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- [发明专利]静电吸盘-CN202211699452.4在审
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姚丛雪;常籽萱;张巨先
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烟台睿瓷新材料技术有限公司
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2022-12-28
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2023-04-14
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H01L21/683
- 本申请公开一种静电吸盘，包括吸盘主体、散热基座以及设置于所述吸盘主体和散热基座之间的导热腔体，所述吸盘主体内设置有静电电极和加热电极，所述静电电极用于产生静电引力，所述加热电极用于产生热量，所述导热腔体内形成可与外部连接的通道，所述导热腔体具有相对低导热性能的第一使用状态和相对高导热性能的第二使用状态，在第一使用状态下所述通道内不填充导热介质、在第二使用状态下所述通道内填充导热介质，本申请静电吸盘的导热腔体可以根据需要选择填充或者不填充导热介质，从而具有不同的导热性能，适配升温与降温的使用需求。
- 静电吸盘
- [发明专利]静电吸盘-CN202211699503.3在审
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姚丛雪;常籽萱;张巨先
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烟台睿瓷新材料技术有限公司
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2022-12-28
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2023-04-04
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H01L21/683
- 本申请公开一种静电吸盘，包括吸盘主体、散热基座以及设置于所述吸盘主体和散热基座之间的导热腔体，所述吸盘主体内设置有静电电极和加热电极，所述静电电极用于产生静电引力，所述加热电极用于产生热量，所述导热腔体内形成内腔，所述内腔中填充有导热介质，所述导热介质在相对较低的第一温度时具有第一导热系数、在相对较高的第二温度时具有第二导热系数，所述第一导热系数大于第二导热系数，使得所述导热腔体在第一温度时的热传导性能大于在第二温度时的热传导性能，本申请静电吸盘的导热腔体高温时热传导性能降低，减缓热量向散热基座的传递；在低温时热传导性能提升，加速热量向散热基座的传递，从而能够同时兼顾升温与降温的使用需求。
- 静电吸盘
- [发明专利]静电吸盘及其加工方法-CN202110297803.8在审
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张巨先
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烟台睿瓷新材料技术有限公司
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2021-03-19
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2022-09-27
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H01L21/683
- 本发明涉及一种静电吸盘，包括陶瓷盘、基座及焊接陶瓷板与基座的金属焊接层。陶瓷盘用于与金属焊接层焊接的表面形成有金属过渡层，金属焊接层附着于金属过渡层，以将陶瓷盘固定于基座。金属过渡层能够增大陶瓷盘与金属焊接层之间的结合力，从而使得陶瓷盘与基座能够通过金属焊接层实现连接。相对于传统的导热胶，金属焊接层及金属过渡层的导热效率更高，故陶瓷盘与基座接触面的热传导效率也将显著提升。在加工过程中，吸附于陶瓷盘上的硅晶片所产生的热量能够快速传导至基座并进一步向外散热。因此，上述静电吸盘的散热效率得到提升。此外，本发明还提供一种静电吸盘的加工方法。
- 静电吸盘及其加工方法
- [实用新型]静电吸盘-CN202220343015.8有效
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张巨先
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烟台睿瓷新材料技术有限公司
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2022-02-18
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2022-08-02
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H01L21/683
- 本实用新型公开一种静电吸盘，包括陶瓷盘、基座以及设置于所述陶瓷盘和所述基座之间的导热部，所述基座包括第一连接面，所述陶瓷盘包括面向所述第一连接面的第二连接面，所述第一连接面和第二连接面至少其中之一形成有凹部，所述导热部为填充于所述凹部中的金属或合金，有效加强陶瓷盘与基座之间的热传导，使得硅晶片上的热量能够通过陶瓷盘快速地向基座传导，进而通过基座快速地散发至外界，避免热量在硅晶片上累积而影响半导体工艺的稳定性。
- 静电吸盘
- [发明专利]一种多层复合陶瓷盘及其制造方法-CN202010234112.9有效
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张巨先
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烟台睿瓷新材料技术有限公司
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2020-03-27
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2022-05-13
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H01L21/683
- 一种多层复合陶瓷盘及其制造方法，涉及半导体和材料科学领域。所述复合陶瓷盘包括至少一个基础三明治结构，包括：用陶瓷粉体制备一个片状陶瓷素坯；把陶瓷素坯在低于烧结温度的预烧结温度下，进行预烧结，得到具有一定强度的预烧结陶瓷件；在预烧结陶瓷件的上表面上形成一金属电极层；将预烧结陶瓷件放入模具中，且覆有金属电极层的上表面朝上；在预烧结陶瓷件上表面提供一陶瓷前体层；沿着预烧结陶瓷件轴向方向在烧结温度下加压烧结成一体，所述预烧结陶瓷件经加压烧结形成第二陶瓷层，所述陶瓷前体层经加压烧结形成第一陶瓷层，其中，所述金属电极层位于所述第一陶瓷层和第二陶瓷层之间并与第一陶瓷层和第二陶瓷层形成一基础三明治结构。
- 一种多层复合陶瓷及其制造方法
- [实用新型]静电吸盘-CN202120570925.5有效
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张巨先
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烟台睿瓷新材料技术有限公司
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2021-03-19
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2022-02-11
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H01L21/683
- 本实用新型涉及一种静电吸盘，包括陶瓷盘、基座及焊接陶瓷盘与基座的金属焊接层。陶瓷盘用于与金属焊接层焊接的表面形成有金属过渡层，金属焊接层附着于金属过渡层，以将陶瓷盘固定于基座。金属过渡层能够增大陶瓷盘与金属焊接层之间的结合力，从而使得陶瓷盘与基座能够通过金属焊接层实现连接。相对于传统的导热胶，金属焊接层及金属过渡层的导热效率更高，故陶瓷盘与基座接触面的热传导效率也将显著提升。在加工过程中，吸附于陶瓷盘上的硅晶片所产生的热量能够快速传导至基座并进一步向外散热。因此，上述静电吸盘的散热效率得到提升。
- 静电吸盘
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