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[发明专利]一种改善ZnO薄膜形貌和电学特性的方法-CN201110189292.4有效
发明人：张晓丹;赵颖;焦宝臣;魏长春 -专利权人：南开大学
申请日： 2011-07-07 - 公布日： 2011-11-09 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：一种改善ZnO薄膜形貌和电学特性的方法，步骤如下：1）以醋酸锌为Zn源、醋酸铟为掺杂铟源、水和无水乙醇的混合液为溶剂，将醋酸锌加入溶剂中制得前驱物混合液并加入冰乙酸，以空气为载气，采用超声喷雾热分解法在玻璃衬底上制备具有三角块形貌的铟掺杂ZnO薄膜；2）以锌铝合金为靶材，采用磁控溅射法在上述铟掺杂ZnO薄膜上制备铝掺杂ZnO薄膜。本发明的优点是：制备的铟掺杂ZnO/铝掺杂ZnO复合薄膜具有圆锥型绒面形貌，消除了棱角和锐利的尖峰，对入射光具有较强的散射作用，同时利用了溅射技术制备的ZnO薄膜具有低电阻率的特点，使ZnO透明薄膜的导电特性得到明显的提高和改善。
一种改善 zno 薄膜形貌电学特性方法

[发明专利]一种改善ZnO透明导电薄膜形貌的方法-CN201110024385.1无效
发明人：张晓丹;赵颖;焦宝臣 -专利权人：南开大学
申请日： 2011-01-21 - 公布日： 2011-08-17 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：一种改善ZnO透明导电薄膜形貌的方法，在采用超声喷雾技术制备薄膜太阳电池用透明导电薄膜过程中，通过采用氢氟酸腐蚀的化学方法来控制玻璃衬底表面形貌，进而实现对在其上生长的ZnO透明导电薄膜形貌的控制，具体方法是：1）采用质量百分比浓度为（0.5-10）%的HF溶液腐蚀玻璃衬底，腐蚀时间为（1-30）min；2）采用超声喷雾热分解法在HF溶液腐蚀过的玻璃衬底上生长掺杂ZnO透明导电薄膜。本发明的优点是该方法成本低、容易操作，可有效控制制备薄膜的形貌，进而控制其绒度，对提高硅薄膜太阳电池的陷光能力具有重要的作用。
一种改善 zno 透明导电薄膜形貌方法

[发明专利]具有类金字塔结构的绒面ZnO薄膜的制备方法-CN200910069035.X有效
发明人：张晓丹;赵颖;焦宝臣;魏长春;耿新华;熊绍珍 -专利权人：南开大学
申请日： 2009-05-27 - 公布日： 2009-10-21 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：一种具有类金字塔结构的绒面ZnO薄膜的制备方法。本发明以醋酸锌作为Zn源，硝酸铟或醋酸铟作为掺杂铟源，硝酸铝或醋酸铝作为掺杂铝源，硝酸镓或醋酸镓作为掺杂镓源，以无水乙醇和/或水作为溶剂，分别配置成一定浓度的锌源溶液和掺杂源溶液，并混合，再向其中加入冰乙酸；用高纯N₂或空气作为载气，把上述反应液输送至薄膜沉积室内进行生长。衬底可为玻璃或不锈钢等，生长温度为300℃-550℃。本发明在不需要B₂H₆掺杂的情况下，采用廉价无毒的化学药品，利用低成本的超声雾化设备直接获得具有光散射特征的绒面结构的ZnO薄膜；因此本发明对环境不会造成污染，属于“绿色”环保型技术，该方法可适合大面积(例如S＝1.2m×0.6m)ZnO透明导电薄膜的制备。
具有金字塔结构 zno 薄膜制备方法