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- [发明专利]基板处理方法以及基板处理装置-CN201810587698.X有效
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藤井达也
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株式会社思可林集团
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2014-08-20
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2022-12-16
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H01L21/02
- 本发明的基板处理方法包括：基板旋转步骤，使基板围绕规定的铅垂轴线以第一旋转速度旋转；液密状态形成步骤，与所述基板旋转步骤并行执行，一边使第一相向面隔开规定的第一间隔与正在旋转的所述基板的下表面相向，一边从与所述基板的下表面相向的下表面喷嘴的处理液喷出口喷出处理液，利用处理液使所述基板的下表面与所述第一相向面之间的空间形成液密状态；液密状态解除步骤，在所述液密状态形成步骤后，通过使所述基板的下表面与所述第一相向面彼此远离，来解除所述基板的下表面与所述第一相向面之间的空间的液密状态。
- 处理方法以及装置
- [发明专利]3,7-二甲基-7-辛烯醇和3,7-二甲基-7-辛烯基羧酸酯化合物的生产方法-CN201811600494.1有效
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金生刚;藤井达也
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信越化学工业株式会社
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2018-12-26
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2022-06-21
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C07C29/40
- 提供用于选择性地且高效地生产3,7‑二甲基‑7‑辛烯醇及其羧酸酯的方法。更具体地提供一种用于生产3,7‑二甲基‑7‑辛烯醇的方法，包括以下步骤：使3‑甲基‑3‑丁烯基亲核试剂(2)和1,3‑二卤代‑2‑甲基丙烷化合物(3)进行偶联反应，得到2,6‑二甲基‑6‑庚烯基卤化合物(4)；将所述化合物(4)转化为2,6‑二甲基‑6‑庚烯基亲核试剂(5)；和使所述亲核试剂(5)与选自由甲醛、多聚甲醛和1,3,5‑三噁烷组成的组中的至少一种亲电试剂进行加成反应，然后进行水解反应，得到3,7‑二甲基‑7‑辛烯醇(6)，具体结构式如下。
- 甲基辛烯醇和羧酸酯化生产方法
- [发明专利]在光纤的拉丝装置中使用的冷却装置-CN201811533467.7有效
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田贺悠记;藤井达也;吉村文雄
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住友电气工业株式会社
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2018-12-14
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2022-06-07
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C03B37/025
- 本发明提供不对连结的多段冷却管施加压曲应力，在长期间使用的情况下也能够确保气密性的在光纤的拉丝装置中使用的冷却装置。冷却装置具有：对开构造的多个冷却管，它们在光纤的行进轴方向排列；以及对开构造的连接部，其将多个冷却管中的相邻的冷却管彼此在行进轴方向进行连接，连接部是在相邻的冷却管的一方的冷却管的端部设置的对开构造的内侧连接部(21a、21b)和在另一方的冷却管的端部设置的对开构造的外侧连接部(31a、31b)在与行进轴方向正交的方向嵌合的构造，在内侧连接部和外侧连接部之间具有第一气密部件(51a、51b)，第一气密部件(51a、51b)在与行进轴方向正交的方向被按压而变形，由此将内侧连接部和外侧连接部之间设为气密。
- 光纤拉丝装置使用冷却
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