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[实用新型]量检测设备-CN202321039764.2有效
发明人：袁林栋;郎东春;颜小龙;周许超;张杰;陈朵朵;程宇;徐凤森;陈楠;齐会平 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提供一种量检测设备。其中，所述量检测设备包括风管和气浴装置；其中，所述风管和所述气浴装置之间为可拆卸连接，以便于在密封连接所述风管和所述气浴装置时，可存留一些调整余量，以确保在对接时二者的端面位置能够精确对准，提高密封连接效果。
检测设备

[实用新型]一种光刻设备-CN202121471377.7有效
发明人：吴东;张洪博;赵建军;张瑞平;刘连军;王飞;郎东春;王伟伟 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型属于光刻技术领域，尤其涉及一种光刻设备，包括温控系统，所述温控系统包括由下至上依次设置的制冷单元、接水盘、换热器及风机，所述制冷单元与所述换热器循环连通并用于向所述换热器供给低温介质，所述接水盘用于承接从所述换热器表面滴落的冷凝水，所述接水盘包括盘体，所述盘体包括底板，所述底板的周缘向上弯折形成有弯折边，所述底板凹设形成有集水槽，所述集水槽的槽底开设有排水口，所述排水口处设置有排水管。本实用新型公开的光刻设备，能够提高光刻设备的运行安全性和运行可靠性。
一种光刻设备

[发明专利]一种基底边缘保护装置、光刻设备及保护方法-CN201810293658.4有效
发明人：曹文;郎东春 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2018-03-30 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种基底边缘保护装置、光刻设备及保护方法。其中，基底边缘保护装置包括底座，设置在底座工作侧边缘的抓取部件，用于抓取和固定基底边缘保护环，设置在底座工作侧翘曲处理机构，翘曲处理机构的工作面上有多个吹气孔，以及与吹气孔连通的进气孔，通过吹气孔吹气以对基底进行整平。本发明实施例提供的基底边缘保护装置，在底座工作侧设置翘曲处理机构，通过翘曲处理机构向工件台上的翘曲基底吹正压气体，将翘曲基底整平，使基底完全吸附在吸盘上，实现了对大翘曲量基底的整平，提高了基底曝光质量和良率；此外，基底整形和基底边缘保护环的放置都可以通过该基底边缘保护装置实现，简化了曝光流程，从而提高了生产效率。
一种基底边缘保护装置光刻设备保护方法

[发明专利]干涉仪气浴装置及光刻机-CN201711244875.6有效
发明人： 郎东春 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2021-01-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种干涉仪气浴装置，包括：稳压控温单元和气体导向单元，所述稳压控温单元包括静压腔和多级孔板组件，气流经所述静压腔初步稳压后流入多级孔板组件进行深度稳压及均化分布，再经所述气体导向单元流出。本发明提供了一种干涉仪气浴装置及光刻机，利用多级孔板组件深度稳压并均化气流分布，减小静压腔厚度进而减小气浴装置整体尺寸，并且气浴导向格栅与光路平行布置，在光路全程上气浴不分段，解决了现有干涉仪气浴装置厚度大、气浴不均匀的问题。
干涉仪装置光刻

[发明专利]镜片防污染装置及方法-CN201610767140.0有效
发明人：郝保同;郎东春 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2020-01-24 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种镜片防污染装置及方法，包括第一装置及第二装置，所述第一装置靠近所述镜片，所述第二装置远离所述镜片；其中，所述第一装置输出保护层气体，通过喷嘴使保护层气体紧贴镜片下表面均匀流过，可以清洁已污染的镜片并形成保护层以防止再次污染；所述第二装置带离污染源附近气体，污染气体通过小孔进入环形腔体，并由排气通道的抽排动力排到远离的环境中。曝光前，先开启第一装置，再开启第二装置，曝光结束12小时后可关闭第二装置。本发明方案可更好解决光刻胶有机物挥发污染镜片，安装实施简便，使用寿命长，成本低廉，可靠性高，并保证污染物完全清除，不进入物镜内部。
镜片污染装置方法

[实用新型]一种减振装置-CN201821616184.4有效
发明人：吴东;郎东春;刘赟;游力;卞骏;刘磊 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2018-09-30 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： F16F15/08 文献下载
摘要：本实用新型提供的减振装置通过在所述基板和所述顶板之间设置垂直减振组件和水平减振组件来实现被减振装置的垂直方向和水平方向的振动衰减；其中，所述垂直减振组件用于实现被减振设备垂直方向的振动衰减，包括第一主动减振机构和第一被动减振机构；所述水平减振组件用于实现被减振设备的水平方向的振动衰减，包括第二主动减振机构和第二被动减振机构；所以通过在垂直方向和水平方向都设置有主动减振机构和被动减振机构和控制器，既可双向隔离高频振动，亦可双向的有效抑制低频振动。进一步的，所述控制器控制所述第一主动减振机构和第二主动减振机构进行主动减振，增强了解决实际振动问题的实用性和有效性。
主动减振减振组件减振机构减振装置振动衰减被减振设备垂直本实用新型控制器控制低频振动高频振动双向隔离有效抑制振动问题控制器双向的基板

[发明专利]一种气浴装置及控制方法和应用-CN201610608676.8有效
发明人： 郎东春;杨志斌 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2016-07-29 - 公布日： 2019-04-12 - 主分类号： F17D1/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种气浴装置及控制方法和应用，该装置包括供气装置、冷却水供水装置和气浴末端装置，供气装置和气浴末端装置之间设有压力调节装置，冷却水供水装置与气浴末端装置之间设有温度调节装置，气浴末端装置内设有气路通道和水路通道，气路通道的入口与压力调节装置连接，气路通道的气路出口靠近水路通道并与气浴末端装置的工作面连通；水路通道的入口与温度调节装置的出口连接，水路通道的出口与冷却水供水装置的入口连接，气路通道和水路通道的孔径均小于0.1mm。本发明通过压力调节装置和温度调节装置实现闭环控制，通过微流道形式的气路通道和水路通道，且在气浴末端装置内进行热交换，提高了气浴的温度、压力的均匀性和稳定性。
末端装置水路通道气路通道冷却水供水装置温度调节装置压力调节装置供气装置热交换闭环控制出口连接气路出口入口连接均匀性微流道连通应用出口

[发明专利]3D四轮定位仪检定装置及其同步拖动架装置-CN201310336745.0有效
发明人：邵承会;郎东春;苏建;徐观;孟祥艳 -专利权人：南京吉拓测量仪器有限公司
申请日： 2013-08-05 - 公布日： 2016-11-09 - 主分类号： G01M17/013 文献下载
摘要：本发明公开了一种3D四轮定位仪检定装置及其同步拖动架装置，同步拖动架装置包括同步拖动架和同步架限位装置，同步拖动架包括横杆、纵杆和传感器夹套装置；3D四轮定位仪检定装置包括前束零点检验架、前台架检验部分、后台架检验部分和同步拖动架，前台架检验部分和后台架检验部分设置在前束零点检验架上，同步拖动架通过四个传感器夹套装置分别与前台架检验部分和后台架检验部分中的横轴锁紧连接；本发明能够同时实现四个传感器同时转动，完全模拟3D四轮定位仪检定汽车车轮角度的实际工作过程，实现3D四轮定位仪检定。
定位检定装置及其同步拖动

[实用新型]全自动导杆表面质量检测装置-CN201420120192.5有效
发明人：邵承会;周子淳;郎东春;徐知行;付佳佳;冯晶;唐洪峰;邵维廷 -专利权人：吉林大学
申请日： 2014-03-17 - 公布日： 2014-09-17 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本实用新型公开了全自动导杆表面质量检测装置，克服人工检测效率低、受人为因素影响及带来很大检测误差的问题。其包括进料部分、分料部分、传动部分、图象采集部分与载物台。传动部分包括一号电机组件、一号导轨、二号导轨、二号电机组件、测长汽缸与三号电机组件。进料部分固定在载物台右下角，二号导轨固定在进料部分左侧载物台上，一号导轨固定在二号导轨左侧，图象采集部分固定在一号导轨与二号导轨之间，分料部分固定在一号导轨左侧的载物台上，三号电机组件固定在分料部分的滑台上，并位于分料部分的推料汽缸的右侧，测长汽缸固定在三号电机右前方的滑台上，一号电机组件与二号电机组件依次固定在一号导轨与二号导轨后方与前方的载物台上。
全自动表面质量检测装置

[发明专利]全自动导杆表面质量检测装置-CN201410098515.X有效
发明人：邵承会;周子淳;郎东春;徐知行;付佳佳;冯晶;唐洪峰;邵维廷 -专利权人：吉林大学
申请日： 2014-03-17 - 公布日： 2014-06-18 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明公开了一种全自动导杆表面质量检测装置，克服人工检测效率低、受人为因素影响及带来很大检测误差的问题。其包括进料部分、分料部分、传动部分、图象采集部分与载物台。传动部分包括一号电机组件、一号导轨、二号导轨、二号电机组件、测长汽缸与三号电机组件。进料部分固定在载物台右下角，二号导轨固定在进料部分左侧载物台上，一号导轨固定在二号导轨左侧，图象采集部分固定在一号导轨与二号导轨之间，分料部分固定在一号导轨左侧的载物台上，三号电机组件固定在分料部分的滑台上，并位于分料部分的推料汽缸的右侧，测长汽缸固定在三号电机右前方的滑台上，一号电机组件与二号电机组件依次固定在一号导轨与二号导轨后方与前方的载物台上。
全自动表面质量检测装置

[实用新型]基于皮带传动式四轮定位仪检定装置-CN201320542309.4有效
发明人：邵承会;周子淳;郎东春;苏建;徐观;孟祥艳 -专利权人：吉林大学
申请日： 2013-09-02 - 公布日： 2014-03-19 - 主分类号： G01M17/013 文献下载
摘要：本实用新型公开了基于皮带传动式四轮定位仪检定装置，旨在克服不能对3D四轮定位仪进行质量检定的问题。其包括前束零点检验架、前台架检验部分、后台架检验部分、右皮带传动装置与左皮带传动装置。左皮带传动装置包括主动带轮、前从动带轮、前传感器夹套、后传感器夹套、后从动带轮和皮带。主动带轮套装在前束零点检验架中的前左组合支撑腿的长地脚轮轴外端键连接，前传感器夹套的右端套装在左前台检验部分中的前横轴的左端并锁紧，前从动带轮套装在前传感器夹套的中间处键连接，后传感器夹套的右端套装在左后台检验部分中的后横轴左端并锁紧，后从动带轮套装在后传感器夹套中间处键连接，皮带安装在主动带轮、前从动带轮与后从动带轮的轮槽中。
基于皮带传动式四轮定位检定装置

[实用新型]3D四轮定位仪检定装置及其同步拖动架装置-CN201320473857.6有效
发明人：邵承会;郎东春;苏建;徐观;孟祥艳 -专利权人：南京吉拓测量仪器有限公司
申请日： 2013-08-05 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： G01M17/013 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种3D四轮定位仪检定装置及其同步拖动架装置，同步拖动架装置包括同步拖动架和同步架限位装置，同步拖动架包括横杆、纵杆和传感器夹套装置；3D四轮定位仪检定装置包括前束零点检验架、前台架检验部分、后台架检验部分和同步拖动架，前台架检验部分和后台架检验部分设置在前束零点检验架上，同步拖动架通过四个传感器夹套装置分别与前台架检验部分和后台架检验部分中的横轴锁紧连接；本实用新型能够同时实现四个传感器同时转动，完全模拟3D四轮定位仪检定汽车车轮角度的实际工作过程，实现3D四轮定位仪检定。
定位检定装置及其同步拖动

[发明专利]基于皮带传动式四轮定位仪检定装置-CN201310392869.0有效
发明人：邵承会;周子淳;郎东春;苏建;徐观;孟祥艳 -专利权人：吉林大学
申请日： 2013-09-02 - 公布日： 2013-12-11 - 主分类号： G01M17/013 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于皮带传动式四轮定位仪检定装置，旨在克服不能对3D四轮定位仪进行质量检定的问题。其包括前束零点检验架、前台架检验部分、后台架检验部分、右皮带传动装置与左皮带传动装置。左皮带传动装置包括主动带轮、前从动带轮、前传感器夹套、后传感器夹套、后从动带轮和皮带。主动带轮套装在前束零点检验架中的前左组合支撑腿的长地脚轮轴外端键连接，前传感器夹套的右端套装在左前台检验部分中的前横轴的左端并锁紧，前从动带轮套装在前传感器夹套的中间处键连接，后传感器夹套的右端套装在左后台检验部分中的后横轴左端并锁紧，后从动带轮套装在后传感器夹套中间处键连接，皮带安装在主动带轮、前从动带轮与后从动带轮的轮槽中。
基于皮带传动式四轮定位检定装置

[实用新型]分体拆装式汽车四轮定位仪检定装置-CN201320201530.3有效
发明人：邵承会;郎东春;苏建;徐观;孟祥艳 -专利权人：吉林大学
申请日： 2013-04-21 - 公布日： 2013-09-04 - 主分类号： G01M17/013 文献下载
摘要：本实用新型公开了分体拆装式汽车四轮定位仪检定装置，旨在克服现有技术存在设备整体体积较大、加工成本较高、设备调平费时与装配难度较大等问题。该装置包括前束零点检验架、前台架检验部分和后台架检验部分。前束零点检验架包括前横梁、后横梁、左纵梁、右纵梁、左前支撑腿、右前支撑腿、左后支撑腿与右后支撑腿。前横梁与后横梁的两端和左纵梁与右纵梁的前端与后端连接成为平面矩形框架，竖直设置的左前支撑腿、右前支撑腿、左后支撑腿与右后支撑腿的顶端面和矩形框架的四个角的底面螺栓固定；前台架检验部分安装在前束零点检验架中的左纵梁与右纵梁的前端为螺栓固定，后台架检验部分安装在前束零点检验架中的左纵梁与右纵梁的后端为螺栓固定。
分体拆装汽车定位检定装置

[发明专利]分体拆装式汽车四轮定位仪检定装置-CN201310138253.0无效
发明人：邵承会;郎东春;苏建;徐观;孟祥艳 -专利权人：吉林大学
申请日： 2013-04-21 - 公布日： 2013-08-07 - 主分类号： G01M17/013 文献下载
摘要：本发明公开了一种分体拆装式汽车四轮定位仪检定装置，旨在克服现有技术存在设备整体体积较大、加工成本较高、设备调平费时与装配难度较大等问题。该装置包括前束零点检验架、前台架检验部分和后台架检验部分。前束零点检验架包括前横梁、后横梁、左纵梁、右纵梁、左前支撑腿、右前支撑腿、左后支撑腿与右后支撑腿。前横梁与后横梁的两端和左纵梁与右纵梁的前端与后端连接成为平面矩形框架，竖直设置的左前支撑腿、右前支撑腿、左后支撑腿与右后支撑腿的顶端面和矩形框架的四个角的底面螺栓固定；前台架检验部分安装在前束零点检验架中的左纵梁与右纵梁的前端为螺栓固定，后台架检验部分安装在前束零点检验架中的左纵梁与右纵梁的后端为螺栓固定。
分体拆装汽车定位检定装置

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