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- [实用新型]一种晶圆检测定位防滑台-CN202320546319.9有效
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韩杰;韩明嘉
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泰州星辰智能装备有限公司
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2023-03-20
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2023-09-15
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H01L21/683
- 本实用新型提供一种晶圆检测定位防滑台，所述定位防滑台包括上平台和下平台；所述上平台和下平台直接按可拆卸设置；所述上平台的顶表面上设置有多个小孔；所述上平台的内部设置有抽气管；所述小孔均与抽气管相接通；所述上平台的中部设有定位网格板；所述定位网格板的中部以及角落处设有风管孔；所述风管孔与所述抽气管相接通。通过本实用新型，在上平台上设置有定位网格板，方便子母环的安装，将带扩晶膜的子母环放置于上层平台上；外部的负压装置使得抽气管的内部产生负压，进而带有负压的多个小孔将带扩晶膜的子母环吸附固定，在检测过程中，扩晶膜得到平台大面积的承托保护，不易破损，子母环的定位更加便捷。
- 一种检测定位防滑
- [实用新型]便于维修的仪表盘-CN202223582706.2有效
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韩杰;韩明嘉
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泰州星辰智能装备有限公司
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2022-12-31
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2023-08-08
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G12B11/00
- 本实用新型提供一种便于维修的仪表盘，仪表固定安装于仪表盘内，仪表盘包括滑动盖以及固定盖，固定盖为半圆弧状的盖体，且固定盖的上下顶面为圆盘形的实心盖，固定盖的侧面内部设置有滑动槽，滑动槽的厚度与滑动盖的厚度相适应，滑动槽的高度与滑动盖的高度相适应，滑动槽的长度与滑动盖长度均为实心盖周长的一半，滑动盖可滑动的安装于滑动槽内，滑动盖的上下外壁与滑动槽的上下内壁之间通过轴承滑动连接，滑动盖包括两块可相互啮合成半圆弧的齿板，两块齿板的啮合侧面紧密贴合，通过滑动盖滑动进滑动槽内，实现整个仪表盘的打开，并且当滑动盖缩进滑动槽内时，维修工人不需要担心螺丝遗落的情况，也不会被开合部件挡住维修空间，方便维修。
- 便于维修仪表盘
- [实用新型]仪器仪表旋转固定装置-CN202320604956.7有效
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韩杰;韩明嘉
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泰州星辰智能装备有限公司
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2023-03-24
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2023-07-28
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G01D11/00
- 本实用新型提供仪器仪表旋转固定装置，包括交叉升降台，交叉升降台上方设置旋转装置，旋转装置包括支撑柱、转动件、旋转手柄，支撑柱通过转轴设置在交叉升降台上表面，支撑柱外侧边缘均匀延伸多个第一齿轮齿，转动件为斜齿轮并包裹在支撑柱外侧，转动件内侧边缘均匀延伸多个第二齿轮齿，第一齿轮齿和第二齿轮齿大小相同位置相适应，旋转手柄包括旋转件和手柄，手柄前端固定设置旋转件，旋转件套接在转动件外侧，旋转件内表面设置第三齿轮齿，第三齿轮齿与转动件外侧齿轮相匹配，支撑柱上表面设置固定装置，固定装置包括固定筒、支撑件，固定桶固定在支撑柱上，且内部均匀设置多个支撑件，本实用新型不会对仪器仪表造成损伤且利于观察和检测。
- 仪器仪表旋转固定装置
- [实用新型]探针台晶圆固定机构-CN202223562225.5有效
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韩杰;韩明嘉
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泰州星辰智能装备有限公司
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2022-12-30
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2023-07-18
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G01R1/04
- 本实用新型提供一种探针台晶圆固定机构，包括载物台，所述载物台设有四条直线轨道。其中，所述载物台底部设有紧固装置，所述紧固装置包括水平驱动机构、转动板、四个移动部件和四个滑块。本实用新型通过所述水平驱动机构驱动其中一个所述移动部件，该移动部件带动所述转动板旋转，从而使得其余所述移动部件发生滑动，进一步带动所述滑块沿所述直线轨道运动，完成固定晶圆的工作。本实用新型设计精巧，操作简便，可以使置于探针台上待检测的晶圆位于准确位置，且能避免检测过程中晶圆发生偏移，影响检测结果。除此之外，本装置可适用于固定不同尺寸的晶圆，包容性强，更具实用性。
- 探针台晶圆固定机构
- [实用新型]一种芯片检测设备探针台滑轨-CN202220686023.2有效
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韩杰;田靖鑫
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泰州星辰智能装备有限公司
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2022-03-28
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2022-09-09
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G01R1/067
- 本实用新型提供一种芯片检测设备探针台滑轨，包括固定底板和滑板，固定底板的上表面的中部具有凸块，凸块沿固定底板的长度方向设置，固定底板的横截面呈“凸”字形，固定底板的四角处设有第一固定孔，滑板固定在凸块上，滑板的中部具有滑槽，滑槽沿滑板长度方向设置，滑槽包括开口端和封闭端，滑槽内设有矩形孔，矩形孔贯穿滑板和固定底板，本实用新型的强度大，使用时间较长，重量轻，通过多固定孔安装，保证该导轨滑轨安装固定牢固，在长期使用时不会发生松脱或者角度偏移的情况，并且通过该矩形孔暂时固定导轨滑轨，方便安装，并且矩形孔固定在固定凸块上能够避免该导轨滑轨固定后转动，产生角度偏移，保证了探针台检测的精度。
- 一种芯片检测设备探针滑轨
- [实用新型]一种芯片检测设备检测盘-CN202220686478.4有效
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韩杰;田靖鑫
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泰州星辰智能装备有限公司
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2022-03-28
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2022-08-09
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G01R1/04
- 本实用新型提供一种芯片检测设备检测盘，包括盘本体，盘本体的中部设有芯片凹槽，芯片凹槽内设有第一气孔，盘本体上还设有第一条形凹槽，第一条型凹槽的一端与芯片凹槽相连接，第一条形凹槽的另一端向靠近盘本体的边缘延伸，盘本体上还设有第二气孔，盘本体边缘处还设有卡口。本实用新型通过第一气孔和第二气孔抽吸气体将盘本体上放置的电子芯片吸引贴附在盘本体上，避免检测时电子芯片移动，适用于不同体积的电子芯片，还设有第二条形凹槽，第三条形凹槽、第四条形凹槽、第五条形凹槽以及第六条形凹槽，方便在检测完成后机械手可以通过这些条形凹槽将盘本体上放置的电子芯片拿取出来，方便检测完成后取拿脱离该承托盘。
- 一种芯片检测设备
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