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- [实用新型]一种晶圆切割用贴膜装置-CN202320725894.5有效
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郁曹佳;陆玉远;殷秋鹤;黄嘉
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浙江联康沃源电子股份有限公司
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2023-04-04
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2023-10-13
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H01L21/67
- 本实用新型提供了一种晶圆切割用贴膜装置。它解决了现有晶圆贴膜装置工作效率较低等技术问题。本晶圆切割用贴膜装置,包括机架和输送带,输送带安装在机架上,输送带的上料端处安装有一用于将膜材与晶圆贴合的贴膜机构,贴膜机构后设置有一用于将多余膜材切割的切割机构,切割机构后设置有一用于回收切割剩余膜材的回收机构,机架上开设有一开口一,开口一内设置有用于晶圆收集的收纳盒,开口底部设置有一与收纳盒相配合的驱动机构,输送带下料端设置有一用于将晶圆转运至收纳盒的转运机构,机架侧面开设有用于拿取收纳盒的开口二。本实用新型能够快速收集并打包晶圆,提高了工作效率。
- 一种切割用贴膜装置
- [实用新型]一种晶圆表层研磨装置-CN202320567735.7有效
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杨琦;陆玉远;郁曹佳;沈智强
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浙江联康沃源电子股份有限公司
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2023-03-17
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2023-09-19
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B24B37/08
- 本实用新型提供了一种晶圆表层研磨装置。它解决了现有研磨装置在研磨完成后晶圆表面残留的研磨液在拿取时会滴漏出来等技术问题。本晶圆表层研磨装置,包括机架,机架底部安装有推杆电机一,推杆电机一的杆部连接有安装块一,安装块一上安装有旋转电机一,旋转电机一的输出轴上连接有安装块二,安装块上安装有打磨块一,打磨块一上方设置有放置盘,机架上方还连接有安装架,安装架上安装有推杆电机二,推杆电机二的杆部连接有安装块三,安装块三内安装有旋转电机二,旋转电机二的输出轴上连接有打磨块二,打磨块二上安装有安装块四,安装块四上安装有环形吹气风机,安装块三还与一辅助机构相连。本实用新型能够有效减少晶圆表面研磨液的附着量。
- 一种表层研磨装置
- [实用新型]一种晶圆外径研磨装置-CN202320608231.5有效
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陆玉远;刘烽;沈智强;郁曹佳
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浙江联康沃源电子股份有限公司
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2023-03-20
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2023-09-19
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B24B37/02
- 本实用新型提供了一种晶圆外径研磨装置。它解决了现有外径研磨装置虽然大多都能够适应不同尺寸晶棒的研磨,但是单次只能研磨一根晶棒,研磨效率较低等技术问题。本晶圆外径研磨装置,包括机架和底座,机架安装在底座上,机架底部设置有若干旋转电机,旋转电机的输出轴上安装有用于晶棒端部夹持的卡盘一,机架顶部安装有若干推杆电机一,推杆电机外部设置有保护壳,推杆电机一的杆部安装有安装块一,安装块一上通过转动轴转动连接有用于晶棒端部夹持的卡盘二,卡盘一和卡盘二之间设置有若干用于晶棒打磨的打磨件,打磨件通过一驱动机构滑动连接在机架上,机架侧面设置有控制面板。本实用新型能够同时研磨多个不同尺寸的晶棒,研磨效率高。
- 一种外径研磨装置
- [实用新型]一种超声波酒精清洗装置-CN202221912494.7有效
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陆金发;刘兆山;杨琦;郁曹佳;郭云静
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嘉兴联康沃源科技股份有限公司
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2022-07-20
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2022-11-29
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B08B3/12
- 本实用新型提供了一种超声波酒精清洗装置,包括带有支撑腿的清洗箱,清洗箱下部安装有超声波换能器,支撑腿上安装有超声波发生器,超声波发生器通过线路与超声波换能器相连,其特征在于,所述清洗箱上部安装有辅助罩,辅助罩上部开设有取放口,辅助罩上滑动设置有能将取放口封闭住的盖板,清洗箱上部还水平转动设置有切换轴,切换轴端部与一能使其转动的驱动组件相连,切换轴和转动框中部相固连,且切换轴与转动框两者形成中字形结构,转动框端部转动连接有定位筒,且定位筒呈水平布置,定位筒上滑动连接有两个调整块,调整块上螺纹连接有锁定螺栓,调整块上还具有连接环,连接环和D型扣可拆卸相连,D型扣安装在清洗网篮的提手上。
- 一种超声波酒精清洗装置
- [实用新型]一种用于晶圆的贴膜设备-CN202221703313.X有效
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刘烽;郁曹佳;殷秋鹤;刘兆山;郭云静
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嘉兴联康沃源科技股份有限公司
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2022-06-30
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2022-11-18
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H01L21/67
- 本实用新型提供了一种用于晶圆的贴膜设备,属于机械技术领域。本用于晶圆的贴膜设备,包括带有支撑脚的壳体,壳体一端安装有支架,支架上可拆卸转动连接有膜材放卷轴,支架上还具有膜材辅助定位条,壳体一侧固定有安装条一,安装条一上固定有导轨一,导轨一上滑动连接有滑块一,滑块一和呈U型的牵引架相连,牵引架端部均固定有手指气缸,手指气缸的手指端部具有用于夹紧膜材的夹块,安装条一上还固定有齿条一,滑块一上安装有伺服电机一,伺服电机一的输出轴端部和齿轮一相连,壳体顶部固定有安装条二,安装条二上固定有导轨二,导轨二上滑动连接有滑块二,滑块二上固定有定位条,定位条上固定有气缸一,气缸一的活塞杆端部和升降叉相连。
- 一种用于设备
- [实用新型]一种红外传感器-CN202221823634.3有效
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刘烽;郭云静;杨琦;刘兆山;殷秋鹤;郁曹佳
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嘉兴联康沃源科技股份有限公司
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2022-07-14
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2022-11-15
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G01D11/00
- 本实用新型涉及红外设备领域,且公开了一种红外传感器,包括红外传感器本体,以及固定连接在红外传感器本体左侧外表面的矩形散热件、固定连接在红外传感器本体后端外表面的红外发射头,红外传感器本体的前端内表面活动连接有固定接线口,固定接线口的后端内表面固定连接有螺纹卡接件,螺纹卡接件的内壁螺纹连接有螺纹转动件,螺纹转动件的外壁固定连接有圆形挡块,固定接线口的后端外表面固定连接有连接线。本实用新型所述的一种红外传感器,区别于传统的红外传感器,该红外传感器安装在狭小空间中不方便进行接线时,可以对接线口的位置进行调整,将其调整至人工方便操作的位置,进行接线工作,提升了该红外传感器的实用性。
- 一种红外传感器
- [实用新型]一种晶圆生产用解UV机-CN202221819899.6有效
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陆金发;杨琦;郁曹佳;刘烽;殷秋鹤
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嘉兴联康沃源科技股份有限公司
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2022-07-13
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2022-11-08
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H01L21/677
- 本实用新型提供了一种晶圆生产用解UV机,包括底座,底座上安装有解UV机本体,解UV机本体上带有可自动移动的运输平台,底座上安装有两个立柱,两个立柱之间安装有横梁,横梁上设置有至少一组取放机构,取放机构包括导轨、往复座、推杆电机、齿轮、齿条和伺服电机一,导轨水平固定在横梁上,往复座滑动连接在导轨上,推杆电机安装在往复座上,推杆电机的推杆端部和X型杆中部相连,X型杆端部均设置有吸盘,齿条水平固定在横梁上,伺服电机一安装在往复座上,齿轮固定在伺服电机一的输出轴端部,且齿轮与齿条相啮合,立柱上均还固定有底板,底板上固定有伺服电机二,伺服电机二的输出轴端部和切换杆中部相连,切换杆端部和放置台相连。
- 一种生产uv
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