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- [发明专利]一种非接触式测量装置及磨削设备-CN202310039573.4在审
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万先进;梁志远;边逸军
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宁波芯丰精密科技有限公司
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2023-01-13
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2023-04-25
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B24B49/02
- 本发明涉及半导体技术领域，具体公开了一种非接触式测量装置及磨削设备。该非接触式测量装置包括支撑件、旋转机构和光学探头；旋转机构包括驱动电机、连接件、旋转轴、底板和摆臂，连接件和底板均设于支撑件上，驱动电机设于连接件上，且驱动电机的驱动端连接旋转轴；旋转轴远离驱动电机的一端沿竖直方向向下穿过底板后连接摆臂的一端，且摆臂沿水平方向延伸设置，同时光学探头设于摆臂的另一端；底板上还设置有气管接头，气体能够通过气管接头进入底板与旋转轴之间的缝隙。本发明中气体能够将废液从缝隙内吹出，以此避免废液堵塞非接触式测量装置的旋转机构后，对旋转机构的动作精度造成影响，进一步地避免旋转机构产生故障损坏。
- 一种接触测量装置磨削设备
- [发明专利]夹持装置及工件夹持方法-CN202310229416.X在审
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万先进;谢亚楠;张怀东;边逸军
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宁波芯丰精密科技有限公司
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2023-03-10
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2023-04-25
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H01L21/687
- 本发明属于半导体加工技术领域，公开了一种夹持装置及工件夹持方法。该夹持装置包括底板以及安装在底板上的至少三个夹持单元，夹持单元包括轴向限位组件、径向限位组件以及驱动件，轴向限位组件包括第一安装座和设置在第一安装座上的承托件，第一安装座滑动设置在底板上；径向限位组件包括第二安装座和设置在第二安装座上的径向夹持件；在夹持位置，承托件与工件的底面贴靠，径向夹持件在拉伸弹簧的弹力作用下贴靠在工件的侧面；在释放位置，承托件脱离工件，工件贴靠径向夹持件下滑；驱动件固定设置底板上，驱动件能够驱动轴向限位组件在夹持位置和释放位置之间移动。该夹持装置能够降低工件破损的风险，并能够提高工件放置时的准确性。
- 夹持装置工件方法
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