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- [发明专利]曝光装置-CN202110304668.5在审
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神田宽行;原望
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株式会社斯库林集团
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2021-03-22
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2021-09-28
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G03F7/20
- 本发明提供一种曝光装置,该曝光装置具有:曝光部,在基体材料(9)上曝光图案;工作台(41),具有与基体材料(9)的一个主面接触的保持板(43),所述工作台(41)保持基体材料(9);光学单元(5),通过经由设置于保持板(43)的开口(432)向基体材料(9)的该主面照射光,使在曝光部曝光图案中所参照的参照标记形成于该主面;以及气体供给部(71),向光学单元(5)中配置在最靠近保持板(43)侧的透光构件(541)与保持板(43)之间供给规定的气体。由气体供给部(71)供给的气体在透光构件(541)与保持板(43)之间横穿开口(432)而流动。由此,能够抑制不必要物质附着在透光构件(541)的表面。
- 曝光装置
- [发明专利]描画装置-CN202110226010.7在审
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神田宽行;原望
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株式会社斯库林集团
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2021-03-01
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2021-09-03
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G03F7/20
- 本发明涉及描画装置(1),包括:供给部(51),保持卷绕有长条的基材(9)的供给辊(511);工作台(52),将从供给部拉出的基材保持于保持面(521)上;回收部(53),利用回收辊(531)卷绕通过保持面的基材;搬运部(54),在非描画图案时,沿着从供给部通过保持面至回收部的搬运路径搬运基材;光射出部(31),在描画图案时射出光;以及移动机构(4),在描画图案时,在移动方向上移动工作台。在沿着保持面上的基材的宽度方向观察时,在移动方向上的、位于工作台的一端附近的折返位置,搬运路径在移动方向上被折返,并且在与折返位置相比更靠工作台侧配置供给部以及回收部。由此,能够更高效地进行供给辊以及回收辊的替换操作。
- 描画装置
- [发明专利]载物台驱动装置及描画装置-CN201810897201.4有效
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神田宽行;原望
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株式会社斯库林集团
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2018-08-08
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2021-03-02
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G03F7/20
- 本发明的载物台驱动装置(5)包括:设置有载物台的底板(51)、一对导轨、与一对导轨分别卡合的一对导轨卡合部(53)、使动子(546)向移动方向移动的线性马达、以及能够将动子(546)固定于底板(51)的动子固定部(55)。在底板(51)的下表面(512)中,将包含用于安装一对导轨卡合部(53)的多个安装区域(A11)的最小矩形区域作为关注区域(A12),底板(51)中固定有动子固定部(55)的固定位置(P11)位于比关注区域(A12)更靠近移动方向的外侧的位置。由此,能够抑制底板(51)的关注区域(A12)的热膨胀。
- 载物台驱动装置描画
- [发明专利]药品分配装置-CN200680033168.6有效
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汤山正二;重山泰宽;神田宽行
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株式会社汤山制作所
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2006-09-26
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2008-09-10
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A61J3/00
- 本发明提供一种药品分配装置,其通过可以按照需要以各种模式储存药品,可以一次分配大量的药品。所述药品分配装置具备多个药品容纳部(25)和药品回收部(26),所述药品容纳部(25)按种类容纳药品(10),所述药品回收部(26)移动至与处方数据对应的容纳该药品(10)的药品容纳部(25),保持并搬运由药品容纳部(25)分配的药品(10),在规定的位置供给药品(10)。药品回收部(26)由多个药品储存室构成,可以将由药品容纳部(25)分配的药品(10)以任意的容纳模式保持在各药品储存室(31)中。
- 药品分配装置
- [发明专利]药品分配装置-CN200580021968.1有效
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汤山正二;神田宽行
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株式会社汤山制作所
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2005-05-18
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2007-06-06
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A61J3/00
- 本发明的药品分配装置具备:装置本体(1);搁板构件(2),其沿上下方向并设于该装置本体(1)内;和药品搬送构件(3),其从所述装置本体(1)的前面侧逐个地搬送收容于该搁板构件(2)的药品(D)。所述搁板构件(2)具有:以药品(D)整列的状态收容药品的多个盒(26)、将该盒(26)内的药品朝向所述装置本体(1)的前面侧推压的推动器(31)、和经由该推动器(31)对收容于盒(26)中的药品(D)施加一定负荷的恒负荷弹簧(32)。另外,在将药片(D)补充于所述盒(26)内时,搁板构件(2)能够以拉出到所述装置本体(1)的前面侧且一端部朝向斜下方的方式转动而进行定位。
- 药品分配装置
- [发明专利]药品分配装置-CN200580021905.6有效
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汤山正二;重山泰宽;藤川贵介;神田宽行;堺繁之
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株式会社汤山制作所
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2005-05-18
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2007-06-06
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A61J3/00
- 本发明提供一种能够在不拘束于药品的形态的情况下将其适当分配且具有紧凑结构的药品分配装置。本发明的药品分配装置具备装置本体(1)、和逐个地搬送在所述装置本体(1)内配置成多列的药品(D)的药品搬送构件(3)。药品搬送构件(3)具备沿水平方向及垂直方向往复移动的药品把持构件(40)。药品把持构件(40)具备支承构件(42)、支承于所述支承构件(42)且沿装置本体(1)的前后方向往复移动的前后移动构件(43)、和以在垂直位置和水平位置之间旋转的方式支承于所述前后移动构件(43)且具有可夹持药品(D)的一对夹持片(54)的夹持构件(44)。
- 药品分配装置
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