首页 在售
电子信息机械制造新型材料电气自动化新能源安全防护环保资源轻工纺织生物医药包装印刷海洋开发仪器仪表航空航天建材建筑农林牧业食品饮料采矿冶金家居用品化学化工交通运输橡胶塑料教育休闲其他
求购
电子信息机械制造新型材料电气自动化新能源安全防护环保资源轻工纺织生物医药包装印刷海洋开发仪器仪表航空航天建材建筑农林牧业食品饮料采矿冶金家居用品化学化工交通运输橡胶塑料教育休闲其他
查询 申请 展会 资讯 专利榜 企服商城 升级VIP
专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果1个，建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]化学物质供应单元、基片处理设备及使用该基片处理设备处理基片的方法-CN201410126980.X有效
  • 尹泰锡;金秉彦;曹昌律 - 细美事有限公司
  • 2014-03-31 - 2017-05-17 - H01L21/67
  • 本发明提供了一种基片处理设备，包括壳体；支承单元，该支承单元位于壳体内并且支承基片；喷嘴单元，该喷嘴单元将化学物质供应至设置在支承单元上的基片；以及化学物质供应单元，该化学物质供应单元将化学物质供应至喷嘴单元。在本文中，化学物质供应单元包括化学物质供应源；第一罐和第二罐，该第一罐和第二罐存储化学物质；化学物质供应管路，该化学物质供应管路将化学物质从化学物质供应源供应至第一罐和第二罐；化学物质排放管路，该化学物质排放管路将化学物质从第一罐和第二罐供应至喷嘴单元；循环管路，该循环管路允许化学物质分别循环通过第一罐和第二罐；安装在循环管路上的构件；和控制器，该控制器控制所述构件。
  • 化学物质供应单元处理设备使用方法
  •  1 
  • 共 1 条
友情链接：交换友情链接需要网站权重大于4，网站收录10W以上，如符合条件，请联系QQ：76009968。

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

版权所有钻瓜科技（天津）有限公司津ICP备15000985号津公网安备 12019202000206号http://www.vipzhuanli.com/公布日期
咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top