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[发明专利]一种三甲基铟低温提纯装置及低温提纯方法-CN201910799652.9在审
发明人：顾宏伟;茅嘉原;严金林;邓辉 -专利权人： 苏州普耀光电材料有限公司
申请日： 2019-08-28 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： B01D53/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种三甲基铟低温提纯装置，包括提纯原料釜、接收罐、真空保护装置和真空泵，提纯原料釜内装有固体三甲基铟物料，提纯原料釜上连接有高纯载气管路，提纯原料釜通过一伴热管与接收罐连接，接收罐又与真空保护装置连接，该真空保护装置又与真空泵连接，接收罐内设有冷凝装置。本发明还公开了一种三甲基铟低温提纯方法，该方法中，提纯原料釜内的压力小于50torr，提纯原料釜中的温度控制在30～80℃，接收罐内的温度控制在‑30～30℃，高纯载气带动三甲基铟物料进入接收罐内，经过冷却，得到提纯后的三甲基铟。该提纯方法对设备的要求低，设备成本投入低，操作简单，提高了三甲基铟的纯度，且大大提高了提纯过程的安全性和稳定性。
提纯三甲基铟原料釜真空保护装置接收罐提纯装置高纯真空泵连接冷凝装置设备成本载气管路伴热管对设备真空泵载气冷却

[发明专利]一种钢瓶自动化立体存取系统及其存取方法-CN201910699467.2在审
发明人：顾宏伟;茅嘉原;王士峰;刘纪亮;沈兵 -专利权人： 苏州普耀光电材料有限公司
申请日： 2019-07-31 - 公布日： 2019-11-01 - 主分类号： B65G1/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种钢瓶自动化立体存取系统，包括控制模块、执行模块和仓库货架模块，控制模块包括工控主机和控制器，执行模块包括条码扫描器和机械手，仓库货架模块包括货架和货架滑轨，货架是由多个分区货架排列组成，每个分区货架可移动的安装于货架滑轨上，机械手设置于一机械手移动机构上，机械手移动机构可移动的安装于一机械手移动滑轨上，机械手又可沿机械手移动机构移动；机械手可以按照钢瓶信息将钢瓶存放于货架的存储位置，或者机械手根据钢瓶存储位置的信息将所要取出的钢瓶从货架上取出。该存取系统能实现对钢瓶存取的自动化管理，提高存储密度、空间利用率及作业效率，减少人员活动，提高存取的准确率及安全性。
机械手货架钢瓶存取系统移动机构存取仓库货架存储位置控制模块可移动滑轨自动化分区取出空间利用率条码扫描器自动化管理工控主机人员活动移动滑轨作业效率控制器准确率存储移动

[实用新型]一种MO源灌装容器余料的回收处理装置-CN201920176888.2有效
发明人：顾宏伟;茅嘉原;严金林;邓辉 -专利权人： 苏州普耀光电材料有限公司
申请日： 2019-01-31 - 公布日： 2019-10-22 - 主分类号： F17D1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种MO源灌装容器余料的回收处理装置，包括通过管路连通的溶剂罐、处理罐和MO源灌装容器，管路包括正向惰性气体管路、回收处理管路和反向惰性气体管路，溶剂罐与处理罐之间通过回收处理管路连接有多个MO源灌装容器，溶剂罐中装有有机溶剂，溶剂罐的进气口连接有正向惰性气体管路，正向惰性气体管路上连接有惰性气体控制阀和真空控制阀，处理罐的进气口连接有反向惰性气体管路，对应于溶剂罐、处理罐和每个MO源灌装容器，管路上分别设有进气阀、出气阀和中间控制阀。利用该回收处理装置对MO源灌装容器中的余料进行回收处理，可以提高回收处理效率，降低回收处理的安全风险和回收处理成本，提高回收处理后MO源灌装容器的洁净度。
灌装容器回收处理惰性气体管路处理罐溶剂罐回收处理装置余料正向进气口连接惰性气体控制阀本实用新型惰性气体管真空控制阀管路连接管路连通有机溶剂出气阀洁净度进气阀控制阀溶剂安全

[发明专利]一种采用混合配位剂解配三甲基镓的方法-CN201910699755.8在审
发明人：顾宏伟;茅嘉原;王士峰;刘纪亮 -专利权人： 苏州普耀光电材料有限公司
申请日： 2019-07-31 - 公布日： 2019-10-18 - 主分类号： C07F5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种采用混合配位剂解配三甲基镓的方法，包括以下步骤：步骤一，将三辛胺和MBDA两种配位剂分别导入反应釜中，加热使两者熔融，得到三辛胺和MBDA的混合配位剂；步骤二，将三甲基镓和醚类溶剂的配合物加入到解配釜中，然后加入混合配位剂，混合配位剂、三甲基镓和醚类的配合物之间产生置换反应，获得配位剂和三甲基镓的配合物，并将醚类溶剂蒸发并冷凝回收；步骤三，将步骤二得到的配位剂和三甲基镓的配合物进行解配，三甲基镓以气态形式蒸出并通过冷凝回收。该方法采用了三辛胺和MBDA的混合配位剂，可以提高单位配合量，减少三辛胺的使用量，延长配位剂的使用寿命，解配出的半成品纯度较高，收率较高，减少危废产生，提高产品品质。
三甲基镓混合配位解配配合物配位剂三辛胺冷凝回收醚类溶剂产品品质气态形式使用寿命置换反应反应釜配合量加热醚类熔融收率半成品蒸发

[实用新型]MO源中央供应系统-CN201822181134.4有效
发明人：顾宏伟;茅嘉原;王士峰;刘纪亮;郑天增;徐应涛 -专利权人： 苏州普耀光电材料有限公司
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2019-10-15 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本实用新型提供一种MO源中央供应系统，其包括：储液罐、中转罐、第一钢瓶、第二钢瓶、冷肼、真空泵、尾气液封罐；储液罐通过管路与下游的中转罐相连接，储液罐同时与排空管路、氮气管路和真空管路相连接，中转罐通过管路与下游的第一钢瓶，中转罐同时与排空管路、氮气管路和真空管路相连接，第一钢瓶通过管路与下游的第二钢瓶相连接，第二钢瓶同时与排空管路、特气管路、氮气管路和真空管路相连接，冷肼与真空管路相连接，且冷肼通过管路与下游的真空泵相连接，真空泵同时与设备排气管路相连接，尾气液封罐位于真空泵的下游。本实用新型的MO源中央供应系统通过实现了MO的集中供应，其有利于满足MOCVD进行外延生长时工艺需求。
钢瓶真空管路真空泵中转罐中央供应系统氮气管路排空管路储液罐冷肼本实用新型液封罐尾气工艺需求排气管路外延生长气管路

[发明专利]一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置-CN201910699443.7在审
发明人：顾宏伟;茅嘉原;王士峰;刘纪亮;陈树彪 -专利权人： 苏州普耀光电材料有限公司
申请日： 2019-07-31 - 公布日： 2019-10-08 - 主分类号： B01D29/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置，包括电泵、水洗箱、碱洗箱和外延生长设备过滤器，水洗箱内装有清水，碱洗箱内装有碱液，该电泵的进口与一分叉进路连接，电泵的出口通过一清洗总进路与外延生长设备过滤器连接，该外延生长设备过滤器又通过一清洗总出路与一分叉出路连接，其中，分叉进路包括水洗进路和碱洗进路，水洗进路与水洗箱的出口连接，碱洗进路与碱洗箱的出口连接，分叉出路包括水洗出路和碱洗出路，水洗出路与水洗箱的进口连接，碱洗出路与碱洗箱的进口连接。该回收处理装置可以对外延生长设备用滤芯进行清洗和对滤芯上沉积的MO源进行回收处理，回收处理效率高，利于节能环保。
进路外延生长设备碱洗滤芯回收处理装置碱洗箱水洗箱电泵过滤器清洗出口连接回收处理分叉进口过滤器连接节能环保生长设备总出路碱液沉积清水出口

[发明专利]一种MO源供应装置-CN201910097515.0在审
发明人：顾宏伟;茅嘉原;严金林;邓辉 -专利权人： 苏州普耀光电材料有限公司
申请日： 2019-01-31 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明公开了一种MO源供应装置，包括液体MO源储存罐、固体MO源储存罐和有机溶剂吸附柱，所述固体MO源储存罐的进气口处连接有一高纯载气进气管，固体MO源储存罐的出气口处连接有一高纯载气出气管，该高纯载气出气管的出气端从液体MO源储存罐的左侧插入到液体MO源储存罐的底部，液体MO源储存罐的右侧出口连接有一MO源供给管，该MO源供给管的出口与一有机溶剂吸附柱连接，有机溶剂吸附柱的出口连接MO源钢瓶，所述固体MO源储存罐中储存有固体MO源，所述液体MO源储存罐中储存有溶解于有机溶剂的MO源。本发明将液体MO源储存罐和固体MO源储存罐结合，保证充入MO源钢瓶内的MO源浓度，并且可以有效去除MO源中的有机溶剂。
储存罐有机溶剂吸附高纯载气出口连接供应装置有机溶剂出气管供给管钢瓶进气口出气口处出气端进气管柱连接去除溶解保证出口

[发明专利]一种MO源灌装容器余料的回收处理装置及回收处理方法-CN201910097548.5在审
发明人：顾宏伟;茅嘉原;严金林;邓辉 -专利权人： 苏州普耀光电材料有限公司
申请日： 2019-01-31 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： F17D1/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种MO源灌装容器余料的回收处理装置，包括通过管路连通的溶剂罐、处理罐和MO源灌装容器，管路包括正向惰性气体管路、回收处理管路和反向惰性气体管路，溶剂罐与处理罐之间通过回收处理管路连接有多个MO源灌装容器，溶剂罐中装有有机溶剂，溶剂罐的进气口连接有正向惰性气体管路，正向惰性气体管路上连接有惰性气体控制阀和真空控制阀，处理罐的进气口连接有反向惰性气体管路，对应于溶剂罐、处理罐和每个MO源灌装容器，管路上分别设有进气阀、出气阀和中间控制阀。本发明还公开了MO源灌装容器中余料的回收处理方法。本发明提高了回收处理效率，降低了回收处理时的安全风险和回收处理成本，提高了回收处理后MO源灌装容器的洁净度。
回收处理灌装容器惰性气体管路处理罐溶剂罐余料正向回收处理装置进气口连接惰性气体控制阀惰性气体管真空控制阀管路连接管路连通有机溶剂出气阀洁净度进气阀控制阀溶剂安全

[实用新型]一种三甲基镓的精馏系统压力平衡装置-CN201721017165.5有效
发明人：顾宏伟;茅嘉原;李敏;王士峰;洪海燕;刘纪亮;郑天增 -专利权人： 苏州普耀光电材料有限公司
申请日： 2017-08-15 - 公布日： 2018-04-17 - 主分类号： B01D3/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种三甲基镓的精馏系统压力平衡装置，其特征在于，包括本体，所述本体包括前馏分装置、成品装置、返工装置和分装装置，所述前馏分装置包括馏分冷凝器和第一液封装置，所述第一液封装置的出口处通过第一气管和第二气管连接第一气罐的进气口，所述第一气管上安装有压力传感器和第一电磁阀，且第二气管上安装有第二电磁阀，所述第一气罐的出口处通过管道连接有第一冷肼和第二冷肼。本实用新型该中设有七个电磁阀分别安装在不同阶段的设备上，分段控制压力，同时该装置上设有五个压力传感器，能够实时监控整个过程的压力情况，便于及时控制压力平衡，操作简单方便，省时省力，工作效率高。
一种甲基精馏系统压力平衡装置

[发明专利]三甲基镓的纯化方法-CN201510239398.9有效
发明人：顾宏伟;茅嘉原;李敏;王士峰;洪海燕 -专利权人： 苏州普耀光电材料有限公司
申请日： 2015-05-12 - 公布日： 2017-06-09 - 主分类号： C07F5/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种三甲基镓的高效纯化方法，属于化合物提纯的技术领域。本发明的纯化方法包括以下步骤首先，以固定相为填料的第一层析柱对三甲基镓粗品进行过滤；然后，对过滤后的三甲基镓粗品以固定相为表面接枝的填料的第二层析柱中进行提纯，并且所述表面接枝的填料为表面接枝有三正辛胺的填料。本发明的纯化方法结合了固液分离的手段，将特定的配位剂负载在填料上，不仅操作简单，而且也进一步提高了纯化效果。
甲基高效纯化方法

[发明专利]高纯三甲基铟的制备方法-CN201510239288.2有效
发明人：顾宏伟;茅嘉原;李敏;王士峰;洪海燕 -专利权人： 苏州普耀光电材料有限公司
申请日： 2015-05-12 - 公布日： 2017-03-08 - 主分类号： C07F5/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种高纯三甲基铟的制备方法，属于元素周期表第Ⅲ族金属化合物制备的技术领域。本发明的制备方法包括以下步骤①以乙醚为溶剂，制备三甲基铟粗品；②对步骤①得到的三甲基铟粗品进行纯化，所述纯化方法包括采用第一层析柱对所述三甲基铟粗品进行提纯的步骤；并且所述第一层析柱采用的固定相为接枝二氧化硅，所述接枝二氧化硅为表面接枝有三正辛胺的二氧化硅。本发明的制备方法采用合成和分离两个步骤得到了纯度可以达到6N的三甲基铟；尤其是采用的纯化方法结合了固液分离的手段，将特定的配位剂负载在二氧化硅上，不仅操作简单，而且也进一步提高了纯化效果。
高纯甲基制备方法

[实用新型]一种高纯金属有机化合物钢瓶烘干检漏装置-CN201520517571.2有效
发明人：顾宏伟;茅嘉原;李敏;王士峰;洪海燕;严金林 -专利权人： 苏州普耀光电材料有限公司
申请日： 2015-07-16 - 公布日： 2015-11-18 - 主分类号： G01M3/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高纯金属有机化合物钢瓶烘干检漏装置，包括烘箱和检漏干燥管，所述烘箱上设置有氦气入口，所述检漏干燥管贯穿烘箱内部，检漏干燥管一端设置有检漏仪，检漏干燥管另一端设置有真空泵，靠近检漏仪一端的检漏干燥管上设置有氮气入口管，靠近真空泵一端的检漏干燥管上依次设置有干燥柱、水氧检测仪和内漏检测口，所述内漏检测口位于烘箱内部。本实用新型结构合理，在一个装置内可以对高纯金属有机化合物钢瓶进行烘干并检漏，避免了因工序衔接而引入新的污染源，保证了MO”源钢瓶的品质。
一种高纯金属有机化合物钢瓶烘干检漏装置

[实用新型]一种高纯金属有机化合物高效分离装置-CN201520517301.1有效
发明人：顾宏伟;茅嘉原;李敏;王士峰;洪海燕 -专利权人： 苏州普耀光电材料有限公司
申请日： 2015-07-16 - 公布日： 2015-11-18 - 主分类号： B01J19/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高纯金属有机化合物高效分离装置，包括粗品原料罐、清洗剂罐、聚醚管、低沸点接收罐、粗产品接收罐，所述粗品原料罐底部和聚醚管顶部管路连接，所述粗品原料罐顶部和聚醚管底部连接，所述清洗剂罐底部和聚醚管顶部管路连接，所述清洗剂罐顶部和聚醚管底部连接，所述低沸点接收罐顶部与聚醚管底部连接，所述粗产品接收罐顶部与聚醚管底部连接。本实用新型的装置结构合理，采用流动工艺，乙醚更容易被分离，分离效率高，效果好，避免真空分离把一部分“MO”源系列物带出反应体系，降低了反应体系的危险性，提高了反应的收率。
一种高纯金属有机化合物高效分离装置

[发明专利]三乙基镓的高效纯化方法-CN201510239649.3有效
发明人：顾宏伟;茅嘉原;李敏;王士峰;洪海燕 -专利权人： 苏州普耀光电材料有限公司
申请日： 2015-05-12 - 公布日： 2015-08-05 - 主分类号： C07F5/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种三乙基镓的高效纯化方法，属于化合物提纯的技术领域。本发明的纯化方法包括以下步骤：首先，以固定相为填料的第一层析柱对三乙基镓粗品进行过滤；然后，对过滤后的三乙基镓粗品以固定相为表面接枝的填料的第二层析柱中进行提纯，并且所述表面接枝的填料为表面接枝有三正辛胺的填料。本发明的纯化方法结合了固液分离的手段，将特定的配位剂负载在填料上，不仅操作简单，而且也进一步提高了纯化效果。
乙基高效纯化方法

[发明专利]三甲基铟的高效纯化方法-CN201510239891.0有效
发明人：顾宏伟;茅嘉原;李敏;王士峰;洪海燕 -专利权人： 苏州普耀光电材料有限公司
申请日： 2015-05-12 - 公布日： 2015-08-05 - 主分类号： C07F5/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种三甲基铟的高效纯化方法，属于化合物提纯的技术领域。本发明的纯化方法包括以下步骤：(1)将三甲基铟粗品倒入以固定相为填料的第一层析柱中，依靠重力自然下流，待液体流完，收集溶液；(2)将收集的溶液倒入以固定相为表面接枝的填料的第二层析柱中，依靠重力自然下流，待液体流完收集溶液；再把收集的溶液再倒入第二层析柱中，重复操作2～5次，其中所述表面接枝的填料为表面接枝有三正辛胺的填料；(3)对经过步骤(2)处理后的第二层析柱进行加热解配，并在层析柱底部抽真空收集即可得到纯化的三甲基铟。本发明的纯化方法结合了固液分离的手段，将特定的配位剂负载在填料上，不仅操作简单，而且也进一步提高了纯化效果。
甲基高效纯化方法