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[发明专利]用于增加来自安瓿的通量的设备-CN202210670164.X在审
发明人：凯尼克·崔;袁晓雄;姚大平;张镁 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-03-02 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：描述了用于半导体制造前驱物的安瓿和使用方法。安瓿包括具有入口端口和出口端口的容器。入口端口在容器内的端部具有喷头。喷头具有至少两个成角度的喷嘴，以引导空腔内的气流，使得气流不垂直于安瓿内的液体的表面。
用于增加来自安瓿通量设备

[发明专利]可旋转加热静电夹盘-CN201811152060.X有效
发明人：阿纳塔·K·苏比玛尼;阿希什·戈埃尔;伟·W·王;比哈瑞斯·斯里尼瓦桑;维贾伊·D·帕克赫;袁晓雄 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-12-08 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种静电夹盘包括：介电盘，具有支撑基板的支撑表面以及相对的第二表面，其中至少一个夹持电极设置于所述介电盘内；射频(RF)偏压板，设置在所述介电盘下方；多个灯，设置在所述射频偏压板下方以加热所述介电盘；金属板，设置在这些灯下方以吸收由这些灯产生的热；轴杆，在所述轴杆的第一端耦接至所述介电盘的所述第二表面以支撑所述介电盘而使所述介电盘与所述射频偏压板呈间隔开的关系，且所述轴杆延伸离开所述介电盘且延伸穿过所述射频偏压板和所述金属板；以及旋转组件，耦接至所述轴杆以使所述轴杆和所述介电盘相对于所述射频偏压板、灯、以及金属板旋转。
旋转加热静电

[发明专利]一种球型四通-CN201911111952.X在审
发明人：彭家立;卓海森;吴伟;徐洪涛;王建国;沈宗荣;陈永忠;王萍;袁晓雄;肖建仁;杨合建;邢晓永;卢茂林;朱尹;郭亮良;钟良;刘俊;李宝;罗忠成;高海丰;赵国峰 -专利权人：中海油（福建）应急维修有限责任公司
申请日： 2019-11-14 - 公布日： 2020-05-26 - 主分类号： F16L41/03 文献下载
摘要：本发明提供了一种球型四通，包括：球形壳体、塞柄、开孔法兰；所述球形壳体的上端设有第一开孔用于安装第一连接管，所述第一连接管的直径等于或小于管道直径，第一连接管与开孔法兰焊接连接；所述球形壳体的两侧护板与管道焊接；所述球形壳体的侧面还设有第二开孔用于安装第二连接管，所述第二连接管的直径小于管道开孔直径，所述第二连接管与支管焊接连接；所述塞柄置于开孔法兰内，并且塞柄的下端设置通气档条，管道中的介质通过通气档条的间隙进入支管。上述的球型四通，可以扩展现有施工方法，提供一种不停输开孔连接支线管道的技术。
一种四通

[发明专利]具有加热的喷头组件的基板处理腔室-CN201880058133.0在审
发明人：法鲁克·冈果尔;吴典晔;乔尔·M·休斯顿;张镁;袁晓雄;大东和也;阿夫耶里诺斯·V·杰拉托斯;仓富敬;张铀;曹斌 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-08-21 - 公布日： 2020-05-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本文提供了用于处理基板的设备。在一些实施方式中，喷头组件包括：气体分配板，气体分配板具有多个孔；保持器，保持器具有壁、径向向内延伸的凸缘、和径向向外延伸的凸缘，所述径向向内延伸的凸缘从壁的下部延伸且耦接至气体分配板，所述径向向外延伸的凸缘从壁的上部延伸，其中壁具有在约0.015英寸与约0.2英寸之间的厚度；和加热设备，所述加热设备设置在气体分配板上方并且与气体分配板间隔开，其中加热设备包括加热器，加热器配置以加热气体分配板。
具有加热喷头组件处理

[发明专利]用于增加来自安瓿的通量的设备-CN201880020038.1在审
发明人：凯尼克·崔;袁晓雄;姚大平;张镁 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-03-02 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：描述了用于半导体制造前驱物的安瓿和使用方法。安瓿包括具有入口端口和出口端口的容器。入口端口在容器内的端部具有喷头。喷头具有至少两个成角度的喷嘴，以引导空腔内的气流，使得气流不垂直于安瓿内的液体的表面。
安瓿喷头入口端口半导体制造出口端口喷嘴不垂直前驱物空腔

[发明专利]去除气体管线内的沉积后残余的前驱物的设备和方法-CN201780027090.5在审
发明人：姚大平;肯里克·乔伊;袁晓雄;吕疆;许灿;伯·F·马;张镁 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-03-28 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：描述一种用于向处理腔室供应气体的设备和方法。设备包括入口管线和出口管线，它们各自有两个阀，与安瓿流体连通。旁通管线连接最靠近安瓿的入口阀和出口阀。设备和使用方法允许从处理腔室的输送管线中去除前驱物残余物。
处理腔室前驱物安瓿去除出口管线方法描述供应气体流体连通旁通管线气体管线入口管线输送管线残余的残余物出口阀入口阀沉积

[发明专利]具有更均匀的边缘净化的基板支撑件-CN201811100997.2在审
发明人：贾勒帕里·拉维;松下智治;阿拉维德·米亚尔·卡马斯;袁晓雄;振雄·马修·蔡;曼朱纳塔·科普帕 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-06-05 - 公布日： 2019-02-26 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本文提供基板支撑件的实施方式。在一些实施方式中，基板支撑件包含：第一板，用以支撑基板，第一板的背侧上具有多个净化气体通道；第二板，设置于第一板下方并支撑第一板；及边缘环，环绕第一板并设置于第二板上方，其中多个净化气体通道从第一板的中央部分中的单一入口延伸至第一板的边缘处的多个出口，且其中多个气体净化通道具有实质相等的流导。
第一板基板支撑件净化气体通道单一入口气体净化支撑基板边缘处边缘环流导相等环绕净化延伸支撑出口

[发明专利]可旋转加热静电夹盘-CN201480067593.1有效
发明人：阿纳塔·K·苏比玛尼;阿希什·戈埃尔;伟·W·王;比哈瑞斯·斯里尼瓦桑;维贾伊·D·帕克赫;袁晓雄 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-12-08 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种静电夹盘包括：介电盘，具有支撑基板的支撑表面以及相对的第二表面，其中至少一个夹持电极设置于所述介电盘内；射频(RF)偏压板，设置在所述介电盘下方；多个灯，设置在所述射频偏压板下方以加热所述介电盘；金属板，设置在这些灯下方以吸收由这些灯产生的热；轴杆，在所述轴杆的第一端耦接至所述介电盘的所述第二表面以支撑所述介电盘而使所述介电盘与所述射频偏压板呈间隔开的关系，且所述轴杆延伸离开所述介电盘且延伸穿过所述射频偏压板和所述金属板；以及旋转组件，耦接至所述轴杆以使所述轴杆和所述介电盘相对于所述射频偏压板、灯、以及金属板旋转。
旋转加热静电

[发明专利]一种开孔设备主轴与连箱的同轴度校准装置及校准方法-CN201710640417.8在审
发明人：王建国;彭家立;徐洪涛;陈永忠;卓海森;杜怀林;黄银辉;袁晓雄;汪波;钟良 -专利权人：福建中海油应急抢维修有限责任公司
申请日： 2017-07-31 - 公布日： 2018-08-28 - 主分类号： G01B5/252 文献下载
摘要：本发明公开了一种开孔设备主轴与连箱的同轴度校准装置及校准方法，所述连箱密封锁接于开孔设备和油气管道之间；所述连箱套装于所述开孔设备的主轴，并使所述圆筒部和所述主轴同轴设置；该同轴度矫正装置具有套筒件和校准量杆，所述校准量杆沿所述套筒件的径向设置于所述套筒件的表面，所述校准量杆的端部具有可与所述连箱内侧壁相抵匹配的连接端；所述校准量杆的表面设有可读数的刻度。本发明提供了一种适用于开孔设备主轴与连箱的同轴度校准装置及校准方法，节省操作人员手持测量的工作量，精确测量数据，降低泄漏的安全风险，且使用方便、易于推广。
校准连箱开孔设备同轴度量杆校准装置套筒件测量数据矫正装置径向设置手持测量同轴设置油气管道连接端密封锁内侧壁圆筒部匹配工作量泄漏相抵安全

[实用新型]一种具有多个检测通道的声功率测试仪-CN201721352793.9有效
发明人： 袁晓雄 -专利权人：嘉兴恒升电子有限责任公司
申请日： 2017-10-19 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： G01H17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有多个检测通道的声功率测试仪，包括至少五个噪声传感器、与噪声传感器连接的前置放大器以及检测系统，检测系统包括，第一信号输送电路，耦接于前置放大器，用于输送检测信号；模拟开关，耦接于信号输送电路，用于选择接通任一第一信号输送电路；控制芯片，用于向模拟开关发送控制信号，以控制模拟开关选择接通的第一信号输送电路；第二信号输送电路，耦接于模拟开关的输出端，用于将检测信号输送至信号处理电路；信号处理电路，用于对检测信号进行处理；电源装置，用于为检测系统提供工作电压。本实用新型的一种具有多个检测通道的声功率测试仪，无需检测人员跑动进行检测，减轻了检测人员的工作量。
一种具有检测通道功率测试仪

[实用新型]噪音检测架-CN201721353153.X有效
发明人： 袁晓雄 -专利权人：嘉兴恒升电子有限责任公司
申请日： 2017-10-19 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： G01H17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种噪音检测架，旨在解决噪音检测过程过于费时费力的问题。其技术方案要点是：一种噪音检测架，包括设置于噪音检测室天花板的固定座、与固定座转动连接的连接柱以及与连接柱套接的支架，所述支架底端设置有内弧面朝向下的弧形安装条，所述弧形安装条设置有两个用于固定电容麦克风的夹持部，其一所述夹持部位于连接柱正下方，两个所述夹持部的垂直距离等于弧形安装条的半径。本实用新型的一种噪音检测架，通过将两个电容麦克风固定在一个弧形条上，在这个弧形条转动的过程中划出一个半圆轨迹，从而完成对被检测物五个点位噪声的采样，以解决噪音检测费时费力的问题。
噪音检测

[实用新型]个人声暴露计-CN201721353394.4有效
发明人： 袁晓雄 -专利权人：嘉兴恒升电子有限责任公司
申请日： 2017-10-19 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： G01H17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种个人声暴露计，旨在解决仪器需要工作人员手持，导致双手利用率低，且在仪器脱离人手后容易被遗忘的问题，其技术方案要点是：一种个人声暴露计，包括壳体，所述壳体内设置有用于处理数据的主板，所述壳体上设置有电连接至主板的声信号接口，所述声信号接口内设置有传声组件，所述传声组件包括连接于声信号接口的传声线、设置在连接件上的传声线以及设置在传声线远离声信号接口一端的传声器所述传声组件上设置有固定夹。本实用新型的个人声暴露计可以将解放工作人员的双手，且可以避免工作人员将仪器遗忘。
人声暴露

[实用新型]一种具有自动修正功能的声校准器-CN201721352778.4有效
发明人： 袁晓雄 -专利权人：嘉兴恒升电子有限责任公司
申请日： 2017-10-19 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： H04R29/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有自动修正功能的声校准器，包括信号发生器、与信号发生器输出端连接的程控放大器、与程控放大器输出端连接的功率放大器以及与功率放大器输出端连接的扬声器，所述程控放大器的输入端连接有控制器，所述控制器的输入端连接有温度检测装置，用于发出温度检测信号，所述控制器接收温度检测信号，以向程控放大器发送控制信号，所述程控放大器根据控制信号修正放大的倍率。本实用新型的一种具有自动修正功能的声校准器，以使得在不同环境下扬声器发出的声压级与设定的声压级相符，从而实现对声级计的精确校准。
一种具有自动修正功能校准

[实用新型]用于传声器的延伸杆-CN201721354506.8有效
发明人： 袁晓雄 -专利权人：嘉兴恒升电子有限责任公司
申请日： 2017-10-19 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： F16M11/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于传声器的延伸杆，旨在解决在需要检测不同高度的噪音时，需要检测人员握紧传声器举高手臂，存在浪费劳力的问题，技术方案要点是：一种用于传声器的延伸杆，包括中心套、与中心套滑移套接的升降杆以及设置于升降杆顶端用于夹持传声器的夹具；中心套转动连接有推进件，推进件开设有与中心套共轴线的螺纹孔，升降杆圆周面开设有与螺纹孔螺纹配合的外螺纹，升降杆开设有限制槽，中心套设置有与限制槽滑移配合的限制块；中心套圆周面设置有斜撑支杆。本实用新型的一种用于传声器的延伸杆，通过设置一个能够支撑于地面上，并且能够带动传送器升降的延伸杆，从而解决因检测人员需要举高手臂，而存在浪费劳力的问题。
用于传声器延伸

[实用新型]一种静电激励器-CN201721354433.2有效
发明人： 袁晓雄 -专利权人：嘉兴恒升电子有限责任公司
申请日： 2017-10-19 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： G01H11/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种静电激励器，包括，外接交流电接口，用于接入低压交流电；电压跟随器，其输入端耦接于外接交流电接口，用于提高放大电路的输入阻抗；放大电路，其输入端耦接于电压跟随器的输出端，其输出端耦接有并联的第一交流电输出接口和第二交流电输出接口，所述第一交流电输出接口与第一直流电耦接，所述第二交流电输出接口与第二直流电耦接；电源电路，其输入端耦接于220V交流电源，其输出端输出第一直流电、第二直流电、第三直流电和第四直流电。本实用新型的一种静电激励器，以最大程度的避免声音传感器在检测时受到的环境干扰。
一种静电激励

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