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[发明专利]聚硅氮烷、含有它的硅质膜形成用组合物以及使用它制造硅质膜的方法-CN202180052359.1在审
发明人：黑川正路;石井雅弘;冈村聪也 -专利权人：默克专利有限公司
申请日： 2021-08-23 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： C08L83/16 文献下载
摘要：[问题]本发明提供即使在含臭氧环境下也能够抑制膜厚变化和空隙的聚硅氮烷和包含该聚硅氮烷的硅质膜形成用组合物。[解决手段]一种含有N‑Si键的聚硅氮烷，其中，具有3个N‑Si键的N原子的数量(NA3)与具有2个N‑Si键的N原子的数量(NA2)的比(NA3/NA2)为1.8～6.0。
聚硅氮烷含有质膜形成组合以及使用制造方法

[发明专利]微细抗蚀图案形成用组合物以及使用了其的图案形成方法-CN201480010383.9有效
发明人：长原达郎;关藤高志;山本和磨;小林政一;佐竹升;石井雅弘 -专利权人： AZ电子材料(卢森堡)有限公司
申请日： 2014-03-14 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： G03F7/40 文献下载
摘要：本发明提供一种可形成表面皲裂少的微细的负型光致抗蚀图案的组合物、以及使用该组合物的图案形成方法。一种组合物，其为微细图案形成用组合物，该微细图案形成用组合物在使用化学放大型正型光致抗蚀组合物而形成正型抗蚀图案的方法中，用于通过使抗蚀图案变粗而使图案微细化，其特征在于：包含在重复单元中包含氨基的聚合物、溶剂以及酸。可通过在显影后的正型光致抗蚀图案上涂布该组合物，并进行加热，从而形成微细的图案。
微细图案形成组合以及使用方法

[发明专利]精细抗蚀图案形成用组合物以及使用其的图案形成方法-CN201380051105.3有效
发明人：山本和磨;石井雅弘;关藤高志;柳田浩志;中杉茂正;能谷刚 -专利权人： AZ电子材料（卢森堡）有限公司
申请日： 2013-10-01 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： G03F7/40 文献下载
摘要：本发明提供一种能够形成干式刻蚀耐性高的图案的精细图案形成用组合物、以及使用了上述精细图案形成用组合物的制造过程中的配管堵塞少的图案形成方法。一种精细图案形成用组合物以及使用了其的图案形成方法，该精细图案形成用组合物用于在使用化学放大型抗蚀剂组合物来形成负型抗蚀图案的方法中，通过使抗蚀图案变粗而使图案精细化，其含有聚合物和有机溶剂，该聚合物含有具有羟基芳基的重复单元，该有机溶剂不使上述负型抗蚀图案溶解。在图案形成方法中，通过利用同一涂布装置对抗蚀剂组合物和其精细图案形成用组合物进行涂布，从而可防止配管堵塞。
精细图案形成组合以及使用方法

[发明专利]细微抗蚀图案形成用组合物以及使用其的图案形成方法-CN201280049610.X有效
发明人：冈安哲雄;关藤高志;石井雅弘 -专利权人：默克专利有限公司
申请日： 2012-10-10 - 公布日： 2018-03-13 - 主分类号： G03F7/40 文献下载
摘要：本发明提供一种组合物以及使用其的图案形成方法，该组合物可形成没有表面皲裂、桥缺陷或者未析像等不良现象的细微的负型光致抗蚀图案。该组合物是一种在使用化学放大型抗蚀组合物而形成负型抗蚀图案的方法中，为了通过使抗蚀图案变粗而将图案细微化而使用的细微图案形成用组合物，该组合物包含溶剂以及在重复单元中含有式(A)、(B)、(C)中任一种结构的聚合物。在由有机溶剂显影液进行显影而获得的负型光致抗蚀图案上涂布该组合物，进行加热，从而形成细微的图案。
细微图案形成组合以及使用方法

[发明专利]微细图案形成用组合物以及使用其的微细化图案形成方法-CN201280034718.1有效
发明人：冈村聪也;G·帕夫洛夫斯基;石井雅弘 -专利权人： AZ电子材料IP（日本）株式会社
申请日： 2012-07-13 - 公布日： 2014-03-19 - 主分类号： G03F7/40 文献下载
摘要：本发明提供可以形成具有高蚀刻耐受性的抗蚀图案的微细图案形成用组合物、以及使用其的抗蚀图案的形成方法。一种微细图案形成用组合物，其包含纯水和在侧链具有含芳基的取代基的水溶性树脂。该组合物包含结合于水溶性树脂的酸基或者包含游离于组合物中的酸。
微细图案形成组合以及使用方法

[发明专利]板材的供给装置及供给方法、暗盒组合装置-CN200610107444.0无效
发明人：铃木智明;石井雅弘;长谷明彦 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2003-09-15 - 公布日： 2007-01-24 - 主分类号： G03B17/30 文献下载
摘要：一种板材的供给装置及供给方法、暗盒组合装置，在使用设置有多个组装卡盘、将组装卡盘按照等角度间隔保持在旋转轴的周围的转位装置、使转位装置进行间歇旋转的驱动装置的装置，并在盘卷成圆筒状的筒体板的端部卡装盖体而制造暗盒的暗盒制造方法中，包括以下工序：将盘卷成圆筒状的筒体板插入组装卡盘的工序；在保持筒体板为盘卷成圆筒状的状态的组装卡盘停止在其它停止位置时与上述工序并行、在筒体板的一侧端部插入盖体的工序；在保持插入盖体的筒体板的组装卡盘停止在另一停止位置时与所述工序并行、将盖体卡装于筒体板的工序。可提供实现高速动作的暗盒的制造方法及装置；在高速下能够稳定保持的暗盒组合装置；以简单结构可靠地将暗盒装填入盒体内。
板材供给装置方法暗盒组合

[发明专利]暗盒与暗盒包装品的制造方法及装置-CN03158163.3无效
发明人：铃木智明;石井雅弘;长谷明彦 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2003-09-15 - 公布日： 2004-04-21 - 主分类号： G03C3/00 文献下载
摘要：一种暗盒与暗盒包装品的制造方法及装置，在使用设置有多个组装卡盘，将组装卡盘按照等角度间隔保持在旋转轴的周围的转位装置，使转位装置进行间歇旋转的驱动装置的装置，并在盘卷成圆筒状的筒体板的端部卡装盖体而制造暗盒的暗盒制造方法中，包括以下工序：将盘卷成圆筒状的筒体板插入组装卡盘的工序；在保持筒体板为盘卷成圆筒状的状态的组装卡盘停止在其它停止位置时与上述工序并行、在筒体板的一侧端部插入盖体的工序；在保持插入盖体的筒体板的组装卡盘停止在另一停止位置时与所述工序并行、将盖体卡装于筒体板的工序。可提供实现高速动作的暗盒的制造方法及装置；在高速下能够稳定保持的暗盒组合装置；以简单结构可靠地将暗盒装填入盒体内。
暗盒包装品制造方法装置

[发明专利]胶卷盒形成装置-CN03123426.7无效
发明人： 石井雅弘;长谷明彦 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2003-05-07 - 公布日： 2003-11-19 - 主分类号： G03C3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种即使在高速下也能使侧板的制圆形状接近正圆的胶卷盒形成装置。其中，在收纳摄影用胶卷的胶卷盒的侧板形成圆形的胶卷盒形成装置中，其特征为，具有：具备圆筒状面部的芯模；在可旋转地轴固定有1对第1滚筒的同时，使所述1对第1滚筒沿所述芯模的圆筒面部将侧板相对于所述芯模推压并移动，使侧板形成筒状的制圆机构；使所述1对第1滚筒沿所述芯模的圆筒状面部移动地导引所述制圆机构的动作的导向机构。
胶卷形成装置

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