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- [发明专利]一种降低碳化硅同质外延片表面粗糙度的外延方法-CN202310556116.2在审
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文成;牧青;赵万顺
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江苏汉印机电科技股份有限公司
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2023-05-17
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2023-09-19
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C30B25/20
- 本发明公开了一种降低碳化硅同质外延片表面粗糙度的外延方法，步骤包括：将碳化硅衬底放在石墨托盘凹槽处，将石墨托盘放入反应腔的石墨基座上；利用惰性气体对反应腔内进行多次充抽，排空完毕后，设定主氢气量为10‑40slm，腔体压力50mbar‑100mbar；将反应腔体内的温度升温到第一预设温度1450‑1550℃，并且控制托盘旋转维持0.6‑1.5s/r，原位炉内退火5‑10min；随后继续升温到第二预设温度1550‑1750℃，同时增加氢气流量至80‑120slm，升到第二预设温度时，配合流量碳源/硅源，维持刻蚀时间5‑30min；刻蚀结束后，利用外延生长工艺，通入碳源和硅源进行C/Si比较低的缓冲层生长2‑10min；缓冲层结束后，进行二次刻蚀，刻蚀时间维持0‑5min；刻蚀结束后，保持合适C/Si比生长0‑5min；继而更改碳源硅源源量至转为较高碳硅比的外延层生长。
- 一种降低碳化硅同质外延表面粗糙方法
- [发明专利]SiC外延片的加工设备及其方法-CN202110889054.8有效
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牧青;李宝;文成
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江苏汉印机电科技股份有限公司
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2021-08-04
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2023-09-19
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H01L21/02
- 本发明涉及SiC外延片加工技术领域，用于解决SiC外延片切割时位置固定不稳定导致切割尺寸出错的问题，具体为SiC外延片的加工设备及其方法，包括工作台和切割刀座，工作台上表面中间位置处设有切割刀座，工作台上表面中间位置处设置有固定机构，固定机构包括连接板，连接板外侧壁一侧中间位置处连接有固定板；本发明是通过工作台、调节板和固定板上的定位活动杆对SiC外延片进行位置的稳固定位，使不同形状的SiC外延片均可得到稳定的固定，不会因发生晃动而影响切割尺寸的精度大小，雾化喷嘴可对切割产生的SiC粉末进行沉降防止扩散，并通过雾化喷雾的沉降和水流的流动，带动SiC粉末流入回收箱内部进行SiC粉末的回收利用。
- sic外延加工设备及其方法
- [发明专利]一种多工位印刷设备-CN202310028008.8有效
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陈国兰;迎春;文成;牧青;周新林
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江苏汉印机电科技股份有限公司
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2023-01-09
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2023-05-23
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B41F17/00
- 本发明涉及印刷电路板生产领域，并公开了一种多工位印刷设备，包括固定在连接件上的上气缸和下气缸；所述上气缸和下气缸的输出轴分别连接有用于对电路板印刷的上电路板印刷机本体和下电路板印刷机本体；所述上电路板印刷机本体和下电路板印刷机本体的一侧设置有定位机构，本发明通过设置双工位上电路板印刷机本体和下电路板印刷机本体，通过电动推杆带动定位机构的运动，从而通过上气缸和下气缸带动上电路板印刷机本体和下电路板印刷机本体的运作，配合电动推杆带动定位机构的运作，取消了印刷电路板翻转的操作，使得上电路板印刷机本体和下电路板印刷机本体可直接参与印刷电路板两面印刷的操作，从而节约了印刷时间，提高印刷效率。
- 一种多工位印刷设备
- [发明专利]一种石英管水管连接密封组件-CN202211353239.8在审
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牧青;文成;金光涛;李宝
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江苏汉印机电科技股份有限公司
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2022-11-01
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2023-03-07
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F16L49/00
- 本发明公开了一种石英管水管连接密封组件，涉及石英水管连接密封领域，解决了现有即热水器中的石英水管在安装时容易破碎的问题，包括底座和顶座，底座和顶座的内部均开设有容纳孔，底座的下端安装有进水口和出水口，且进水口和出水口与分布于底座内部的容纳孔连通，本发明通过安装机构和调节机构的配合，可直接将石英水管安装在底座和顶座之间，且安装的过程中可通过观察连接板和指数板的位置关系，避免石英水管承受超限度的压迫力，便可实现在有效安装的情况下保证石英水管不会破损，同时在底座和顶座靠近过程中，可通过注液组件和触动组件将压力液输送至环形胶套的内部，使其膨胀对石英水管的外周进行密封处理，无需后期人工打胶密封。
- 一种石英管水管连接密封组件
- [发明专利]一种高温腔室对接装置-CN202211265429.4在审
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牧青;文成;李宝;文文
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江苏汉印机电科技股份有限公司
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2022-10-17
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2023-01-31
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C23C16/44
- 本发明公开了一种高温腔室对接装置，涉及对接装置技术领域，解决了高温反应箱内对接后冷却时易导致热气上浮使得开盖存在热气涌出的问题，包括反应箱，反应箱内部安装有载台，且反应箱的两侧均固定有对接管，还包括密封组件和对接壳，对接管内设有通孔，本发明通过在反应箱的两侧增设对接管及内部的密封组件，在反应箱内部进行化学气相沉积操作时，能够保证反应箱内部的密封性，在基板完成薄膜沉积后，通过设计的对接壳及内部的调节机构，实现与密封组件的对接，能够将反应箱内部的热气泄压排出，并且通过转向组件和L型管，能够对顶部的热气进行优先排出和降温，使得人员在打开端盖时，能够避免高温气体的涌出。
- 一种高温对接装置
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