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[发明专利]PMOS高K金属栅极-CN202080076754.9在审
发明人：杨逸雄;杰奎琳·S·阮奇;斯里尼瓦斯·甘迪科塔;林永景;史蒂文·C.H·洪;陈世忠;沙浩燕;林志周 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-11-04 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： H01L29/78 文献下载
摘要：公开金属栅极堆叠结构和形成金属栅极堆叠结构的整合的方法。一些实施方式包含MoN作为PMOS功函数材料。一些实施方式包含TiSiN作为高κ覆盖层。一些实施方式提供增进的PMOS带边缘性能。一些实施方式提供增进的PMOS带边缘性能伴随减小的EOT减损。
pmos 金属栅极

[发明专利]用于形成金属间隙填充物的方法-CN202080027926.3在审
发明人：岑羲;马飞越;吴凯;雷雨;大东和也;徐翼;维卡什·班西埃;张镁;任河;雷蒙德·霍曼·洪;姚雅宽;阿夫耶里诺斯·V·杰拉托斯;戴维·T·奥;周静;蹇国强;林志周;赖一鸣;叶佳;王振宇 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-03-02 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： H01L21/285 文献下载
摘要：本公开内容一般涉及用于处理基板的方法，且更尤其涉及用于形成金属间隙填充物的方法。在一个实施方式中，该方法包括使用多步骤处理在开口中形成金属间隙填充物。多步骤处理包括：形成金属间隙填充物的第一部分，实行溅射处理以在一个或多个侧壁上形成一个或多个层，和使金属间隙填充物的第二部分生长以用金属间隙填充物来填充开口。通过多步骤处理形成的金属间隙填充物是无缝的，且形成在一个或多个侧壁上的一个或多个层密封在金属间隙填充物与侧壁之间的任何间隙或缺陷。由此，在后续处理中利用的流体不会扩散穿过金属间隙填充物。
用于形成金属间隙填充物方法

[发明专利]经由气相沉积调谐P金属功函数膜的功函数-CN201980026264.5在审
发明人：蹇国强;唐薇;林志周;马伯方;杨逸雄;张镁;刘雯伊 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-04-11 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本公开内容涉及一种在基板上形成具有期望p功函数的p金属功函数氮化物膜的方法，包括：调节基板温度、一或多个时间上分开的气相脉冲的持续时间、钨前驱物与钛前驱物的比率、或反应的压力中的一或多项以将p金属功函数氮化物膜的功函数调谐为期望p功函数；和使基板与钨前驱物、钛前驱物、及反应气体的时间上分开的气相脉冲接触以在所述基板上形成具有期望p功函数的p金属功函数氮化物膜。
经由沉积调谐金属函数

[发明专利]藉由氮化钛和铝膜的集成沉积用于掺杂工程和阈值电压调整的方法和设备-CN201880027819.3在审
发明人：杨逸雄;马伯方;唐薇;张闻宇;陈世忠;林政汉;林志周;徐翼;雷雨;吉田尚美;林东;西达斯·克里希南 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-08-20 - 公布日： 2020-03-06 - 主分类号： H01L21/285 文献下载
摘要：用于形成半导体结构的设备与方法，包括：于高k介电层顶上沉积掺杂堆叠，所述掺杂堆叠具有第一表面，其中所述掺杂堆叠包括至少一个第一金属层、至少一个第二金属层、和至少一个第三金属层，所述第一金属层具有第一表面，所述第二金属层包括第一铝掺杂剂和第一表面，所述第三金属层位于所述第二金属层的所述第一表面顶上，其中所述第二金属层位于所述第一金属层的所述第一表面顶上；在所述掺杂堆叠的所述第一表面顶上沉积退火层；将所述结构退火，而使至少所述第一铝掺杂剂扩散进入所述高k介电层中；移除所述退火层；和在所述掺杂堆叠的所述第一表面顶上沉积至少一个功函数层。
藉由氮化集成沉积用于掺杂工程阈值电压调整方法设备

[发明专利]减少或消除钨膜中缺陷的方法-CN201880028707.X在审
发明人：蹇国强;汤炜;林志周;马伯方;吴凯;维卡什·班提亚;张媚;叶佳;张闻宇;周静 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-11-20 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： H01L21/285 文献下载
摘要：本文公开了用于减少和消除钨膜中的缺陷的方法和设备。在本公开内容中，公开了减少或消除设置在基板上和多个沟槽内的具有预定第一厚度的钨膜的第一表面的氧化的步骤。多个沟槽包括预定深度及小于20纳米的宽度。当第一表面与空气或氧气接触时，钨膜的预定第一厚度在整个多个沟槽中基本均匀，从而钨膜的预定第一厚度基本上不变为第二厚度。
钨膜第一表面方法和设备氧气接触基板

[实用新型]一种多功能异性件夹钳装置-CN201720345012.7有效
发明人：林南平;林志周 -专利权人：瑞安市恒亚镦锻设备有限公司
申请日： 2017-03-28 - 公布日： 2017-11-14 - 主分类号： B25B5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多功能异性件夹钳装置，包括旋转轴座，所述旋转轴座的顶部安装有摆杆座，所述摆杆座上设置有开钳摆杆，所述开钳摆杆的一端设置有开钳固定轴，所述开钳固定轴的内部设置有开钳固定轴穿位，所述旋转轴座的内部贯穿性安装有拉杆，且旋转轴座上安装有连杆，所述连杆的顶部设置有旋转轴，所述旋转轴的顶部设置有开钳轴，所述开钳轴上设置有开钳臂；本实用新型不能解决了超短零件在生产过程中因受开闭钳时间显示无法生产的格局，同时夹钳在翻转时无需更换零件，夹钳在开闭钳可任意调整夹钳的开口状态，简化复杂零件的生产工艺，提高生产效率，通过对拉杆进行改动，能够在翻钳的同时张开夹钳片，同时实现平移功能。
一种多功能异性夹钳装置

[实用新型]一种进料倒退装置-CN201720344914.9有效
发明人：林南平;林志周 -专利权人：瑞安市恒亚镦锻设备有限公司
申请日： 2017-03-28 - 公布日： 2017-11-14 - 主分类号： B65G47/74 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种进料倒退装置，包括进料设备主体，所述进料设备主体的一侧安装有进料轮，且进料设备主体的另一侧安装有靠近底部位置安装有气缸，所述进料设备主体的内部安装有进料轮轴，所述进料轮轴上安装有摩擦片，所述进料轮轴上安装有单向可调离合轴承，所述单向可调离合轴承上设置有键槽。本实用新型解决了现有进料设备在磨擦片高速旋转时容易造成倒料的问题，通过在进料轮轴上安装单向可调离合轴承，键槽的缺口设计能够固定螺母和螺栓轴，带弧形的止退口设计，当进料轮轴运动时，单向可调离合轴承只能往一个方向旋转，从而防止进料倒退，且单向可调离合轴承制作工艺简单，安装方便。
一种进料倒退装置

[实用新型]一种多工位冷镦机马达润滑装置-CN201720344969.X有效
发明人：林南平;林志周 -专利权人：瑞安市恒亚镦锻设备有限公司
申请日： 2017-03-28 - 公布日： 2017-11-14 - 主分类号： B21J3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多工位冷镦机马达润滑装置，包括基座，所述基座的顶部安装有安装架，所述安装架的内部安装有油罐，所述油罐的内部安装有第二传动轴，所述第二传动轴的外圈设置有润滑通道，所述油罐的两端安装有端盖，且油罐上设置有注油漏斗，所述注油漏斗的下方设置有分流通道，所述安装架的顶部安装有减震机构。本实用新型在安装架的内部安装油罐，在第二传动轴的外圈设置润滑通道，能够保证润滑油与传动轴的迅速贴合，避免润滑油浪费，同时由于设置有分流通道，由注油漏斗进入的润滑油能够迅速分流，均匀润滑，在安装板与安装架之间安装有减震机构，能够提高驱动马达的稳固性。
一种多工位冷镦机马达润滑装置

[实用新型]一种多工位冷镦机挡料机构安装结构装置-CN201720344915.3有效
发明人：林南平;林志周 -专利权人：瑞安市恒亚镦锻设备有限公司
申请日： 2017-03-28 - 公布日： 2017-11-14 - 主分类号： B21J13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多工位冷镦机挡料机构安装结构装置，包括底板，所述底板的两端安装有连接法兰，且连接法兰与机体外壳连接，所述底板的上方安装有支撑腿，所述支撑腿的上方安装有连接板，所述输料带的两侧安装有传动轴，且传动轴与电机通过传动带连接，所述输料带的上方的两侧安装有第二挡板，所述输料带的一端安装有堵头，所述输料带的另一端安装有出料槽，所述出料槽的上方的两侧安装有第一挡板，且出料槽与机体外壳通过铰链转动连接。本实用新型为可拆卸结构，且在此装置的底部安装有底板，且底板的两端安装有法兰，通过法兰将底板与机体外壳的内部的两侧连接，通过法兰大大方便了底板的安装和拆卸。
一种多工位冷镦机挡料机构安装结构装置

[实用新型]一种多工位冷镦机夹钳机构装置-CN201720344942.0有效
发明人：林南平;林志周 -专利权人：瑞安市恒亚镦锻设备有限公司
申请日： 2017-03-28 - 公布日： 2017-11-14 - 主分类号： B21J13/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多工位冷镦机夹钳机构装置，包括安装板，所述安装板的内部安装有限位机构，所述限位机构的内部安装有升降轴，且限位机构的上方设置有套管，所述升降轴的外部套设有弹簧，且升降轴的顶部安装有锁紧螺母，所述锁紧螺母的上方设置有安装孔，所述升降轴的底部安装有连接片。本实用新型设置有钳头伸缩位，当夹钳支臂伸出钳头伸缩位时由于空间扩大自动扩张，同理，在收回时由于空间缩小夹紧收缩，能够防止工件掉落，同时也解决张开和收缩时间控制不精准的问题，安装板的内部安装有限位机构，利用弹簧缓冲升降轴升降造成的冲击力，延长设备使用寿命。
一种多工位冷镦机夹钳机构装置

[实用新型]一种多工位冷镦机移钳摆臂装置-CN201720344987.8有效
发明人：林南平;林志周 -专利权人：瑞安市恒亚镦锻设备有限公司
申请日： 2017-03-28 - 公布日： 2017-11-14 - 主分类号： B21J13/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多工位冷镦机移钳摆臂装置，包括安装板，所述安装板的两端安装有对接板，所述安装板的一侧安装有侧垫板，所述侧垫板的一侧设置有镶嵌槽，且摆臂钳的一端与镶嵌槽通过限位轴承转动连接，所述摆臂钳的一端安装有连接杆，所述连接杆的顶端安装在抽拉杆上，所述抽拉杆的两端均安装有防脱堵头，所述抽拉杆的下方安装有连接板，所述连接板的底部安装有挡板，所述挡板的斜下方安装有送料杆。本实用新型的摆臂钳的一端通过钳口安装在安装板内的内轴上，而其的另一端安装在侧垫板的镶嵌槽内，并与其通过轴承转动连接，通过双板双轴安装设计，大大增大了摆臂钳在摆动过程的稳定性。
一种多工位冷镦机移钳摆臂装置

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