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[发明专利]一种离子注入剂量控制系统及控制方法-CN200810238899.5无效
发明人： 钟新华;伍三忠;邱小莎 -专利权人：北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2008-12-04 - 公布日： 2010-06-30 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子注入剂量控制系统及控制方法，涉及离子注入机，属于半导体制造领域。该系统包括剂量积分器、扫描发生器、NI运动控制器和NI实时测量与控制器。本发明的优点是能够显著地提高离子注入剂量值和均匀性的精度以及自恢复功能。
一种离子注入剂量控制系统控制方法

[发明专利]一种精确检测和校正离子束平行度的方法及装置-CN200810238896.1无效
发明人：邱小莎;钟新华;龙会跃 -专利权人：北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2008-12-04 - 公布日： 2010-06-30 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明公开了一种精确检测和校正扫描离子束平行度的方法和装置，涉及离子注入机，属于半导体集成电路器件制造领域。该检测和校正装置包括平行度校正磁铁、校正磁铁电源、移动法拉第杯、采样法拉第杯，剂量检测器、数字扫描发生器、电机运动控制器、控制计算机。所述的平行度校正磁铁放置于静电扫描板之后适当位置，其励磁线圈与校正磁铁电源连接；所述的采样法拉第杯输出与剂量检测器连接；所述的数字扫描发生器输出与扫描放大器连接；所述的扫描放大器与静电扫描板连接；所述的电机运动控制器输出与移动法拉第杯驱动电机连接；所述的移动法拉第杯受驱动电机驱动，可在靶室内沿X水平方向移动；所述的校正磁铁电源、移动法拉第杯、采样法拉第杯，剂量检测器、数字扫描发生器、电机运动控制器与控制计算机连接，由计算机协调动作并进行控制。扫描离子束平行度检测和校正的方法包括数据检测、数据处理和参数调整等步骤，通过来回移动法拉第杯检测出离子束平行度误差数据，多次调整磁铁电源的设置电流来使扫描离子束平行度达到误差范围。本发明能够自动实现扫描离子束平行度的精确检测和校正，达到扫描离子束各点的入射角偏差小于±0.7°，扫描离子束平行度偏差优于±0.1°的水平。
一种精确检测校正离子束平行方法装置

[发明专利]水泥杆作业用移动式防坠落装置-CN201010000063.9有效
发明人： 钟新华;余虹云;吴志敏;俞成彪;周宙龙 -专利权人：浙江电力职业技术学院
申请日： 2010-01-06 - 公布日： 2010-06-23 - 主分类号： A62B35/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种水泥杆作业用移动式防坠落装置，包括伸缩式绝缘杆、绳索式防坠器和开启可调式挂钩，其特征在于所述的开启可调式挂钩包括钩体、卡式连接杆、开启拉绳、保险扣、挂环和挽索，所述的保险扣轴接在钩体上；所述的开启拉绳一端与保险扣相连，另一端延伸至伸缩式绝缘杆的底端；所述的挽索一端通过安全扣与挂环相连，另一端悬一重物使挽索保持垂直状态；所述的卡式连接杆一端固定在钩体上，另一端设有卡式连接头，所述的伸缩式绝缘杆上端与卡式连接头连接；所述的绳索式防坠器套装在挽索上。本发明结构紧凑，操作简单，安全可靠，携带方便，并且外观新颖美观、小而轻巧、坚固耐用。
水泥作业移动式坠落装置

[发明专利]一种快速热处理温度测控系统和测控方法-CN200810224640.5有效
发明人：唐景庭;邱小莎;钟新华 -专利权人：北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2008-10-22 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： G05D23/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种快速热处理温度测控方法及测控系统，该系统包括：红外高温计、标准K型热电偶硅晶片、温度信号处理器、热电偶测温仪、加热功率调节器、交流电压过零检测器、定时计数器、可控硅控制信号隔离放大器、可控硅加热电源、加热灯组和控制计算机。所述的各个组件连接关系如附图1所示，整个系统由控制计算机统一协调进行控制，其中所述的加热功率调节器是内置于计算机中的程序。该温度测控方法，包括采用标准热电偶进行温度测量校准、红外高温计进行温度测量、定时计数器控制灯加热功率调节，以及加热灯分区控制对温度分布均匀性进行调整等步骤。本发明能对温度进行自适应PID调节，调控反应快速，能全自动实现快速温度测控功能。
一种快速热处理温度测控系统方法

[发明专利]一种晶片传递系统布置方式-CN200810224645.8无效
发明人：龙会跃;郭健辉;钟新华 -专利权人：北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2008-10-22 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明是针对快速退火炉的晶片传送系统的要求，提出了一种能实现快速、平稳的传送晶片方式，它主要包括三维运动机械手、送片站、受片站、密封圈及冷却台，特别适用于快速退火炉这类热处理装置，属于半导体制造领域。
一种晶片传递系统布置方式

[发明专利]一种氧化钇稳定氧化锆粉体的制备方法-CN200910199279.X无效
发明人：刘金库;钟新华;尹晓光;王建栋;罗重霄 -专利权人：华东理工大学
申请日： 2009-11-24 - 公布日： 2010-05-19 - 主分类号： C01B25/02 文献下载
摘要：本发明属于材料化学领域，具体涉及一种氧化钇稳定氧化锆粉体的制备方法。本发明具体采用超声-微波合成的方法，在超声条件下进行前驱物的制备，使体系更好地分散、掺杂；采用微波加热的方式干燥前驱物，防止前驱体的团聚。前驱体经过高温煅烧后，获得氧化钇稳定氧化锆粉体，该粉体分散性好，粒径大小达到纳米量级且大小分布均匀。本方法具有工艺简单，成本低廉等优点。
一种氧化钇稳定氧化锆制备方法

[发明专利]基于量子点共振能量转移检测HBV DNA及单碱基突变的方法-CN200910195689.7有效
发明人：毛红菊;王祥;钟新华;赵建龙 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2009-09-15 - 公布日： 2010-02-24 - 主分类号： C12Q1/70 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于量子点共振能量转移检测HBV DNA及单碱基突变的方法，包括：MPA包裹的CdSe/ZnS核/壳结构量子点的制备；HBV DNA检测探针的设计及合成；QDs-DNA探针交联物的制备；互补的靶HBV DNA及单碱基突变的高通量检测。该方法操作简单，可以与多种仪器兼容，不需要对杂交体系中未联接的DNA进行分离；由于Cy5在485nm光激发下不会直接产生荧光信号，因此背景干扰小，信号强；该方法还具有特异、快速、高分辨率、高灵敏度和高通量的特点，可应用于临床医学中HBV靶DNA及单碱基突变的检测。
基于量子共振能量转移检测 hbv dna 碱基突变方法

[发明专利]低碳钢冷轧板连续退火方法-CN200910301238.7有效
发明人：陆在学;曹立潮;钟新华;周学会;李德发;刘波 -专利权人：武汉钢铁（集团）公司
申请日： 2009-03-31 - 公布日： 2009-10-07 - 主分类号： C21D1/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种低碳钢连续退火方法，其特征在于，包括以下步骤：A.进入温度为750℃～800℃的加热炉快速加热，加热时间为206～410秒；B.进入温度为850℃～900℃的加热炉进一步加热，加热时间为56～110秒；C.进入介质为H₂和N₂组成的非氧化性气氛中，经55～130秒冷却至100℃～150℃；D.进入冷却介质为水的水冷却段，经5～20秒冷却至室温。本发明提供的低碳钢冷轧板连续退火方法，提高了低碳钢的退火后性能，而且本方法工艺过程简单，所依赖的工艺设备建造成本低。
低碳钢冷轧连续退火方法

[发明专利]一种精确测量离子束束斑宽度的检测系统及方法-CN200710175964.X无效
发明人：唐景庭;邱小莎;龙会跃;伍三忠;郭健辉;钟新华 -专利权人：北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2007-10-17 - 公布日： 2009-05-20 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种精确测量离子束束斑宽度的装置和方法，涉及离子注入机，属于半导体集成电路器件制造领域。该装置包括移动法拉第杯，剂量采样法拉第杯、剂量检测器、数控扫描发生器、电机运动控制器、控制计算机。由计算机协调各部分动作并进行控制。测量方法包括移动法拉第杯沿水平方向穿过靶室；在移动法拉第杯停顿的每个位置点，对离子束流进行采样；采样信号经剂量检测器进行放大和模数转换后送给控制计算机存储；控制计算机同时记录对应的移动法拉第杯位置编码；在移动法拉第杯水平穿过整个靶室后，控制计算机根据得到的位置和束流数据计算出离子束斑的宽度值，计算公式为：W＝p2-p1，p1-移动法拉第杯第一次采样到半束流的位置值；p2-移动法拉第杯第二次采样到半束流的位置值。本发明能够自动实现离子束斑宽度的精确测量，精度达7μm。
一种精确测量离子束宽度检测系统方法

[发明专利]SG3525在离子注入机开关电源中的应用-CN200710175967.3无效
发明人：伍三忠;金则军;龙会跃;钟新华;邱小莎 -专利权人：北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2007-10-17 - 公布日： 2009-05-13 - 主分类号： H02M7/527 文献下载
摘要：本发明是用于新型离子注入机上的开关电源控制器，离子注入机中使用的电源绝大多数是开关电源，老型号的离子注入机中开关电源稳定性不高，而新型的开关电源需要的频率很高，响应速度很快。本发明使用美国硅通用电气公司的第二代脉宽调制器SG3525来驱动新型离子注入机上的开关电源的各种高频功率放大管。
sg3525 离子注入开关电源中的应用

[实用新型]离子注入机用的电动机软启动及运行装置-CN200620019000.7无效
发明人：孙雪平;邱小莎;钟新华;袁卫华 -专利权人：北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2006-04-05 - 公布日： 2007-10-24 - 主分类号： H02P1/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种离子注入机用的电动机软启动及运行装置设置在电源和电动机绕组之间，它包括电机启动器和双结构电机启动器，二者并联配置。电机启动器的两端分别与电源和电动机绕组连接，双结构电机启动器进一步包括三角形继电器和星形继电器，三角形继电器的两端分别与电源和电动机绕组连接，星形继电器的一端连接到电动机绕组与三角形继电器之间，另一端连接到公共端。其电路结构简单、可靠，元件少，能有效地防止大电流冲击现象的产生，使离子注入机用的电动机实现软启动并正常运行。
离子注入电动机启动运行装置

[发明专利]真空用充气过压溢流阀-CN200610065120.5无效
发明人：唐景庭;彭立波;姚琛;钟新华 -专利权人：北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2006-03-17 - 公布日： 2007-09-19 - 主分类号： F16K17/04 文献下载
摘要：本发明涉及应用于离子注入机的真空系统过压保护装置，具体为真空用过压溢流阀，当内部压力高于所调定压力时，自动溢流排气，防止由于过压对部分系统元件的破坏或发生压力爆炸，起到保护真空系统安全运行的作用。
真空充气溢流

[实用新型]真空用充气过压溢流阀-CN200620008180.9无效
发明人：彭立波;姚琛;钟新华;唐景庭 -专利权人：北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2006-03-17 - 公布日： 2007-08-01 - 主分类号： F16K17/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及应用离子注入机的真空系统过压保护装置，具体为真空用过压流阀，其特征在于由垫圈(1)，KF接口(2)，弹簧(3)，溢流密封盖板(4)，外罩(5)，内六角圆柱头螺钉(6)，O型密封圈(7)和O型密封圈(8)，弹性挡圈(9)，卡套接头(10)。当内部压力高于所调定压力时，自动溢流排气，防止由于过压对部分系统元件的破坏或发生压力爆炸，起到保护真空系统安全运行的作用。
真空充气溢流

[实用新型]离子注入机的一维机械扫描装置-CN200620113052.0无效
发明人：彭立波;戴习毛;钟新华;袁卫华 -专利权人：北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2006-04-24 - 公布日： 2007-06-20 - 主分类号： C23C14/48 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种离子注入机的一维机械扫描装置，包括靶台、伺服电机和线性运动推动机构，线性运动推动机构的连杆和摆动扫描从动臂的两端分别与靶台和固定座活动连接，构成平行四边形，摆动扫描从动臂的固定座一端与摆动扫描驱动臂的一端固定连接，摆动扫描驱动臂的另一端与线性驱动机构活动连接，线性驱动机构通过丝杆副与伺服电机连接。本实用新型消除了机械扫描对系统真空的影响，具有结构简单，成本低，扫描精准度高的特点。
离子注入机械扫描装置

[实用新型]一种离子源引出电极系统-CN200620012983.1无效
发明人：伍三忠;戴习毛;钟新华;刘仁杰 -专利权人：北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2006-04-07 - 公布日： 2007-05-30 - 主分类号： H01J37/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种离子源引出电极系统，包括：连接杆、屏蔽筒、减速电极、绝缘子、加速电极座、加速电极。其中所述连接杆连接固定整个引出电极系统；所述减速电极螺钉连接连接杆；所述屏蔽筒安装在减速电极上；所述绝缘子安装在屏蔽筒和加速电极座之间；所述的加速电极镶嵌在加速电极座上。本实用新型结构紧凑稳定可靠，具有抗热变形、抗离子溅射污染性能特点；加速电极镶嵌式结构更换操作方便，解决了以前一般引出电极系统的缺点和局限性，满足离子注入机高可靠性高标准要求。
一种离子源引出电极系统

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