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[发明专利]一种基于干法清洗工艺制备铜衬底的方法-CN201510934979.4有效
发明人：张燕辉;于广辉;葛晓明;张浩然;陈志蓥;隋妍萍;邓荣轩 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2015-12-15 - 公布日： 2019-04-30 - 主分类号： C23C16/02 文献下载
摘要：本发明提供一种基于干法清洗工艺制备铜衬底的方法，包括步骤：步骤1），提供制备石墨烯用的铜衬底；步骤2），将所述铜衬底置于有氧环境中处理，使所述铜衬底表面氧化，形成氧化层；以及步骤3），去所述铜除衬底表面的氧化层，得到清洁的铜衬底表面。本发明通过氧化石墨烯生长用铜衬底，使得衬底表面层氧化并从衬底脱落，获得适宜高质量石墨烯制备的清洁铜表面，该方法获得的铜衬底可明显降低成核密度，减少石墨烯中的缺陷。本发明的方法重复性高、简单易行，并且可控性强，适合工业化应用的批量化处理。
铜衬制备石墨烯干法清洗工艺氧化层衬底表面层工业化应用清洁铜表面氧化石墨烯表面氧化衬底表面可控性批量化氧环境衬底成核清洁生长

[发明专利]一种干法转移金属衬底上石墨烯的方法-CN201510933644.0有效
发明人：张燕辉;于广辉;葛晓明;张浩然;陈志蓥;隋妍萍;邓荣轩 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2015-12-15 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： C01B32/184 文献下载
摘要：本发明提供一种干法转移金属衬底上石墨烯的方法，包括：1）将长有石墨烯的金属衬底置于目标衬底上，并将所述石墨烯面朝目标衬底；2）将放置好的长有石墨烯的金属衬底和目标衬底放入反应器中，在保护气氛下，升温至金属衬底熔化温度或以上，使所述金属衬底熔化收缩成金属小球，所述石墨烯附着于目标衬底上，保温预设时间后在保护气氛下降至室温，以将所述石墨烯转移至目标衬底上。本发明的方法重复性高、简单易行，用于微电子和光电子领域用高质量石墨烯的规模批量转移；本发明转移过程属于物理过程且无需其他液态或者固态试剂辅助，转移过程不会引入其他杂质，可有效避免非故意掺杂，降低了转移过程对石墨烯电学性能的影响。
石墨烯金属衬衬底熔化干法转移光电子领域电学性能固态试剂金属小球物理过程反应器放入附着预设微电子保温收缩掺杂引入

[实用新型]一种石墨烯玻璃-CN201621370004.X有效
发明人：张燕辉;于广辉;陈志蓥;隋妍萍;葛晓明;邓荣轩;梁逸俭;胡诗珂 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2016-12-14 - 公布日： 2017-07-11 - 主分类号： B32B17/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种石墨烯玻璃，所述石墨烯玻璃包括第一玻璃；石墨烯薄膜，形成于所述第一玻璃表面；第二玻璃，覆盖于所述石墨烯薄膜上，使得所述石墨烯薄膜夹在所述第一玻璃及第二玻璃之间，所述石墨烯薄膜的尺寸小于所述第一玻璃及第二玻璃的尺寸；其中，所述第一玻璃及第二玻璃没被石墨烯薄膜隔开的部分粘连，将石墨烯薄膜完全密封于粘连的玻璃之间。本实用新型的石墨烯玻璃具备防辐射和加热功能，可以用于玻璃防辐射、除霜、除雾、供暖等。本实用新型制备的石墨烯玻璃由于石墨烯被玻璃密封，石墨烯的稳定性会得到提升，使用寿命也会明显延长。
一种石墨玻璃