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[发明专利]一种磁力超声辅助多工位剪切增稠抛光装置、抛光液及抛光方法-CN202310367017.X在审
发明人：张振宇;薛自航;李嘉新;余家欣;孟凡宁;周红秀;石春景;冯俊元 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2023-04-07 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： B24B31/00 文献下载
摘要：本发明提供一种磁力超声辅助多工位剪切增稠抛光装置、抛光液及抛光方法。本发明包括机箱、龙门导轨模块、夹持模块、抛光模块和磁力模块，龙门导轨模块固定在工作台上，导轨可沿着龙门架进行升降运动，夹持模块用于夹持待抛光工件，夹持模块根据不同工件的曲面特性进行更换，实现多种、多个工件的同时抛光，夹持模块与龙门导轨模块的导轨相连，使得其可随导轨一起做升降运动，抛光模块用于放置抛光液，实现对工件的抛光，磁力模块放置有强力磁铁，磁力模块套接于抛光模块外部，强力磁铁设置于与夹持机构位置相对应的位置，其用于引导抛光液中的金属粉末包围在工件周围。本发明可实现对复杂曲面工件高效、高质量、高均匀度、无污染、低成本的抛光。
一种磁力超声辅助多工位剪切抛光装置方法

[发明专利]一种多自由度大尺寸石英坩埚内曲面化学机械磨抛装备及加工方法-CN202310243294.X在审
发明人：张振宇;崔祥祥;李浩东;刘振颂;薛自航 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2023-03-14 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B24B27/00 文献下载
摘要：本发明提供一种多自由度大尺寸石英坩埚曲面化学机械磨抛装备及加工方法，包括床身、可移动加工台、坩埚固定吸盘夹具、主轴系统、异形磨抛轮工控柜、磨抛液喷雾系统、超声振动辅助加工系统和数控系统。可移动加工平台可沿Y方向移动，坩埚固定吸盘夹具用于不同尺寸石英坩埚的精确定位和稳定装夹，异形磨抛轮用于坩埚内壁不同部位曲面的磨削和抛光加工，磨抛液喷雾系统用于磨抛过程中供给磨抛液，超声振动辅助加工系统用于提供超声振动辅助磨抛加工以及检测加工过程中的受力情况和稳定性。本发明解决了大尺寸石英坩埚内壁曲面上缺陷及气泡层无法处理的问题，磨抛后的坩埚内壁整洁光滑一致性好，减少了石英坩埚制造中因缺陷等无法使用而形成的浪费。
一种自由度尺寸石英坩埚曲面化学机械装备加工方法

[发明专利]一种小型球舱磁力复杂曲面化学机械抛光机-CN202211106456.7在审
发明人：李玉彪;张振宇;薛自航;宋晓明;张仁杰 -专利权人：佛山探智拓高端智能装备有限公司
申请日： 2022-09-12 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： B24B31/10 文献下载
摘要：本发明属于抛光装备技术领域，且公开了一种小型球舱磁力复杂曲面化学机械抛光机及加工方法。本发明基于化学机械抛光原理，通过磁场旋转和球舱旋转以及化学腐蚀耦合作用，实现对小型复杂曲面零件的精密抛光，其包括包括箱体、球舱、上包围体、下包围体、升降装置、冷却装置、皮带轮和红外测温仪。箱体用于放置球舱和其他装置，球舱为圆球形球壳结构，用于容纳工件，上包围体与下包围体结构完全一致，用于提供磁力，升降装置用于控制下包围体的升降便于倒出物料，冷却装置用于对球舱进行控温，皮带轮用于传输动力，红外测温仪用于实时监测球舱的温度。本发明可以实现复杂曲面零件的精密抛光，可以同时批量处理不同形状的复杂表面，通用性强。抛光过程全封闭，不会产生粉尘、噪音等污染，对人体无潜在伤害。
一种小型磁力复杂曲面化学机械抛光机