决了在施工过程中连接的杆件不能转动所带来的问题，提供了一种新的节点形式，通过套环与第一轴承实现以撑杆为轴转动，通过旋转连接件与第二轴承实现以安装杆为轴转动，从而满足了施工过程中杆件之间角度的变化要求，提高施工质量，增加了结构安全性。
一种穹顶结构撑杆节点

[发明专利]气浮传输装置及传输方法和应用-CN201610200732.4有效
发明人：阮冬;纪国友 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2016-03-31 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种气浮传输装置和传输方法及应用，所述气浮传输装置用于在工件库和工件台之间传输基板，所述气浮传输装置包括：气浮单元、X向运动单元、Y向运动单元和机械手装置，所述X向运动单元和Y向运动单元设置在所述气浮单元上，所述气浮传输装置设备简单，装配难度低，根据所述气浮传输装置提供一种气浮传输方法，通过机械手装置从工件库上载基板至气浮单元，依靠气浮单元上的X向运动单元和Y向运动单元传输基板至工件台并从工件台上下载基板，通过机械手装置传输给工件库，传输过程中气浮单元只提供浮力使基板悬浮不参与基板传输，该方法简单易行，并能够提高基板的传输效率，所述气浮传输装置应用于光刻机能够提高光刻机的生产效率。
传输装置方法应用

[发明专利]基板的对接装置及对接方法-CN201610612918.0有效
发明人：王东;刘凯;王刚;阮冬;宋海军 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2016-07-29 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供了一种基板的对接装置及对接方法，其中，基板的对接装置包括带动基板旋转的旋转机构以及至少一个基板吸附机构，所述基板吸附机构用于支撑并固定基板，所述旋转机构带动所述基板吸附机构旋转。通过本发明提供的基板的对接装置，以实现当基板需从不同角度位置进入基板产线设备或版库时，可优先对基板进行旋转以达到所需的角度位置，进而实现基板的旋转对接的过程。
对接装置方法

[发明专利]一种硅片处理装置及方法-CN201410697547.1有效
发明人：王刚;田翠侠;姜杰;王邵玉;阮冬 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2014-11-26 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片处理装置及方法，用以对硅片进行预对准和边缘曝光，该硅片处理装置包括预对准模块、边缘曝光模块、运动模块、控制模块、固定模块、旋转台和定位台；运动模块包括由上到下依次连接的旋转模组、升降模组和直线模组，旋转模组顶端与旋转台相连，旋转模组带动旋转台进行旋转，旋转台下方设有定位台，升降模组带动旋转模组沿竖直方向移动，直线模组的底面与所述固定模块滑动相连，在电机作用下带动升降模组和旋转模组沿固定模块沿水平方向移动；预对准模块和边缘曝光模块分别与硅片两侧边缘相对应。本发明减少了控制对象，简化了控制难度和系统结构设计复杂度，同时降低了预对准的操作复杂度和装置成本。
一种硅片处理装置方法

[发明专利]一种基板交接装置及交接方法-CN201510859991.3有效
发明人：阮冬 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2015-11-30 - 公布日： 2019-04-12 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种基板交接装置及交接方法，该装置包括气浮台和工作台，气浮台包括：固定气浮单元和升降气浮单元，固定气浮单元包括第一底座、第一水平向驱动轴、固定气浮块、真空吸盘及吸盘升降气缸；升降气浮单元设置于固定气浮单元与工作台之间，包括升降气浮块和第一垂向驱动轴；工作台包括：第二底座、第二水平向驱动轴、第二垂向驱动轴、工作平台及缓冲器。本发明通过增加升降气浮单元，增加了工作台的机械缓冲行程；工作台运动失控时，可利用缓冲器阻止失控运动，工作台距离固定气浮块仍存在一定距离，避免碰撞事故；利用第二垂向驱动轴控制工作平台的升降，确保基板传送过程中，始终从高气浮面向低气浮面运动，提高安全性。
一种交接装置方法

[发明专利]一种兼容多种工艺硅片的物料传输系统-CN201410808935.2有效
发明人：田翠侠;姜杰;阮冬;王刚 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2014-12-24 - 公布日： 2018-08-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开一种兼容多种工艺硅片的物料传输系统，包括硅片存储单元，机械手单元和预对准单元；预对准单元用于对所述硅片进行定心定向，包括一直线模组、升降模组、一旋转模组和定心台，所述直线模组和定心台均与一底板固定，所述升降模组与所述直线模组固定，由所述直线模组带动所述升降模组进行水平向运动，所述旋转模组的旋转轴与升降模组固定，由所述升降模组带动所述旋转模组进行垂向运动，所述旋转模组可带动其上的硅片进行旋转运动，所述旋转模组穿设于所述定心台，所述旋转模组位于最高位时，其上表面高于所述定心台的上表面，所述旋转模组位于最低位时，其上表面低于所述定心台的下表面。
一种兼容多种工艺硅片物料传输系统

[发明专利]一种硅片拾取装置-CN201610766710.4在审
发明人：田翠侠;阮冬;杨金国 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2018-03-09 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供了一种硅片拾取装置，包括片叉本体以及设置于所述片叉本体上的气路通道和调节机构；所述调节机构用于将硅片调整到片叉本体的拾取中心位置；片叉本体上设置有气孔，用于产生具有一定流向的气流，气路通道与气孔连通；在拾取硅片过程中，气路通道内通入的气体流经气孔形成具有一定流向的气流，以使硅片与片叉本体之间的气压小于外界大气压硅片在气压差的作用下压在片叉本体上，并在调节机构的配合下调整到片叉本体的拾取中心位置，完成拾取工作。在拾取过程中，不必要在硅片和片叉本体之间形成真空，所以可以有效吸附翘曲变形的硅片；另一方面，在拾取时硅片与片叉本体非直接接触，吸附力更均匀，从而减小了对较薄硅片的损坏。
一种硅片拾取装置

[发明专利]一种TSV硅片的真空吸盘-CN201210586865.1有效
发明人：黄明;郑教增;胡松立;王邵玉;阮冬;姜晓玉 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2012-12-28 - 公布日： 2017-06-27 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明属于半导体光刻制造技术领域，涉及TSV硅片的移动装置，具体涉及TSV硅片的真空吸盘。所述真空吸盘包括吸盘底座、设置吸盘底座上部的吸附层、设置在吸盘底座内部的真空室和阵列排布在吸附层上与真空室相通的吸附孔群，所述吸附层包括中间芯部和环绕芯部的环形层，所述环形层包括嵌套设置的至少一个环状弹性吸附层和至少一个环状刚性吸附层。本发明提供的吸盘采用弹性吸附层和由内至外变化的吸附面积，将点吸附变为了面吸附，增加了TVS硅片的吸附牢固度。为了防止TVS硅片因弹性吸附层的形变造成翘曲，采用刚性吸附层和弹性吸附层环状交替布局且设置高度差的方式来设计吸附面，使得吸附时依旧可以保持TSV硅片的平面度。
一种 tsv 硅片真空吸盘

[发明专利]一种双气浮大型基板传输装置-CN201310738321.7在审
发明人：吴福龙;周畅;阮冬 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2013-12-30 - 公布日： 2015-07-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开一种双气浮大型基板传输装置，包括：一气浮框架，所述气浮框架位于一机架上，并可相对机架上升和下降运动，所述气浮框架上设有结构相同的第一气浮单元和第二气浮单元，所述第一气浮单元位于所述第二气浮单元的垂直上方，所述第一、第二气浮单元分别包括安装在气浮框架上的气浮块，以及位于所述气浮块上的垂向传输模块。
一种双气浮大型传输装置

[发明专利]一种集成电路设备上用的承载固定装置-CN201310461410.1有效
发明人：阮冬 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2013-10-08 - 公布日： 2015-04-15 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提出一种集成电路设备上用的承载固定装置，包括承载台和承载对象，其特征在于，在所述承载台之上，在所述承载台与承载对象之间设有至少一个吸附结构。本发明通过刚性定位吸附面外圈的弹性垫圈变形来适应硅片的翘曲，同时吸附后内圈的刚性真空吸附件可以保证硅片的定位传输精度。同时结构简单紧凑，使用可靠，传输精度高，尤其适合用于机械手在硅片盒中或者基板盒中取放翘曲片。
一种集成电路设备承载固定装置

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