专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于制造FINFET半导体装置的鳍片切割制程-CN201710106850.3有效
  • G·J·戴德里安 - 格罗方德半导体公司
  • 2017-02-27 - 2019-08-16 - H01L21/336
  • 本发明涉及用于制造FINFET半导体装置的鳍片切割制程,本文中所揭示的一种说明性方法包括形成由多个原始线型特征所构成的原始鳍片形成蚀刻掩膜,以及移除该多个原始线型特征其中至少一者的至少一部分,以便由此界定包含该多个原始线型特征的其余部分的修改后鳍片形成蚀刻掩膜。该方法亦包括在该修改后鳍片形成蚀刻掩膜的该多个原始线型特征的所述其余部分上形成保形材料层,以及进行至少一个蚀刻程序以移除至少部分该保形材料层,并且界定多个鳍片形成沟槽,以便由此在衬底中初始界定多个鳍片。
  • 用于制造finfet半导体装置切割
  • [发明专利]集成电路结构及其电性连接方法-CN201610497093.2有效
  • B·A·安德松;E·J·诺瓦克 - 格罗方德半导体公司
  • 2016-06-29 - 2019-07-05 - H01L27/11
  • 本发明涉及集成电路结构及其电性连接方法,其实施例提供集成电路(integrated circuit;IC)结构以及电性连接多个IC结构的方法。依据本发明的实施例的一种IC结构可包括:第一导电区;与该第一导电区横向隔开的第二导电区;形成于该第一导电区上方并与其接触的第一垂直取向半导体鳍片;形成于该第二导电区上方并与其接触的第二垂直取向半导体鳍片;以及与各该第一垂直取向半导体鳍片及该第二导电区接触的第一栅极,其中,该第一栅极包括:与该第一垂直取向半导体鳍片接触的基本水平的部分,以及与该第二导电区接触的基本垂直的部分。
  • 集成电路结构及其连接方法
  • [发明专利]掩膜结构及其制法-CN201510039421.X有效
  • S·K·帕蒂尔;S·辛格;U·欧克罗安雅安乌;O·R·伍德;P·J·S·曼格特 - 格罗方德半导体公司
  • 2015-01-27 - 2019-06-25 - G03F1/24
  • 本发明涉及掩膜结构及其制法,提供一种光刻掩膜结构,包括:衬底;位于该衬底上方的至少一个反射层;以及位于该至少一个反射层上方的吸收膜堆叠,该吸收膜堆叠包括由第一材料构成的多个第一膜层以及由第二材料构成的至少一个第二膜层。该第二材料不同于该第一材料,且该一个或多个第二膜层与该多个第一膜层交错。在一个实施例中,该吸收膜堆叠的总厚度小于50纳米。在另一个实施例中,对于极紫外光的预定义波长,该吸收膜堆叠的反射率小于2%。在又一个实施例中,该一个或多个第二膜层防止该第一膜层的平均晶粒尺寸超过该第一膜层的厚度。
  • 膜结构及其制法
  • [发明专利]虚拟金属结构及形成虚拟金属结构的方法-CN201510673273.7有效
  • J·K·丘;高山 - 格罗方德半导体公司
  • 2015-10-16 - 2019-06-18 - H01L21/768
  • 揭示用于在半导体晶圆上的晶粒之间形成虚拟金属结构的方法及其产生的装置。具体实施例可包括形成从半导体晶圆的基材延展至介于多个晶粒区之间的该半导体晶圆的顶端金属互连层的金属互连层,所述金属互连层的各个皆包括多个虚拟垂直互连进接口(VIA)及多条虚拟金属线,该多条虚拟金属线侧向连接各金属互连层内的该多个虚拟VIA,并且第一金属互连层内的多个虚拟VIA垂直连接该第一金属互连层内的多条虚拟金属线至第二金属互连层内的多条虚拟金属线,并且该第二金属互连层低于该第一金属互连层。
  • 虚拟金属结构形成方法

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