专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]覆晶堆叠的方法-CN201380036940.X有效
  • 权云星;苏芮戌·瑞玛林嘉 - 吉林克斯公司
  • 2013-04-11 - 2017-06-27 - H01L23/14
  • 一种覆晶堆叠的方法,其包含形成(201)一空腔晶圆(301),其包括多个空腔(303)以及一对转角导轨(305);放置(203)一直通硅穿孔(TSV)中介片在该空腔晶圆上,该TSV中介片具有被耦合至该TSV中介片的一表面的多个焊接凸块(107),使得该焊接凸块位于该多个空腔中,而该TSV中介片位于该对转角导轨之间;放置(205)一集成电路(IC)晶粒(109)在该TSV中介片的另一表面上,使得该IC晶粒、该TSV中介片、以及该焊接凸块会形成一已堆叠的中介片单元(113);从该空腔晶圆处移除(207)该已堆叠的中介片单元;以及将该已堆叠的中介片单元的该焊接凸块粘结(209)至一有机基板(101),使得该已堆叠的中介片单元与该有机基板会形成覆晶(300)。
  • 堆叠方法

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