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[发明专利]被处理体的处理装置-CN201880017568.0有效
发明人：加贺美刚;福本英范 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2018-10-15 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明的被处理体的处理装置具备：腔室，被构造为内部空间能够减压，并且在所述内部空间中对被处理体进行等离子体处理；第一电极，配设在所述腔室内，用于载置所述被处理体；第一电源，用于对所述第一电极施加负电位的偏置电压；气体导入装置，用于向所述腔室内导入工艺气体；和排气装置，用于对所述腔室内进行减压。在所述第一电极与所述被处理体之间，设置有以覆盖所述第一电极的方式设置的罩部。在所述第一电极与所述罩部之间，以占据局部区域的方式配置有衬垫部。
处理装置

[发明专利]保持装置-CN201780035954.8有效
发明人：田代征仁;伊东润一;福本英范;日高康祐;寺岛充级 -专利权人：株式会社爱发科;爱发科低温泵株式会社
申请日： 2017-05-26 - 公布日： 2023-02-24 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：提供一种在真空腔内一边将被处理物冷却到极低温一边将其可旋转自如地保持的保持装置。在真空腔(Vc)内一边冷却被处理物W一边旋转自如地保持的保持装置HS具有设置被处理物的平台(1)和旋转自如地支撑平台的旋转驱动装置(2)及冷却平台的冷却装置(3)。设置被处理物的平台表面朝上，旋转驱动装置具有在真空腔的腔壁壁表面上通过真空密封件(22)贯穿安装的筒状旋转轴体(21)和用以在平台下方划分出空间(24)连接旋转轴体的上端和平台下表面的连接部件(23)及旋转驱动旋转轴体的驱动马达(25)，冷却装置具有在平台下方的空间有缝隙并相对于平台的下表面设置的冷却面板(31)和插入到旋转轴体内并与冷却面板的下表面抵接的传热轴体及冷却传热轴体的冷冻机(33)。
保持装置

[发明专利]静电卡盘装置的制造方法-CN200880101558.1无效
发明人：藤井佳词;中野贤明;福本英范;宫永信正 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2008-07-28 - 公布日： 2010-08-11 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：提供一种静电卡盘的制造方法。当由硅酮橡胶及树脂制造在保持被卡物时与该被卡物接触的介电层时，不受其制造时残留在表面或内部的杂质的影响，从使用之初起不发生性能偏差以及脱离不良。在将介电层(6)组装在设置有电极(5)的基材(3)表面之前或组装在该基材(3)表面之后，实施向所述介电层(6)的接触面按压加热到规定温度的加热板(7)的工序。
静电卡盘装置制造方法