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[发明专利]锂复合材料、锂复合靶材及其制备方法与应用-CN202010237314.9有效
发明人：张艳芳;谭志;虞文韬 -专利权人：维达力实业（深圳）有限公司
申请日： 2020-03-30 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： C22C24/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种锂复合材料、锂复合靶材及其制备方法与应用，该锂复合材料的制备方法在真空条件下，将氮气与氧气通入熔融锂中，得到熔融反应液，将熔融反应液冷却后得到锂复合材料；其中，通入一定量的氮气与氧气与熔融锂充分接触后反应，能生成具有LiO‑LiON‑LiN的叠层晶体结构的含锂复合物，该含锂复合物应用于制备锂离子电池时，能有效抑制锂离子电池充放电过程中枝晶的生长，从而提高锂离子电池的循环使用性能与安全性。
复合材料复合及其制备方法应用

[实用新型]折返式补锂设备-CN202020432869.4有效
发明人：谭志;张艳芳;虞文韬 -专利权人：维达力实业（深圳）有限公司
申请日： 2020-03-30 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种折返式补锂设备，包括补锂腔室及设于其内的放卷装置、收卷装置、导向轮组、至少两个靶材安装机构组及基片加热机构；导向轮组包括第一、第二导向轮，第一导向轮用于导向且使基片上第一侧表面的第一区域和第二区域相对设置，第二导向轮用于导向且使基片上第二侧表面的第三区域和第四区域相对设置；各组内的靶材安装机构的数量均为多个且沿基片的传输方向设置；其中有两个靶材安装机构组分别设于基片的第一区域和第二区域之间的位置、第三区域和第四区域之间的位置；基片加热机构包括加热安装机构及设于其上的加热片，加热安装机构设于各组内的相邻两个靶材安装机构之间，加热片用于对基片加热。
折返式补锂设备

[实用新型]直线型补锂设备-CN202020434374.5有效
发明人：谭志;张艳芳;虞文韬 -专利权人：维达力实业（深圳）有限公司
申请日： 2020-03-30 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种直线型补锂设备，包括补锂腔室及设于其内的放卷装置、收卷装置、至少两个靶材安装机构组及基片加热机构；放卷装置、收卷装置用于对待补锂的基片放卷、收卷；至少两个靶材安装机构组用于安装补锂的靶材且设于放卷装置与收卷装置之间，至少两个靶材安装机构组分别用于与放卷装置与收卷装置之间的基片的两个侧表面对应设置；各组内的靶材安装机构的数量均为多个，且同一组内的多个靶材安装机构在自放卷装置至收卷装置的方向上依次呈直线分布；基片加热机构包括加热安装机构及设于加热安装机构上的加热片，加热安装机构设于各组内的相邻两个靶材安装机构之间，加热片用于对放卷装置与收卷装置之间的基片加热。
线型设备

[实用新型]多基片补锂设备-CN202020723739.6有效
发明人： 虞文韬;张艳芳;谭志 -专利权人：维达力实业（深圳）有限公司
申请日： 2020-05-06 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： H01M4/1395 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种多基片补锂设备，包括补锂腔室和设于所述补锂腔室内的多基片放卷装置、多基片收卷装置、多基片引带装置、靶材安装机构组及遮蔽装置。上述多基片补锂设备在使用时，只需将多卷基片安装于多基片放卷装置上，将多卷基片的一端固定于引带轴，然后通过引带驱动件驱动引带轴从多基片放卷装置运动至多基片收卷装置处，再将多卷基片的一端固定于多基片收卷装置上，便可完成多卷基片同时补锂的准备工作。如此，有利于快速高效地实施多卷基片的同时补锂，提高了补锂的效率。
多基片补锂设备

[发明专利]含硅负极材料的折返式补锂方法及负极片、电池-CN202010237328.0在审
发明人：谭志;张艳芳;虞文韬 -专利权人：维达力实业（深圳）有限公司
申请日： 2020-03-30 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明涉及一种含硅负极材料的折返式补锂方法及负极片、电池，该方法包括如下步骤：将含硅负极材料形成于集流体上制得基片；将基片进行预加热，并将基片在真空条件的氛围下采用真空溅射的方式进行补锂；其中预加热的温度高于氛围的温度且低于补锂的靶材的熔点，氛围的温度为30℃～130℃；在真空溅射的步骤中，基片上第一侧表面的第一、第二区域相对设置，基片上第二侧表面的第三、第四区域相对设置；补锂的靶材的数量为多个且为双向溅射靶材，其中有部分靶材同时对基片的第一区域和第二区域进行补锂，还有部分靶材同时对基片的第三区域和第四区域进行补锂；补锂的靶材的材质为金属锂、锂硅合金、锂硼合金、锂硫合金、氧化锂、氮化锂或碳化锂中的一种。
负极材料折返式补锂方法电池

[发明专利]含硅负极材料的补锂方法及负极片、电池-CN202010238490.4在审
发明人：张艳芳;谭志;虞文韬 -专利权人：维达力实业（深圳）有限公司
申请日： 2020-03-30 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： H01M4/1391 文献下载
摘要：本发明涉及一种含硅负极材料的补锂方法及负极片、电池，该方法包括如下步骤：将含硅负极材料形成于集流体上，制得基片；将所述基片进行预加热，并将所述基片在真空条件的氛围下采用真空溅射的方式进行补锂；其中所述预加热的温度高于所述氛围的温度且低于所述补锂的靶材的熔点。上述含硅负极材料的补锂方法，通过对补锂腔室的氛围加热并控制温度不会超过靶材的熔点，避免靶材熔化导致靶材失效；通过对基片进行预加热以使靶材上的材料镀到基片上处于微熔状态，如此可以加速靶源粒子在薄膜表面的扩散，从而提高薄膜的均匀性和致密性。
负极材料方法电池

[发明专利]遮蔽装置及补锂设备-CN202010237337.X在审
发明人： 虞文韬;谭志;张艳芳 -专利权人：维达力实业（深圳）有限公司
申请日： 2020-03-30 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种遮蔽装置及补锂设备，遮蔽装置包括驱动组件和环形遮蔽片，环形遮蔽片包括遮蔽片主体和遮蔽部，遮蔽片主体设有补锂开口，遮蔽部位于补锂开口内；环形遮蔽片与驱动组件连接，驱动组件用于驱动环形遮蔽片运动，以使遮蔽部在靶材安装机构与基片之间的区域与基片同步运动，且遮蔽部的正投影至少部分位于基片上，以用于在补锂时使基片上形成电极区和留白区。该遮蔽装置在使用时，环形遮蔽片可与基片的收放卷装置同步运转，使遮蔽部在靶材安装机构与基片之间的区域与基片同步运动，遮蔽部与基片相对静止，从而在补锂区间内持续对基片上的特定区域进行遮蔽，确保基片的电极区可以有效进行溅射，而防止被遮蔽的区域镀膜，从而形成留白区。
遮蔽装置设备

[外观设计]隧道式镀膜机-CN201930723158.5有效
发明人：李可峰;许仁;符东浩;虞文韬;王伟 -专利权人：维达力实业（深圳）有限公司
申请日： 2019-12-24 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：隧道式镀膜机。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于真空镀膜。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
隧道镀膜

[发明专利]压差式热弯成型系统及热弯成型方法-CN201711387110.8在审
发明人：陈少扬;虞文韬;许仁;王伟;尹振武;吴畅 -专利权人：维达力实业（深圳）有限公司;万津科技有限公司
申请日： 2017-12-20 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： C03B23/035 文献下载
摘要：本发明公开了一种压差式热弯成型系统及热弯成型方法，其通过使用压差式热弯成型原理，只需要在待加工件的下方设置成型用的模具，通过在待加工件的两侧形成气压差即可使待加工件弯曲变形，达到仿形效果，而待加工件的上方无需使用模具，因而可以降低模具的使用成本，还可以减少待加工件与其他固体表面的接触，减少成型过程中对待加工件表面的损伤，并且还可以避免传统的上模具‑待加工件‑下模具的压制形式造成的对模具损伤的问题，延长模具的使用寿命，进一步降低模具的使用成本。因而，上述压差式热弯成型系统及热弯成型方法可以降低生产成本，并且可以提高产品的质量，可不限于用于2D玻璃向3D玻璃的热弯成型，具有广泛的应用价值。
热弯成型待加工件模具压差式加工件表面成型过程固体表面模具损伤使用寿命弯曲变形传统的气压差上模具下模具仿形成型压制损伤玻璃应用

[实用新型]隧道式溅射镀膜机-CN201820084617.X有效
发明人：李可峰;许仁;符东浩;虞文韬;王伟 -专利权人：维达力实业（深圳）有限公司;万津科技有限公司
申请日： 2018-01-18 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种隧道式溅射镀膜机。该隧道式溅射镀膜机包括镀膜筒、射频离子源、镀膜挂架以及挂架驱动部件，镀膜筒包括内筒以及外筒，内筒以及外筒之间具有间隔且该间隔形成镀膜腔，内筒的两端以及外筒的两端对应封闭连接使得镀膜腔呈封闭状，外筒的朝向镀膜腔的内壁上或者内筒朝向镀膜腔的内壁上设有多个镀膜靶槽，射频离子源连接在外筒的朝向镀膜腔的内壁上或者内筒朝向镀膜腔的内壁上，镀膜挂架呈环状，镀膜挂架位于镀膜腔内且镀膜挂架套设于内筒，镀膜挂架上连接有多个挂杆，多个挂杆平行且呈环状排列，挂架驱动部件连接于镀膜挂架以用于驱动镀膜挂架转动。该隧道式溅射镀膜机能够有效提升产能以及效率。
镀膜挂架镀膜腔内筒外筒溅射镀膜机隧道式内壁射频离子源驱动部件挂杆本实用新型封闭连接环状排列封闭状靶槽产能转动平行驱动

[实用新型]压差式热弯成型系统-CN201721798433.1有效
发明人：陈少扬;虞文韬;许仁;王伟;尹振武;吴畅 -专利权人：维达力实业（深圳）有限公司;万津科技有限公司
申请日： 2017-12-20 - 公布日： 2018-10-26 - 主分类号： C03B23/035 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种压差式热弯成型系统，其通过使用压差式热弯成型原理，只需要在待加工件的下方设置成型用的模具，通过在待加工件的两侧形成气压差即可使待加工件弯曲变形，达到仿形效果，而待加工件的上方无需使用模具，因而可以降低模具的使用成本，还可以减少待加工件与其他固体表面的接触，减少成型过程中对待加工件表面的损伤，并且还可以避免传统的上模具‑待加工件‑下模具的压制形式造成的对模具损伤的问题，延长模具的使用寿命，进一步降低模具的使用成本。因而，上述压差式热弯成型系统可以降低生产成本，并且可以提高产品的质量，可不限于用于2D玻璃向3D玻璃的热弯成型，具有广泛的应用价值。
待加工件热弯成型模具压差式本实用新型加工件表面成型过程固体表面模具损伤使用寿命弯曲变形传统的气压差上模具下模具仿形成型压制损伤玻璃应用

[发明专利]隧道式溅射镀膜机-CN201810050212.9在审
发明人：李可峰;许仁;符东浩;虞文韬;王伟 -专利权人：维达力实业（深圳）有限公司;万津科技有限公司
申请日： 2018-01-18 - 公布日： 2018-08-21 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种隧道式溅射镀膜机。该隧道式溅射镀膜机包括镀膜筒、射频离子源、镀膜挂架以及挂架驱动部件，镀膜筒包括内筒以及外筒，内筒以及外筒之间具有间隔且该间隔形成镀膜腔，内筒的两端以及外筒的两端对应封闭连接使得镀膜腔呈封闭状，外筒的朝向镀膜腔的内壁上或者内筒朝向镀膜腔的内壁上设有多个镀膜靶槽，射频离子源连接在外筒的朝向镀膜腔的内壁上或者内筒朝向镀膜腔的内壁上，镀膜挂架呈环状，镀膜挂架位于镀膜腔内且镀膜挂架套设于内筒，镀膜挂架上连接有多个挂杆，多个挂杆平行且呈环状排列，挂架驱动部件连接于镀膜挂架以用于驱动镀膜挂架转动。该隧道式溅射镀膜机能够有效提升产能以及效率。
镀膜挂架镀膜腔内筒外筒溅射镀膜机隧道式内壁射频离子源驱动部件挂杆封闭连接环状排列封闭状靶槽产能转动平行驱动

[发明专利]可变速比隧道式溅射镀膜机-CN201810048979.8在审
发明人：李可峰;许仁;符东浩;虞文韬;王伟 -专利权人：维达力实业（深圳）有限公司;万津科技有限公司
申请日： 2018-01-18 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种可变速比隧道式溅射镀膜机。该可变速比隧道式溅射镀膜机包括镀膜筒、射频离子源、镀膜挂架以及挂架驱动部件，镀膜筒包括内筒以及外筒，内筒以及外筒之间具有间隔且该间隔形成镀膜腔，内筒的两端以及外筒的两端对应封闭连接使得镀膜腔呈封闭状，外筒的朝向镀膜腔的内壁上或者内筒朝向镀膜腔的内壁上设有多个镀膜靶槽，射频离子源连接在外筒的朝向镀膜腔的内壁上或者内筒朝向镀膜腔的内壁上，镀膜挂架呈环状，镀膜挂架位于镀膜腔内且镀膜挂架套设于内筒，镀膜挂架上连接有多个挂杆，多个挂杆平行且呈环状排列，挂架驱动部件连接于镀膜挂架以用于驱动镀膜挂架转动。该可变速比隧道式溅射镀膜机能够有效提升产能以及效率。
镀膜挂架镀膜腔内筒外筒溅射镀膜机可变速比隧道式内壁射频离子源驱动部件挂杆封闭连接环状排列封闭状靶槽产能转动平行驱动

[发明专利]磁控电极装置及包含磁控电极装置的等离子处理系统-CN201210199908.0有效
发明人： 虞文韬;张艳芳;薛涛;刘阳 -专利权人：永恒科技有限公司
申请日： 2012-06-14 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及一种磁控电极装置及包含磁控电极装置的等离子处理系统。所述磁控电极装置包含：第一电极组件；第一磁性体组，具有复数个第一磁性体；第二电极组件；以及第二磁性体组，具有复数个第二磁性体；其中，所述第一磁性体组中相邻的所述第一磁性体的磁极性彼此相异，所述第二磁性体组中相邻的所述第二磁性体的磁极性彼此相异，且所述第一磁性体组中所述第一磁性体的磁极性与相邻之所述第二磁性体组中所述第二磁性体的磁极性彼此相异。本发明可大幅提升等离子密度，以达到高沉积速率同时改善沉积制程的可控制性与稳定性。
电极装置包含等离子处理系统

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