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[发明专利]用于确定晶圆图形尺寸的方法、装置、设备、介质以及程序产品-CN202280006302.2在审
发明人：程垄;任谦;孙永倩;明勇;陈飞鸿;杨敏 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2022-01-19 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G03F1/36 文献下载
摘要：用于确定晶圆图形尺寸的方法(300)、装置(600)、设备(700)、介质以及程序产品，用于确定晶圆图形尺寸的方法(300)包括：至少基于针对至少一个测试图形的测试光强分布数据集和晶圆图形数据集，生成用于确定晶圆图形尺寸的显影模型(306)，测试光强分布数据集(210)中的每个测试光强分布数据指示光刻设备的光源经由相应的测试图形在晶圆上得到的光强分布，晶圆图形数据集(220)中的每个晶圆图形数据指示与相应的测试图形对应的晶圆图形的尺寸；以及至少基于针对目标图形的目标光强分布数据，利用显影模型来确定与目标图形对应的晶圆图形的尺寸(308)，目标光强分布数据(230)指示光源经由目标图形在晶圆上得到的光强分布。以此方式，可以提高对在晶圆上获得的实际图形尺寸的预测精确度。
用于确定图形尺寸方法装置设备介质以及程序产品

[发明专利]基于参数可控的下位机数控程序的机械手上位机控制方法-CN201910487099.5有效
发明人：周世圆;胡怡;黄巧盛;程垄;姚鹏娇 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2019-06-05 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： B25J9/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于参数可控的下位机数控程序的机械手上位机控制方法，设计两层循环的下位机数控程序，上位机设置机械手进入手动控制模式后，先进入外层循环待命，当上位机发来的行程与方向控制参数变量值后，进入内层循环进行轨迹运动控制。对于内层循环：循环次数采用运动行程对应的轨迹点点数变量M控制；循环变量即机械手当前位置索引变量P，每次循环中通过循环变量的增一或减一实现机械手位置变化控制；循环变量增减变化方向由代表运动方向的参数变量D控制。本发明取代逐点顺序式下位机数控程序，提供上位机与下位机的交互方法，能够实现上位机机械手手动控制。
基于参数可控下位数控程序机械手上位控制方法

[发明专利]一种三层结构中间薄层物理特性参数测量方法-CN201910604836.5有效
发明人：周世圆;胡怡;黄巧盛;程垄;姚鹏娇 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2019-07-05 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： G01N29/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种三层结构中间薄层物理特性参数测量方法，能够在已知三层结构上层和下层纵波声速、横波声速和密度，及各层的厚度的情况下，实现中间薄层的纵波声速、横波声速和密度的三参数的同时测量，解决传统方法无法测量中间薄层的横纵波声速、密度的问题。
一种三层结构中间薄层物理特性参数测量方法

[发明专利]一种基于自适应滤波的薄层厚度测量方法-CN201910327908.6在审
发明人：周世圆;黄巧盛;胡怡;程垄;姚鹏娇 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2019-04-23 - 公布日： 2019-08-09 - 主分类号： G01B17/02 文献下载
摘要：本发明提出一种基于自适应滤波的薄层厚度测量方法，将无中间薄层时上层结构，即参考层结构的回波信号作为自适应滤波器的参考信号，通过基于递推最小二乘法的自适应滤波算法，将三层结构中间层上下界面的混叠回波信号中的上界面信号分离出来，得到包含下界面的一次回波信号S₁₁和二次回波信号S₁₂的误差信号e，进而准确的测量出三层结构的中间薄层的厚度，克服了现有技术中在通过超声脉冲回波法测量多层结构的中间薄层厚度时，若薄层与上下层结构之间的上界面回波和下界面回波发生混叠时无法实现测量中间薄层厚度的缺陷。
中间薄层回波信号薄层厚度测量自适应滤波三层结构测量回波混叠自适应滤波算法自适应滤波器上下层结构最小二乘法超声脉冲多层结构界面信号上层结构误差信号一次回波参考层回波法中间层薄层递推下界

[发明专利]一种便携式拉杆小车-CN201610371407.4有效
发明人：高宏力;程垄;雷亚雄;王庆昕;刘彩云;肖炼 -专利权人：西南交通大学
申请日： 2016-05-30 - 公布日： 2018-11-20 - 主分类号： B62B1/12 文献下载
摘要：本发明提供了一种便携式拉杆小车，属于货物搬运技术领域。伸缩杆下端固定在前固定板和后固定板之间，前固定板和后固定板的上部设有横梁，下部设有斜杆；斜杆下方设有固定块，固定块的上方与货架杆通过转动副连接，下方与轮子的轮轴固定；横梁支撑杆的一端与横梁通过转动副连接，另一端与滑块一通过转动副连接；斜杆支撑杆的一端与斜杆通过转动副连接，另一端与滑块二通过转动副连接；后固定板的中部设有架空的小固定板，其间设有连杆一，连杆一的中部与后固定板和小固定板之间的连接为转动副，连杆一的两端分别与连杆二的一端通过转动副连接，连杆二的另一端分别与滑块一的中部、滑块二的中部通过转动副连接。主要用于货物搬运。
一种便携式拉杆小车