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[实用新型]用于基板剥膜制程的除渣干燥装置-CN202320734171.1有效
发明人： 苏胜義;巫坤星;吕理榕;黄丰川;苏绍君;杨延鸿 -专利权人：扬博科技股份有限公司
申请日： 2023-04-06 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： F26B20/00 文献下载
摘要：本实用新型提出一种用于基板剥膜制程的除渣干燥装置，其包含滚筒、盛水槽、第一沟槽、第一螺杆、第二沟槽、第二螺杆、废液槽、以及收集槽。盛水槽间隔设置于滚筒的内环面。第一沟槽的第一端部位于滚筒内部而第二端部位于滚筒外。第一螺杆可转动地设置于第一沟槽。第二沟槽的第三端部位于第二端部的下方而第四端部有排渣口。多个缝隙形成于第二沟槽的底面。两第二螺杆可转动地设置于第二沟槽内且彼此平行间隔设置。废液槽的一开口朝向第二沟槽的缝隙，一滤网覆盖该开口。收集槽置于第二沟槽的排渣口下方。借此本实用新型能将干膜渣屑进行干燥处理。
用于基板剥膜制程干燥装置

[实用新型]用于基板剥膜制程的震荡滤渣干燥装置-CN202320733577.8有效
发明人： 苏胜義;巫坤星;吕理榕;黄丰川;苏绍君;杨延鸿 -专利权人：扬博科技股份有限公司
申请日： 2023-04-06 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： F26B25/04 文献下载
摘要：本实用新型提出一种用于基板剥膜制程的震荡滤渣干燥装置，其包含震荡过滤组件、干燥组件、及集渣槽。震荡组件具有第一出口。干燥组件具有管件、第一螺杆、壳体、以及第二螺杆。管件设置于第一出口。管件具有第一入口以及第二出口。第一入口形成于管件的侧壁，第一入口朝向第一出口。第一螺杆可转动地设置于管件内。壳体具有第二入口及第三出口。第二入口形成于壳体的上侧面，且位于第二出口的下方。两第二螺杆可转动地设置于壳体内，第二螺杆彼此平行且间隔设置。集渣槽设置于第三出口。借此本实用新型能减轻干膜渣屑的重量且缩小其体积。
用于基板剥膜制程震荡干燥装置

[实用新型]双过滤循环系统-CN202320462571.1有效
发明人： 苏胜義;巫坤星;吕理榕;钟添达;黄丰川;龚南华 -专利权人：扬博科技股份有限公司
申请日： 2023-03-13 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： B01D36/02 文献下载
摘要：本实用新型提出一种双过滤循环系统，其用以循环过滤一工作液体，其包含输出器、主收集槽、第一循环组件、以及第二循环组件。输出器输出工作液体并由主收集槽所收集。第一循环组件包含第一管路及第一过滤装置。第一管路连接主收集槽及输出器，第一过滤装置与第一管路相连通。第二循环组件包含第二管路及第二过滤装置。第二管路两端连接于主收集槽。第二过滤装置与第二管路相连通。第一过滤装置输出第一过滤液至输出器，第二过滤装置输出第二过滤液至主收集槽。借此本实用新型减少进入第一循环组件的工作液体中的残渣，提升第一过滤装置的使用周期。
过滤循环系统

[发明专利]基板厚度的检测与自动修正系统及检测与自动修正方法-CN201811539603.3有效
发明人： 苏胜義;乔鸿培;吕理榕;巫坤星 -专利权人：扬博科技股份有限公司
申请日： 2018-12-17 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： C23F1/08 文献下载
摘要：本发明是一种蚀刻工艺系统与方法，其包含一射频式测铜仪及一预蚀刻装置。射频式测铜仪包含有多个感测器；各感测器能放出及接收射频，且该多个感测器的射频的涵盖范围相互重叠且足以横跨用以蚀刻的基板的两端。射频式测铜仪扫描基板后将数据传送至预蚀刻装置进行补偿喷洒，藉以修正厚度及均匀性异常处。藉此，本发明即可逐一且完整地扫描每一块基板的所有表面，其所得出的表面镀铜的厚度或表面镀铜厚度的均匀性非常精确，且所需要的检测时间短，并且在得到数据之后可以即时的进行预蚀刻予以修正，藉此大幅的降低资源与成本的浪费。
厚度检测自动修正系统方法

[实用新型]电路板制程的热交换系统-CN202221538110.X有效
发明人： 苏胜義;巫坤星;吕理榕;苏绍君;钟添达;杨延鸿 -专利权人：扬博科技股份有限公司
申请日： 2022-06-20 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：一种电路板制程的热交换系统，其包括一热泵、一加热管路、一冷却管路与一电路板加工设备，该加热管路延伸通过该热泵的一冷凝器，并且延伸布设于该电路板加工设备之中，该冷却管路延伸通过该热泵的一蒸发器，且亦延伸布设于该电路板加工设备之中。该热泵所产生的热能可以通过该加热管路对该电路板制程中需要高温的步骤进行加温，以确保各步骤的加工效果，该冷却管路则可以将电路板制程的各步骤中所产生的热能回收至该热泵，降低该电路板加工设备的能耗，进一步达到节能的效果，同时还可让工作人员在温度较合宜的环境下工作。
电路板热交换系统

[发明专利]基板工艺的微波干燥装置-CN201811625051.8在审
发明人： 苏胜義;乔鸿培;吕理榕;巫坤星 -专利权人：扬博科技股份有限公司
申请日： 2018-12-28 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： F26B15/12 文献下载
摘要：本发明公开一种基板工艺的微波干燥装置，包括一微波腔体、贯穿该微波腔体的一输送平台、以及设置在该微波腔体中的至少一微波产生器与至少一排气组，借该输送平台将待干燥的基板送入并移出该微波腔体。该微波产生器所发出的微波能直接针对该基板上的液体中的水分子进行加热，以无死角地令蓄积在该基板的穿孔或盲孔中的液体升温并蒸散，再利用该至少一排气组来抽取并排出从该基板蒸散的湿气，从而达到干燥该基板的目的。再者，因为微波只会对液体进行加热，不会将能量用于使该基板升温，故干燥的效率高，可有效节约电力、节省该基板的加工成本。
工艺微波干燥装置

[实用新型]基板蚀刻机的电控箱散热装置-CN201921390660.X有效
发明人：乔鸿培;苏胜義;巫坤星;吕理榕;钟添达;苏绍君 -专利权人：扬博科技股份有限公司
申请日： 2019-08-26 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： H05K7/20 文献下载
摘要：本实用新型的基板蚀刻机的电控箱散热装置，其包括有一电控箱及安装在电控箱上的一空调降温组，该电控箱箱体上设有上风口及下风口，该空调降温组具有中空的机体及安装在机体内的热交换单元，热交换单元的两端分别与一冷水机连接，又机体相对于上风口及下风口设有相互连通的进风口及出风口，电控箱内的温热气流与该热交换单元进行热交换作业后，将气流再导内电控箱箱体内，以达到可简便且有效的控制调节电控箱的温度，再者电控箱内的电子零组件不会被充斥在厂房内具有高腐蚀性的水气所破坏。
蚀刻电控箱散热装置

[实用新型]射频式测铜仪及基板厚度检测与自动修正系统-CN201822111198.7有效
发明人： 苏胜義;乔鸿培;吕理榕;巫坤星 -专利权人：扬博科技股份有限公司
申请日： 2018-12-17 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： C23F1/08 文献下载
摘要：本实用新型是一种射频式测铜仪及基板厚度检测与自动修正系统，蚀刻工艺系统包含一射频式测铜仪及一预蚀刻装置。射频式测铜仪包含有多个感测器；各感测器能放出及接收射频，且该多个感测器的射频的涵盖范围相互重叠且足以横跨用以蚀刻的基板的两端。射频式测铜仪扫描基板后将数据传送至预蚀刻装置进行补偿喷洒，借以修正厚度及均匀性异常处。借此，本实用新型即可逐一且完整地扫描每一块基板的所有表面，其所得出的表面镀铜的厚度或表面镀铜厚度的均匀性非常精确，且所需要的检测时间短，并且在得到数据之后可以即时的进行预蚀刻予以修正，借此大幅的降低资源与成本的浪费。
射频感测器基板蚀刻本实用新型表面镀铜蚀刻装置均匀性自动修正系统修正厚度检测扫描基板蚀刻工艺数据传送喷洒横跨扫描涵盖检测

[实用新型]基板工艺的微波干燥装置-CN201822234538.5有效
发明人： 苏胜義;乔鸿培;吕理榕;巫坤星 -专利权人：扬博科技股份有限公司
申请日： 2018-12-28 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： F26B15/12 文献下载
摘要：本实用新型公开一种基板工艺的微波干燥装置，包括一微波腔体、贯穿该微波腔体的一输送平台、以及设置在该微波腔体中的至少一微波产生器与至少一排气组，借该输送平台将待干燥的基板送入并移出该微波腔体。该微波产生器所发出的微波能直接针对该基板上的液体中的水分子进行加热，以无死角地令蓄积在该基板的穿孔或盲孔中的液体升温并蒸散，再利用该至少一排气组来抽取并排出从该基板蒸散的湿气，从而达到干燥该基板的目的。再者，因为微波只会对液体进行加热，不会将能量用于使该基板升温，故干燥的效率高，可有效节约电力、节省该基板的加工成本。
基板微波腔体微波干燥装置微波产生器基板工艺输送平台排气组加热湿气本实用新型待干燥水分子微波能无死角再利用穿孔地令盲孔移出微波蓄积抽取送入节约贯穿加工

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