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[发明专利]供应化学液体的装置和方法及基板处理装置-CN202211598517.6在审
发明人： 尹泰锡;朴尚禹;河道炅;梁承太;郑富荣;崔文淳;林采永 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供一种用于供应化学液体的装置，该装置包括：储罐，在所述储罐中储存化学液体；排放管线，储存在所述储罐中的所述化学液体通过所述排放管线排放；液位管，所述液位管连接至所述储罐从而检查所述储罐中的所述化学液体的水位，并以与所述储罐中的所述化学液体的水位相同的水位接收所述化学液体；和控制器，所述控制器用于控制安装在所述排放管线中的第一阀，其中所述液位管的一端与所述储罐的上部空间连接，而另一端与所述排放管线连接。
供应化学液体装置方法处理

[发明专利]用于供应液体的单元、用所述单元处理基板的设备和方法-CN202211288412.0在审
发明人：河道炅;尹泰锡;崔文淳;安求悦;林采永;郑富荣 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-10-20 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明构思提供了一种基板处理设备。所述基板处理设备包括：支撑单元，所述支撑单元被配置为支撑基板；以及液体供应单元，所述液体供应单元被配置为将处理液供应到支撑在所述支撑单元上的所述基板上，并且其中所述液体供应单元包括：罐，所述罐被配置为具有容纳空间，该容纳空间用于在其中储存所述处理液；循环管线，所述循环管线被配置为使储存在所述容纳空间中的所述处理液循环；补充管线，所述补充管线被配置为将所述处理液供应至所述容纳空间，并且在所述补充管线处安装有阀；加热器，所述加热器安装在所述循环管线处并且用于加热所述处理液；以及控制器，所述控制器用于控制所述阀。
用于供应液体单元处理设备方法

[发明专利]化学物质供应单元、基板处理装置和基板处理方法-CN202011609935.1在审
发明人： 尹泰锡;朴贤淑 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种用于处理基板的装置包括：壳体，具有处理基板的处理空间；支撑单元，在处理空间中支撑基板；喷嘴，将化学物质分配到基板上；化学物质供应单元，将化学物质供应到喷嘴；以及控制器，控制化学物质供应单元。化学物质供应单元包括：罐，具有储存化学物质的内部空间；传感器，检测储存在罐中的化学物质的剩余量；入口管线，将化学物质从化学物质供应源供应到罐；出口管线，将化学物质从罐供应到喷嘴；以及排放管线，排出罐中的化学物质。在化学物质保留在罐中的状态下，当由传感器检测到的剩余量达到第一预设量或更少时，控制器控制化学物质供应单元将新的化学物质从化学物质供应源供应到罐。
化学物质供应单元处理装置方法

[发明专利]化学物质供应单元、基片处理设备及使用该基片处理设备处理基片的方法-CN201410126980.X有效
发明人： 尹泰锡;金秉彦;曹昌律 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2014-03-31 - 公布日： 2017-05-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供了一种基片处理设备，包括壳体；支承单元，该支承单元位于壳体内并且支承基片；喷嘴单元，该喷嘴单元将化学物质供应至设置在支承单元上的基片；以及化学物质供应单元，该化学物质供应单元将化学物质供应至喷嘴单元。在本文中，化学物质供应单元包括化学物质供应源；第一罐和第二罐，该第一罐和第二罐存储化学物质；化学物质供应管路，该化学物质供应管路将化学物质从化学物质供应源供应至第一罐和第二罐；化学物质排放管路，该化学物质排放管路将化学物质从第一罐和第二罐供应至喷嘴单元；循环管路，该循环管路允许化学物质分别循环通过第一罐和第二罐；安装在循环管路上的构件；和控制器，该控制器控制所述构件。
化学物质供应单元处理设备使用方法

[发明专利]真空吸尘器-CN200610101979.7有效
发明人：李济远;朱载晚;李俊和;尹泰锡;洪承基 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2006-07-17 - 公布日： 2007-07-04 - 主分类号： A47L5/00 文献下载
摘要：一种具有排放流路的真空吸尘器，所述真空吸尘器降低由于流路阻力而产生的噪声以及由电机产生的噪声。所述真空吸尘器包括：主体；鼓风扇单元，所述鼓风扇单元包括鼓风扇和电机，以在主体内产生吸力；内壳体，所述内壳体包围所述鼓风扇单元，并具有形成于所述内壳体内的内流路；包围所述内壳体的外壳体；以及形成于所述内壳体与所述外壳体之间的排放流路，以与所述内流路连通。所述排放流路包括：从所述内流路分支的循环流路，以引导从所述鼓风扇单元排出的空气；以及从所述内流路分支的弯曲流路，以引导从所述鼓风扇单元排出的空气，从而使空气在所述弯曲流路内被弯折多次。
真空吸尘器

[发明专利]真空吸尘器及用于减少其产生的噪音的方法-CN200610108710.1有效
发明人：洪承基;朱载晚;李俊和;尹泰锡 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2006-07-28 - 公布日： 2007-07-04 - 主分类号： A47L5/00 文献下载
摘要：一种真空吸尘器，所述真空吸尘器具有排出流动路径以及最佳地定位成用于减小噪音的排出空气过滤器。所述真空吸尘器包括：本体；位于所述本体内以过滤出杂质的灰尘收集单元；包括鼓风机和电动机以产生吸力的鼓风机单元；气孔，抽入所述本体内的空气经由所述气孔排出；以及排出流动路径，所述排出流动路径将经由所述鼓风机单元的一排出口排出的空气引导至所述气孔。所述排出流动路径包括所述灰尘收集单元与所述鼓风机单元之间所限定的空间。
真空吸尘器用于减少产生噪音方法

[发明专利]旋风吸尘器-CN200610108058.3无效
发明人：洪承基;李俊和;宋化圭;尹泰锡;朱载晚 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2006-07-27 - 公布日： 2007-06-27 - 主分类号： A47L9/16 文献下载
摘要：一种包括旋风分离单元的旋风吸尘器，能够降低从所述旋风分离单元产生的噪声，并能够通过形成平稳的气流来减小压力损失。所述旋风分离单元包括：具有进气口和出气口的主体；主旋风分离器，以将杂质从通过进气口吸入的空气中首次分离；多个次旋风分离器，以将杂质从自主旋风分离器排出的空气中二次分离，并通过次旋风分离器的排气孔，使已将杂质从其中移除的空气排出；以及位于每一个次旋风分离器的排气孔内的噪声降低构件，以降低噪声。所述旋风分离单元还包括引导板，所述引导板允许通过所述次旋风分离器的排气孔排出的空气经所述出气口被平稳地排出。
旋风吸尘器

[发明专利]换气装置-CN200510054520.1无效
发明人：禹成济;朴圣官;金东元;尹泰锡 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2005-03-08 - 公布日： 2006-05-03 - 主分类号： F24F3/147 文献下载
摘要：本发明提供一种换气装置，具备：设置在主体内并具有相互交叉成分区通路的电热交换机；形成在主体内以使室外空气经过第1空气通路流入室内的供气流路；在该供气流路上设置的第1送风扇；形成在主体内以使室内空气经过第2空气通路排到室外的排气流路；在该排气流路上设置的第2送风扇；在一侧位于电热交换机下游的供气流路内，而另一侧位于电热交换机下游的排气流路内，并以该状态设成可自由旋转的除湿转动部件；设置在与排气流路内的除湿转动部件靠近的位置上以便对流向该除湿转动部件侧的空气进行加热的加热器。由此，能够边执行换气功能边对从外部流入的空气进行除湿、且能不导入户外空气而只通过室内空气循环来执行室内空气的连续除湿。
换气装置

[发明专利]换气装置-CN200510054145.0无效
发明人： 尹泰锡;朴圣官;金炅录;禹成济 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2005-03-09 - 公布日： 2006-05-03 - 主分类号： F24F3/147 文献下载
摘要：本发明提供一种换气装置，具备：电热交换机，具有第1空气通路和第2空气通路；供气流路，以室外空气经过电热交换机的第1空气通路而流入室内的方式形成在主体内；设在供气流路内的第1送风扇；排气流路，以室内空气经过所述电热交换机的第2空气通路而排到室外的方式形成在主体内；设在排气流路内的第2送风扇；加湿装置，设在供气流路的所述电热交换机的下游；迂回流路，以室内空气经加湿装置而供给给室内的方式，形成在电热交换机的上游侧的排气流路和电热交换机的下游侧的供气流路的之间；开闭迂回流路的第1风挡；第2及第3风挡，分别开闭排气流路出口和供气流路入口。由此，不导入外气而只由室内空气的循环，就能够进行室内空气的加湿。
换气装置

[发明专利]换气装置-CN200510054149.9无效
发明人：金炅录;朴圣官;尹泰锡 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2005-03-09 - 公布日： 2006-05-03 - 主分类号： F24F3/147 文献下载
摘要：本发明提供一种换气装置，具备：电热交换机，具有设在主体内的、在分区状态下相互交叉的第1空气通路和第2空气通路；供气流路，以室外空气经过电热交换机的第1空气通路流入室内的方式形成在主体内；第1送风扇，设在供气流路内的电热交换机的下游；排气流路，用于使室内空气经过电热交换机的第2空气通路排到室外；第2送风扇，设在排气流路内的电热交换机的上游；第1室内循环流路；第2室内循环流路；第1净化过滤器；第2净化过滤器；加湿装置，设在供气流路的电热交换机的下游；第1流路切换装置；第2流路切换装置。由此，不导入外气而只通过室内空气的循环，就能够进行室内空气的净化及加湿。
换气装置

[发明专利]换气装置-CN200510053064.9无效
发明人：禹成济;朴圣官;金东元;尹泰锡 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2005-03-07 - 公布日： 2006-04-19 - 主分类号： F24F3/147 文献下载
摘要：本发明提供一种换气装置，其特征在于，具备外壳、热交换元件、吸气和排气扇、空气流入口以及排出口、多个气闸、除湿转动部件，进一步具备迂回流路以实现使在对室内空气进行干燥之后使之再次流入到室内以控制室内湿度的独立除湿模式。根据本发明，其构成是换气系统以及除湿转动部件的功能独立或者相互工作，所以在通过换气降低室内湿度的基础上，能够使室内湿度下降至目标湿度，所以防止因夏季等室内湿度升高造成的室内发霉，获得非常有效地干燥已洗衣物的效果。
换气装置

[发明专利]布老恩管-CN00108888.2无效
发明人： 尹泰锡 -专利权人： LG电子株式会社
申请日： 2000-04-15 - 公布日： 2004-04-21 - 主分类号： H01J29/02 文献下载
摘要：布老恩管包括阴罩、支撑荫罩的屏盘、固定在荫罩与屏盘之间的柱状销钉和大体矩形的框架，该框架具有高度在(0.8～0.9)×(从柱状销钉中心到屏盘内表面中心点的高度)的范围内的长边和分别具有在(0.7～0.85)×(长边高度)的范围内的高度的短边和角部边，由此通过使框架的各高度最佳为满足对布老恩管的各种要求同时在增加框架总尺寸时，能够使布老恩管稳定不受拱顶、振鸣和地磁的影响，并且使设计方便。
布老恩管

[发明专利]平面型阴极射线管-CN01110474.0无效
发明人： 尹泰锡 -专利权人： LG电子株式会社
申请日： 2001-04-12 - 公布日： 2001-10-17 - 主分类号： H01J29/86 文献下载
摘要：本发明涉及一种平面型阴极射线管，更具体地说，通过改善显示屏内表面的曲率，本发明改善了图象的亮度和色纯度，以便防止电子束的误着屏，由此防止了隆起、振鸣、地磁磁场和类似的情况。为了实现这一目的，本发明的平面型阴极射线管包括一个显示图象的显示屏，其中显示屏的外表面是平面，其内表面沿垂直轴方向和水平轴方向分别具有内表面曲率。
平面阴极射线管

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